MKS Instruments DRUCKREGLER, 100T, 1/4 SWAGELOK, NC, 10KSCCM, KALREZ, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, PN 640A12TS1D22D
Diese MKS Instruments DRUCKREGLER, 100T, 1/4 SWAGELOK, NC, 10KSCCM, KALREZ Teilenummer haben 640A12TS1D22D, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks.MKS Instruments DRUCKREGLER, 100T, 1/4 SWAGELOK, NC, 10KSCCM, KALREZ finden Sie, indem Sie den PDF-Katalog und die Dokumente unten herunterladen. Öffnen Sie einfach das PDF Katalog unten, führen Sie die PDF-Suche aus (Strg F) und suchen Sie nach 640A12TS1D22D.
|