Pfeiffer Vacuum Wartungsset, Restgasanalysatoren, Restgasanalysatoren,  PN  PK E61 022 -T

Diese Pfeiffer Vacuum Wartungsset  Teilenummer haben PK E61 022 -T, sind neu und werden komplett geliefert Pfeiffer Vacuum Garantie.

Pfeiffer PrimaPro QMG 250

Quadrupol-Massenspektrometer von Pfeiffer Vacuum mit Faraday-Detektoren sind die bevorzugten Geräte zur qualitativen Analyse der Gaszusammensetzung in einer Hochvakuumkammer. Im Vergleich zu Vakuummessgeräten bieten Quadrupol-Massenspektrometer eine viel größere Informationsfülle über das Vakuum. Um unter Hochvakuum Aufschluss über Lecks, die Freisetzung von Wasserdampf oder Verunreinigungen mit Kohlenwasserstoffen zu erhalten, reicht oft ein Faraday-Detektor aus. Pfeiffer Vacuum bietet hierfür eine Reihe von Quadrupol-Massenspektrometern mit unterschiedlichen Massenbereichen und Filamentmaterialien an.

Die vom Massenspektrometer gelieferten Ionenströme für das Masse-Ladungs-Verhältnis der Gaskomponenten liefern aussagekräftige Informationen über ein Vakuumsystem in den verschiedenen Betriebsphasen, sei es zur Bestimmung der Dichtheit und der Kontaminationsfreiheit nach dem Aufbau oder zu seiner Charakterisierung beim Betreiben eines Vakuumprozesses.

Der Druckbereich, der im Vakuumsystem aufgrund der Konstruktion der Vakuumkammer und des Pumpsystems erreicht werden kann, bestimmt die Auswahl des Massenspektrometers im Hinblick auf den Detektor. Im Hochvakuum reicht häufig ein Faraday-Detektor aus, während im Ultrahochvakuum zur Detektion der sehr geringen Gasdichten ein Sekundärelektronenvervielfacher erforderlich ist.

Ein weiteres wichtiges Kriterium ist der zu erfassende Massenbereich. Im herkömmlichen Vakuumsystem stehen atmosphärische Gase wie Stickstoff, Sauerstoff, Argon, Wasserdampf und allgemein die Verunreinigung mit leichten Kohlenwasserstoffen im Vordergrund. Um diese Gase nachzuweisen, eignet sich ein Quadrupol-Massenspektrometer für den Bereich zwischen 1 und 100 atomaren Masseneinheiten (u), da dieses in diesem Bereich eine hervorragende Massentrennung aufweist. Müssen auch schwerere Gase und deren Bestandteile erfasst werden, beispielsweise langkettige Kohlenwasserstoffe, bietet Pfeiffer Vacuum hierfür auch Massenfilter für 1 bis 200 u oder 1 bis 300 u an.

Für die meisten Aufgaben in der Restgasanalyse ist eine offene Ionenquelle die beste Wahl, da sie ein robustes Design mit einer hohen Nachweisempfindlichkeit vereint. Aufgaben, bei denen Gasstrahlen oder Gasströme analysiert werden müssen, lassen sich vorteilhaft mit einer geschlossenen oder einer Kreuzstrahl-Ionenquelle bewältigen. Für den Ultrahochvakuumbereich steht auch eine Gitterionenquelle mit extrem geringer Ausgasungsrate zur Verfügung. Dank der präzisen Konfigurierbarkeit der Pfeiffer Vacuum Quadrupol-Massenspektrometer aufgrund der großen Auswahl an Komponenten können die Spektrometer für alle Messaufgaben optimal ausgewählt werden. Unsere Produkt- und Anwendungsspezialisten mit langjähriger Erfahrung beraten Sie gerne bei der Konfiguration des passenden Restgasanalysators.

Pfeiffer Hochdruckanalysator HPA 220

Der Pfeiffer Vacuum Hochdruckanalysator HPA 220 ist ein modulares und flexibel einsetzbares Massenspektrometersystem mit trockener Turbopumpstation für die Gasanalyse im Vakuum bis zu Drücken von 37 Torr (50 hPa). Je nach Einsatz stehen beim Pfeiffer Vacuum HPA 220 fünf verschiedene elektropneumatische sowie manuell betätigbare Gaseinlassventile zur Auswahl. Dadurch können selbst kleinste Verunreinigungen im Prozessgas durch reaktive Gase erkannt werden. Zudem verhindert es wirkungsvoll eine Messwertverfälschung durch Rückdiffusion aus der Analysatorkammer.

Pfeiffer Vacuum SPM 220 Sputterprozessmonitor

Der Pfeiffer Vacuum Sputter Process Monitor SPM 220 bietet die perfekte Lösung für qualitative und quantitative Gasanalysen von Sputterprozessen. Die Kombination aus der Pfeiffer Vacuum HiPace Turbopumpstation und dem Massenspektrometersystem mit einer speziell entwickelten SPM-Ionenquelle ermöglicht eine präzise, zeitnahe Prozessgasanalyse bis zu einem Druck von 7,4 mTorr (10-2 hPa).

Kontaktieren Sie Ideal Vacuum unter (505) 872-0037, um ein ermäßigtes Angebot zu erhalten und mit einem Vertriebsingenieur für Vakuumprozessgasanalyse zu sprechen. Wir können ein Gasanalysesystem entwerfen und konfigurieren, das Ihrem Budget und Ihren Anwendungsanforderungen entspricht.

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