Válvula gaveta MKS série R ISO-F 100, DN100, pneumática, solenóide de 24 VCC, chaves indicadoras de posição dupla (N/O), diâmetro interno de 4 polegadas, vedações Viton,
Flange inferior aparafusado (M8 x 1,25), corpo de aço inoxidável. Essas válvulas gaveta MKS R-Series são otimizadas para isolamento de bombas de desbaste e linhas de desbaste em aplicações de semicondutores e vácuo geral. Essas válvulas gaveta da série R são adequadas para aplicações de alto vácuo (HV) até 1x10
-7 Torr e têm opções, incluindo indicadores pneumáticos e de posição. A Série R emprega uma vedação de eixo de elastômero para a vedação do atuador, que permite alto desempenho em um pacote econômico e de alto valor para aplicações de vácuo de desbaste. Esta listagem é para a versão de flange de vácuo aparafusada ISO-100 com atuador de ar pneumático, incluindo uma válvula solenóide de 24 VCC e chaves indicadoras de posição dupla (normalmente abertas).
Características do produto:
- Excelente uniformidade de temperatura garante que não haja pontos frios nas superfícies internas
- DN80 e DN100 > 200.000 ciclos
- DN160 > 100.000 ciclos
- Tamanhos DN80, DN100 e DN160mm disponíveis
Configuração do produto:
- Tamanho do furo/flange da válvula: DN100
- Materiais: Aço inoxidável
- Agução: Pneumática
- Materiais de vedação: Viton/FKM
- Interruptores de limite: Ambos os interruptores normalmente abertos (N/O)
- Interruptor Reed Magnético: Classificação atual < 80mA
- Solenóides: 24 VCC
- Opções de aquecimento: Aquecível até 105°C
- Faixa de pressão (alto vácuo HV): 1x10-7 a 1200 Torr (1,3* 10-10 - 1,6 bar)
- Pressão pneumática: 5,4 ±1,3 atm (80 ±20 psig)
- Vedação do atuador: vedação do eixo elastômero - Viton
- Taxa de vazamento lateral: 1x10-9 atm*cc/seg
- Taxa de vazamento externo: 1x10-9 atm*cc/seg
- Pressão Delta Máxima - Operacional: 22,5 Torr (30 mbar) lado da câmara alto
- Max Delta Pressure - Fechado: 1,6 atm, em qualquer direção