Controlador de fluxo de massa MKS GM50A (MFC) controlado digitalmente, faixa de 0,4 a 20 sccm, subminiatura D de 15 pinos, 4 videocassetes macho.
Número da peça MKS: GM50A013201RMM020. O controlador de fluxo de massa MKS GM50A é capaz de ser configurado para controlar N2 ou equivalente, tendo uma faixa de fluxo em escala real de 20 sccm e uma faixa de controle de 0,4 a 20 sccm. Ele possui um conector analógico subminiatura D de 15 pinos com aterramento vinculado, um sinal de entrada/saída de fluxo de 0-5 VCC e conexões macho de entrada e saída Swagelok® 4 VCR®. Os tempos de resposta típicos são da ordem de 500 milissegundos. A calibração digital produz 1% de precisão do ponto de ajuste no gás de calibração.
Os recursos multifaixa podem ser configurados por meio de um aplicativo baseado em navegador da Web, acessado conectando o MFC a um roteador ou computador via cabo Ethernet. A aplicação E-diagnostics permite ao usuário monitorar o desempenho do MFC em tempo real, bem como plotar dados e selecionar variáveis.
Swagelok, VCR-TM Empresa Swagelok