Válvula de gaveta pneumática UHV de 3 posições Ideal Vacuum, regulada na 3ª posição, com sensores de solenóide e palheta, 24 VCC, flange CF de 10,0 polegadas (DN CF200), vedação padrão de anel de vedação Viton, 1x10-10 mbar, corpo SUS304, 50.000 ciclos Flange de parafuso CF de 10,0 polegadas com roscas 5/16-24 UNF Esta válvula de gaveta de aceleração de 3 posições Ideal Vacuum é operada pneumaticamente com um flange Conflat CF de 10,0 polegadas (DN CF200). Ela tem uma 3ª posição que pode ser ajustada para parcialmente aberta. Ela é classificada para vácuo ultra-alto (UHV) e vem com uma vedação de anel de vedação Viton padrão para a gaveta e anel de vedação Viton ou junta de cobre OFHC para o capô com uma válvula solenóide controlada pneumaticamente. As válvulas têm uma vida útil típica de 50.000 ciclos antes de precisarem de manutenção. Elas são feitas com comportas e corpos de válvulas de aço inoxidável 304 resistentes à corrosão. Este controle de 3 posições fornece flexibilidade e precisão na manutenção de condições ideais para vários processos de deposição a vácuo, particularmente em sistemas de câmara de processo de deposição de filmes finos. Aplicação em câmaras de revestimento de deposição física de vapor Esta válvula de comporta de 3 posições foi projetada para aplicações confiáveis de alto e ultra-alto vácuo (UHV) e é frequentemente usada em combinação com bombas de alto vácuo crio, turbo e íon. Ela encontrou maior uso em processos de vácuo estrangulados, como deposição de pulverização catódica por magnetron PVD. Em uma câmara de revestimento PVD, como em sistemas de pulverização catódica, uma válvula de comporta de 3 posições é frequentemente usada para controlar a conexão entre a bomba turbo-molecular e a câmara de processo principal. Essas válvulas de comporta permitem o controle preciso do sistema de vácuo e podem isolar a bomba, proteger a câmara e ajustar a velocidade de bombeamento. As três posições de uma válvula de comporta típica de 3 posições são:1. Posição Totalmente Aberta: Condutância máxima, velocidade máxima de bombeamento turbo, usada para evacuação inicial ou ao manter alto vácuo durante a deposição. 2. Parcialmente Aberta (Posição de Estrangulamento): Objetivo: Na posição parcialmente aberta, a válvula de gaveta fica apenas parcialmente aberta, estrangulando a condutância entre a câmara e a bomba turbo. O estrangulamento é importante ao trabalhar com gases reativos (por exemplo, oxigênio ou nitrogênio em pulverização catódica reativa) ou quando você precisa ajustar a pressão para o crescimento ideal do filme. Esta posição parcialmente aberta é definida e ajustada manualmente uma vez durante a instalação e pode ser alterada a qualquer momento para executar uma condição de processo diferente. 3. Posição Totalmente Fechada: Objetivo: Na posição totalmente fechada, a válvula de gaveta isola completamente a bomba turbo da câmara principal. Caso de Uso: Esta posição é usada para proteger a bomba turbo durante processos como ventilação da câmara, carregamento de amostra da câmara de travamento de carga ou quando a câmara está sendo exposta à pressão atmosférica. Ela evita que contaminantes ou ar atmosférico entrem na bomba turbo, o que pode danificá-la. Especificações: Especificações e características: Material Corpo SUS304 Carro Tipo de ligação - SUS304 Tipo de esfera Tamanho abaixo de 10” - SUS304 Tipo de esfera Tamanho acima de 10” (incluído) - SUS304, A6061-T6 Comporta Tipo de ligação - SUS304 Tipo de esfera Tamanho abaixo de 10” - SUS304 Tipo de esfera Tamanho acima de 10” (incluído) - A6061-T6 Fole AM350 Ciclo de vida HV: DN200 - 300.000 ciclos UHV: DN200 - 50.000 ciclos Taxas de vazamento de hélio a 1 atm diferencial <2×10-9 mbar·l /seg para O-ring <5×10-10 mbar·l /seg para vedação de junta Temperatura de cozimento Aberto - 200 °C Vedação de capô Viton Fechado - 150 °C Vedação de capô Viton Faixa de pressão (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P máximo (mbar) < 30 antes da abertura Vedação padrão Gaveta - Anel de vedação de Viton Castelo - Anel de vedação de Viton ou junta de cobre OFHC Atuador - Pneumático Fornecimento de ar comprimido Conexão de tubo - 6 mm Faixa de pressão - 4-6 Kg/cm2 (sobrepressão) Tratamento de superfície - Polido Scotch Opções Indicador de posição Válvula solenoide de controle pneumático Porta de desbaste Outro material Vedação do anel de vedação da comporta Consulte os downloads para obter mais informações sobre esta válvula de comporta e outras configurações de válvulas relacionadas.

Válvula de gaveta pneumática HV de 3 posições Ideal Vacuum, estrangulada na 3ª posição, com sensores de solenóide e palheta, 24 VCC, flange ISO-F 200 (DN 200), vedação padrão de anel de vedação Viton, 1x10-8 Torr, corpo SUS304, 300.000 ciclos Esta válvula de gaveta de aceleração de 3 posições Ideal Vacuum é operada pneumaticamente com um flange ISO-F 200 (DN CF200). Ela tem uma 3ª posição que pode ser ajustada para parcialmente aberta. Ela é classificada para alto vácuo (HV) e vem com uma vedação de anel de vedação Viton padrão para a gaveta e anel de vedação Viton ou junta de cobre OFHC para o capô com uma válvula solenóide controlada pneumaticamente. Esta válvula de gaveta flangeada ISO-F usa anéis de vedação Viton para os foles e vedações da placa do capô e, portanto, são limitadas a aplicações de alto vácuo (HV) com pressões máximas de até 1x10-8 Torr. As válvulas têm uma vida útil típica de 300.000 ciclos antes de precisar de manutenção. Elas são feitas com gavetas e corpos de válvula de aço inoxidável 304 resistentes à corrosão. Este controle de 3 posições fornece flexibilidade e precisão na manutenção de condições ideais para vários processos de deposição a vácuo, particularmente em sistemas de câmara de processo de deposição de filmes finos. Aplicação em câmaras de revestimento de deposição física de vapor Esta válvula de gaveta de 3 posições foi projetada para aplicações confiáveis de alto vácuo e é frequentemente usada em combinação com bombas de alto vácuo crio, turbo e íon. Ela encontrou uso crescente em processos de vácuo estrangulados, como deposição de pulverização catódica magnetron PVD. Em uma câmara de revestimento PVD, como em sistemas de pulverização catódica, uma válvula de gaveta de 3 posições é frequentemente usada para controlar a conexão entre a bomba turbomolecular e a câmara de processo principal. Essas válvulas de gaveta permitem o controle preciso do sistema de vácuo e podem isolar a bomba, proteger a câmara e ajustar a velocidade de bombeamento. As três posições de uma válvula de gaveta típica de 3 posições são: 1. Posição totalmente aberta: condutância máxima, velocidade de bombeamento turbo total, usada para evacuação inicial ou ao manter alto vácuo durante a deposição. 2. Parcialmente aberta (posição de estrangulamento): Objetivo: na posição parcialmente aberta, a válvula de gaveta fica apenas parcialmente aberta, estrangulando a condutância entre a câmara e a bomba turbo. O estrangulamento é importante ao trabalhar com gases reativos (por exemplo, oxigênio ou nitrogênio em pulverização catódica reativa) ou quando você precisa ajustar a pressão para o crescimento ideal do filme. Esta posição parcialmente aberta é definida e ajustada manualmente uma vez durante a instalação e pode ser alterada a qualquer momento para executar uma condição de processo diferente. 3. Posição totalmente fechada: Objetivo: na posição totalmente fechada, a válvula de gaveta isola completamente a bomba turbo da câmara principal. Caso de uso: Esta posição é usada para proteger a bomba turbo durante processos como ventilação da câmara, carregamento de amostra da câmara de travamento de carga ou quando a câmara está sendo exposta à pressão atmosférica. Ela evita que contaminantes ou ar atmosférico entrem na bomba turbo, o que pode danificá-la. Especificações: Especificações e características: Material Corpo SUS304 Carro Tipo de ligação - SUS304 Tipo de esfera Tamanho abaixo de 10” - SUS304 Tipo de esfera Tamanho acima de 10” (incluído) - SUS304, A6061-T6 Comporta Tipo de ligação - SUS304 Tipo de esfera Tamanho abaixo de 10” - SUS304 Tipo de esfera Tamanho acima de 10” (incluído) - A6061-T6 Fole AM350 Ciclo de vida HV: DN200 - 300.000 ciclos UHV: DN200 - 50.000 ciclos Taxas de vazamento de hélio a 1 atm diferencial <2×10-9 mbar·l /seg para O-ring <5×10-10 mbar·l /seg para vedação de junta Temperatura de cozimento Aberto - 200 °C Vedação de capô Viton Fechado - 150 °C Vedação de capô Viton Faixa de pressão (mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 Delta P máximo (mbar) < 30 antes da abertura Vedação padrão Gaveta - Anel de vedação de Viton Castelo - Anel de vedação de Viton ou junta de cobre OFHC Atuador - Pneumático Fornecimento de ar comprimido Conexão de tubo - 6 mm Faixa de pressão - 4-6 Kg/cm2 (sobrepressão) Tratamento de superfície - Polido Scotch Opções Indicador de posição Válvula solenoide de controle pneumático Porta de desbaste Outro material Vedação do anel de vedação da comporta Consulte os downloads para obter mais informações sobre esta válvula de comporta e outras configurações de válvulas relacionadas.