Válvula de purga turbo Agilent Varian, 20 SCCM KF-16 x M12, compatível com a maioria das bombas de vácuo turbomoleculares Agilent de tamanho médio, PN 969-9241

Essas válvulas turbo de purga Agilent Varian têm uma taxa de fluxo fixa de 20 SCCM, uma conexão de suprimento de gás KF-16 e são projetadas para funcionar com a maioria das bombas de vácuo turbomoleculares de tamanho médio que possuem uma rosca de porta de ventilação M12. Por favor, veja a segunda e a terceira fotos da porta de ventilação e o desenho mostrando a instalação, as instruções também são mostradas no manual do TwisTorr 305 FS na página 247. A válvula de purga de gás é um dispositivo de proteção para proteger os rolamentos da bomba contra partículas e gases corrosivos que podem mover para dentro da bomba. Cada válvula é feita com um orifício fino de safira calibrado montado em um cartucho para fornecer uma pequena taxa de vazamento precisa, com duas membranas especiais de PTFE em cada lado do tubo. Isso é para evitar que qualquer partícula, pó e qualquer líquido entre e obstrua o orifício fino. Cada versão da válvula é adequada para uma aplicação específica: - Vazamento pequeno (~ 10 sccm a 1000 mbar) para operação levemente corrosiva quando a pressão parcial do gás corrosivo é de no máximo 10-5 mbar (instrumentos analíticos, implantadores de íons); - Vazamento Grande (~ 20 sccm a 1000 mbar) para operações corrosivas pesadas (gravação, CVD), quando a pressão parcial do gás corrosivo é >10-5 mbar. Se desejar usar uma vazão diferente, você pode alterar a pressão de alimentação. Para uma determinada pressão de alimentação, a válvula de purga de gás pode fornecer um valor de vazão fixo. Observe que a quantidade de fluxo não depende da pressão do lado do vácuo da válvula. Essas válvulas de purga turbo têm número de peça Agilent Varian PN 969-9241.

Funciona com as seguintes bombas turbo Agilent Varian:

• TwisTorr 74 FS
• TwisTorr 84 FS
• TwisTorr 305 FS
• TwisTorr 305-IC
• TwisTorr 404 FS
• TwisTorr 704 FS
• TwisTorr 804 FS
• Turbo-V 1001