Válvula de gaveta pneumática HV de 3 posições Ideal Vacuum, flange ISO-F 200 (DN 200), 3ª posição estrangulada, com sensores solenóide e reed, 24 VCC, vedação padrão de anel de vedação Viton, corpo SUS304

Esta válvula de gaveta de aceleração de 3 posições Ideal Vacuum é operada pneumaticamente com um flange ISO-F 200 (DN CF200). Ela tem uma 3ª posição que pode ser ajustada para parcialmente aberta. Ela é classificada para alto vácuo (HV) e vem com um anel de vedação Viton padrão para a gaveta e anel de vedação Viton ou junta de cobre OFHC para o capô com uma válvula solenoide controlada pneumaticamente. Esta válvula de gaveta flangeada ISO-F usa anéis de vedação Viton para os foles e vedações da placa do capô e, portanto, é limitada a aplicações de alto vácuo (HV) com pressões máximas de até 1x10 ^-8 Torr. As válvulas têm uma vida útil típica de 300.000 ciclos antes de precisar de manutenção. Elas são feitas com gavetas e corpos de válvula de aço inoxidável 304 resistentes à corrosão. Este controle de 3 posições fornece flexibilidade e precisão na manutenção de condições ideais para vários processos de deposição a vácuo, particularmente em sistemas de câmara de processo de deposição de filmes finos.

Aplicação em câmaras de revestimento por deposição física de vapor
Esta válvula de gaveta de 3 posições é projetada para aplicações confiáveis de alto vácuo e é frequentemente usada em combinação com bombas de alto vácuo crio, turbo e íon. Ela encontrou uso crescente em processos de vácuo estrangulados, como deposição de pulverização catódica por magnetron PVD. Em uma câmara de revestimento PVD, como em sistemas de pulverização catódica, uma válvula de gaveta de 3 posições é frequentemente usada para controlar a conexão entre a bomba turbomolecular e a câmara de processo principal. Essas válvulas de gaveta permitem o controle preciso do sistema de vácuo e podem isolar a bomba, proteger a câmara e ajustar a velocidade de bombeamento. As três posições de uma válvula de gaveta típica de 3 posições são:

1. Posição totalmente aberta:
Condutância máxima, velocidade máxima de bombeamento turbo, usada para evacuação inicial ou ao manter alto vácuo durante a deposição.

2. Parcialmente aberto (posição de estrangulamento):
Objetivo: Na posição parcialmente aberta, a válvula de gaveta fica apenas parcialmente aberta, regulando a condutância entre a câmara e a turbobomba. A regulagem é importante ao trabalhar com gases reativos (por exemplo, oxigênio ou nitrogênio em pulverização catódica reativa) ou quando você precisa ajustar a pressão para um crescimento ideal do filme.

Esta posição parcialmente aberta é definida e ajustada manualmente uma vez durante a instalação e pode ser alterada a qualquer momento para executar uma condição de processo diferente.

3. Posição totalmente fechada:
Finalidade: Na posição totalmente fechada, a válvula de gaveta isola completamente a bomba turbo da câmara principal. Caso de uso: Esta posição é usada para proteger a bomba turbo durante processos como ventilação da câmara, carregamento de amostra da câmara de travamento de carga ou quando a câmara está sendo exposta à pressão atmosférica. Ela evita que contaminantes ou ar atmosférico entrem na bomba turbo, o que pode danificá-la.

Especificações:
Especificações e características:

• Material
• Corpo
• SUS304
• Transporte
• Tipo de ligação - SUS304
• Tipo de bola Tamanho abaixo de 10” - SUS304
• Tipo de bola Tamanho acima de 10” (incluído) - SUS304, A6061-T6
• Portão
• Tipo de ligação - SUS304
• Tipo de bola Tamanho abaixo de 10” - SUS304
• Tipo de bola Tamanho acima de 10” (incluso) - A6061-T6
• Fole
• AM350
• Vida útil
• HV :DN200 - 300.000 ciclos
• UHV :DN200 - 50.000 ciclos
• Taxas de vazamento de hélio em diferencial de 1 atm
• <2×10 ^-9 mbar·l /seg para anel de vedação
• <5×10 ^-10 mbar·l /seg para vedação de junta
• Temperatura de cozimento
• Aberto - 200 °C Vedação do castelo em Viton
• Fechado - Vedação de capô Viton 150 °C
• Faixa de pressão (mbar)
• Alta tensão: 1x10 ^-8 ~ 1000
• Ultravioleta: 1x10 ^-10 ~1000
• Delta P máximo (mbar)
• < 30 antes da abertura
• Selo Padrão
• Portão - Anel de vedação Viton
• Capô - O-ring de Viton ou junta de cobre OFHC
• Atuador - Pneumático
• Fornecimento de ar comprimido
• Conexão de tubo - 6mm
• Faixa de pressão - 4-6 Kg/cm2 (sobrepressão)
• Tratamento de superfície - Scotch Polished
• Opções
• Indicador de posição
• Válvula solenóide de controle pneumático
• Porto de desbaste
• Outro material Vedação do anel de vedação do portão

Consulte os downloads para obter mais informações sobre esta válvula de gaveta e outras configurações de válvulas relacionadas.