Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultra-High Vacuum Semiconductor Cryopump, não integrado, LF ISO 250, trifásico trifásico, reconstruído

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultra-High Vacuum Semiconductor Cryopump, LF ISO 250, Trifásico, Reconstruído, 6500 l/s Água, 2200 l/s Ar, 1800 l/s Argônio, Reconstruído. Número da peça Edwards CTI Brooks: 8116086G002. A bomba criogênica CTI-Cryogenics (agora Edwards) Cryo-Torr OB250F, trifásica (3) foi especialmente projetada e construída para desempenho aprimorado e requisitos de espaço apertados para uso na indústria de semicondutores. Esta criobomba possui um flange de entrada ISO 250 e um flange de bomba de desbaste padrão KF-25. É capaz de 10-8 Torr ultra-alto vácuo (UHV) com velocidades de bombeamento nominais de: Água ………. 6500 l/seg Ar ………..…. 2200 l/seg Hidrogênio ..…. 3200 l/seg Árgon ………. 1800 l/s Esta bomba Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F trifásica funciona APENAS com alimentação trifásica. A energia elétrica é fornecida por um controlador de motor trifásico CTI especial. A criobomba CTI trifásica Cryo-Torr 250F não expõe peças móveis, fluidos operacionais ou bombas de apoio ao vácuo, o que elimina a possibilidade de fluxo inverso do sistema ou contaminação do processo pela própria criobomba.