Controlador de fluxo de massa do cartão de controle MKS Série 946 e controladores de fluxo de massa duplos.
Número da peça MKS: 20000712. O controlador de fluxo de massa do cartão de controle MKS é compatível com os controladores de fluxo de massa 946 e duplos.
Esses cartões são usados em controladores projetados para controlar e exibir qualquer transdutor de fluxo. O ponto de ajuste da vazão pode ser ajustado por meio dos controles do painel frontal ou remotamente por meio da interface analógica do painel traseiro. Os controladores de sistema de vácuo 946 leitura e controle simultâneos de até 6 sensores e medidores.