MKS Instruments KABEL, 147 BIS 1159, ROHS, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler, Vorgeschaltete Ventile und Druckregler,  PN  RCB147-1-30

Diese MKS Instruments KABEL, 147 BIS 1159, ROHS  Teilenummer haben RCB147-1-30, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Das Ventil 245 ist eine modifizierte Version des ausheizbaren Ganzmetall-Steuerventils der Serie 216 von Grainville-Philips. Das Ventil 245 ist in der Lage, Drücke von 10-11 bis 6000 Torr zu regeln, mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 2500 Torr-Liter/Sek. (200 slm): Das Ventil kann mit vielen korrosiven Gasen verwendet werden, die den Einsatz anderer Ventile ausschließen. Wenn die Ventiltreiberbaugruppe entfernt ist, kann das Ventil für UHV-Anwendungen auf 450 °C erhitzt werden. Der zum Antrieb des Typs 245 verwendete Schrittmotor ermöglicht eine Reaktion auf Druck- oder Sollwertänderungen in Sekundenbruchteilen und treibt das Ventil in nur 15 Sekunden von einer vollständig geschlossenen in eine vollständig geöffnete Position. Der Controller Typ 244 vervollständigt das System. Das Druck-/Durchflussregelsystem 244/245 ist ein Rückkopplungsregelsystem mit geschlossenem Regelkreis für den Einsatz in Vakuumprozessen, die ein ausheizbares Ganzmetallregelventil zur Druck- oder Durchflussregelung über einen weiten Bereich erfordern. Das 244/345-System, bestehend aus einem Steuermodul und einem servogesteuerten Leckventil, eignet sich ideal für Einzelgasprozesse wie Sputtern, Sputterätzen, Ionenquellensteuerung, Ionenimplantation, Vakuummeterkalibrierung usw.

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