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Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks. 3640.392
MKS Instruments 640A PRESS CONT,1KT,C-SEAL,NC,METALL, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A13TC1M62M
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Beschreibung

  
MKS Instruments 640A PRESS CONT,1KT,C-SEAL,NC,METALL, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A13TC1M62M

Diese MKS Instruments 640A PRESS CONT,1KT,C-SEAL,NC,METALL  Teilenummer haben 640A13TC1M62M, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der Absolutdruckregler 640B ist ein eigenständiges, kompaktes elektronisches Regelsystem mit geschlossenem Regelkreis, das zur vor- oder nachgeschalteten Druckregelung verwendet wird. Es enthält ein Baratron®-Kapazitätsmanometer, ein normalerweise geschlossenes Proportionalsteuerventil und eine Regelelektronik. Der 640B ähnelt elektrisch einem Standard-MFC und wird mit ±15 VDC bei nur 200 mA betrieben, was den Einsatz mit Standard-Stromversorgungs-/Anzeigeelektronik ermöglicht. Die Druckausgangs- und Eingangssteuersignale sind linear 0-5 oder 0-10 VDC und vom Benutzer wählbar. Im 640B sind zwei Auslösepunkte mit LED-Statusanzeigen enthalten, die als einfache Ein-/Aus-Prozessgrenzen dienen. Zu den typischen 640B-Anwendungen gehören die Steuerung des Bubbler-Rückdrucks, die Steuerung des Gasverteilerdrucks und die Steuerung des Wafer-Rückseitendrucks.MKS Instruments 640A PRESS CONT,1KT,C-SEAL,NC,METALL  finden Sie, indem Sie den PDF-Katalog und die Dokumente unten herunterladen. Öffnen Sie einfach das PDF Katalog unten, führen Sie die PDF-Suche aus (Strg F) und suchen Sie nach 640A13TC1M62M.

Preis

Produkt: MKS Instruments 640A PRESS CONT,1KT,C-SEAL,NC,METALL, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron, Kompakter Druckregler mit integriertem Baratron,  PN  640A13TC1M62M

Zustand: New
Garantie: MKS Instruments Garantie
Artikelnummer: 640A13TC1M62M
Verkaufspreis: €3,640.39

Währung Euro (Euro)

QTY:   

Anleitungen



VERFÜGBARE DOWNLOADS:
  Datenblatt zum elektronischen Druckregler MKS 640B, 641B.pdf (0.2 MB)
  MKS 640B, 641B Druckregler Bedienungsanleitung.pdf (0.58 MB)
  MKS 647B Mehrkanal-Durchflussverhältnis-/Druckregler Bedienungsanleitung.pdf (0.49 MB)
  MKS 649B Druckregler mit integriertem Massendurchflussmesser Bedienungsanleitung.pdf (0.49 MB)
  MKS 649B Elektronischer Druckregler mit Massenflussmesser – Datenblatt.pdf (0.2 MB)
  MKS DPC Zweizonen-Druckregler Datenblatt.pdf (0.44 MB)
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