Bombas de sublimação de titânio Varian Agilent (TSP) Filament 2.75 em Flange Conflat. PN 9160050

O cartucho TSP é fornecido em um flange OD ConFlat de 2-3/4 pol. e contém três filamentos de titânio-molibdênio, cada um com 1,1 gramas de titânio utilizável. O conjunto do cartucho pode ser aquecido a 400° C. Máximo. As bombas de sublimação de titânio (TSPs) são normalmente usadas como uma maneira eficaz de bombear gases recuperáveis, como hidrogênio e nitrogênio, em sistemas UHV. TSPs são frequentemente combinados com bombeamento de íons, uma vez que a bomba de íons é eficaz com gases UHV inalcançáveis, como argônio e metano. O TSP pode ser adicionado ao interior da bomba de íons ou como uma unidade de bombeamento separada. Se o TSP for usado em conjunto com um criopainel refrigerado com nitrogênio líquido, uma velocidade extra alta de bombeamento de água será alcançada.

A Varian oferece dois tipos diferentes de bombas de sublimação de titânio: filamentos e fontes de esferas de titânio. As fontes TSP do tipo filamento são mais populares com sistemas UHV, pois podem ser desligadas entre as sublimações e, portanto, não adicionam desgaseificação induzida termicamente. As fontes do tipo esfera contêm quantidades maiores de titânio, o que significa vida útil mais longa quando operadas em condições que usam mais titânio, como pressões operacionais mais altas. No entanto, as fontes de bola requerem energia de espera entre as sublimações para evitar a formação de rachaduras na bola de titânio. Os fatores que afetam a eficiência do bombeamento de sublimação de titânio incluem taxa de sublimação, frequência, área de superfície e temperatura. A velocidade de bombeamento de sublimação é geralmente um valor constante abaixo de 10 ^-7 mbar.