Pfeiffer Vacuum unidad de filamento, Analizadores de gases residuales, Analizadores de gases residuales,  PN  PT 163 331

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Pfeiffer PrimaPro QMG 250

Los espectrómetros de masas de cuadrupolo al vacío de Pfeiffer con detectores de Faraday son los dispositivos preferidos para el análisis cualitativo de la composición del gas en una cámara de alto vacío. En comparación con los vacuómetros, los espectrómetros de masas cuadrupolos ofrecen una riqueza mucho mayor de información sobre el vacío. Un detector de Faraday suele ser suficiente para obtener información sobre fugas, liberación de vapor de agua o contaminación con hidrocarburos en alto vacío. Para ello, Pfeiffer Vacuum ofrece una gama de espectrómetros de masas cuadrupolos con distintos rangos de masas y materiales de filamento.

Las corrientes iónicas suministradas por el espectrómetro de masas para la relación masa-carga de los componentes del gas proporcionan información significativa sobre un sistema de vacío en las múltiples fases de funcionamiento, ya sea para determinar la estanqueidad y la ausencia de contaminación después de la instalación o para su caracterización. cuando se opera un proceso de vacío.

El rango de presión que se puede alcanzar en el sistema de vacío en función del diseño de la cámara de vacío y del sistema de bombeo determina la selección del espectrómetro de masas con respecto al detector. Un detector de Faraday suele ser suficiente en alto vacío, mientras que en ultra alto vacío es necesario un multiplicador de electrones secundario para detectar densidades de gas muy bajas.

Otro criterio clave es el rango de masa a detectar. En el sistema de vacío tradicional, los gases atmosféricos como nitrógeno, oxígeno, argón, vapor de agua y, en general, la contaminación con hidrocarburos ligeros son el foco principal. Para detectar estos gases lo ideal es un espectrómetro de masas cuadrupolo en el rango entre 1 y 100 unidades de masa atómica (u), ya que demuestra una excelente separación de masas en este rango. Si también es necesario detectar gases más pesados y sus componentes, como por ejemplo hidrocarburos de cadena larga, Pfeiffer Vacuum también ofrece para ello filtros de masa de 1 a 200 u o de 1 a 300 u.

Una fuente de iones abierta es la mejor opción para la mayoría de las tareas de análisis de gases residuales, ya que combinan un diseño robusto con una alta sensibilidad de detección. Las tareas para las que es necesario analizar chorros o corrientes de gas se pueden realizar ventajosamente con una fuente de iones cerrada o transversal. Para el rango de vacío ultraalto, también está disponible una fuente de iones de rejilla con una tasa de desgasificación extremadamente baja. Gracias a la precisa capacidad de configuración de los espectrómetros de masas de cuadrupolo de vacío de Pfeiffer debido a la gran cantidad de componentes para elegir, los espectrómetros se pueden seleccionar de manera óptima para todas las tareas de medición. Nuestros especialistas en productos y aplicaciones con muchos años de experiencia estarán encantados de asesorarle sobre la configuración del analizador de gases residuales adecuado.

Analizador de alta presión Pfeiffer HPA 220

El analizador de alta presión al vacío HPA 220 de Pfeiffer es un sistema de espectrómetro de masas modular y de uso flexible con una estación de turbobombeo seco para el análisis de gases en vacío hasta presiones de 37 Torr (50 hPa). Dependiendo del uso, con la Pfeiffer Vacuum HPA 220 se pueden seleccionar cinco válvulas de entrada de gas diferentes, tanto electroneumáticas como manuales. Esto permite que los gases reactivos detecten incluso las impurezas más pequeñas del gas de proceso. También previene eficazmente cualquier falsificación de lecturas causada por la retrodifusión desde la cámara del analizador.

Monitor de proceso de pulverización catódica Pfeiffer Vacuum SPM 220

El monitor de procesos de pulverización catódica al vacío SPM 220 de Pfeiffer proporciona la solución perfecta para análisis de gases cualitativos y cuantitativos en procesos de pulverización catódica. La combinación de la estación de turbobombeo Pfeiffer Vacuum HiPace y el sistema de espectrómetro de masas con una fuente de iones SPM especialmente desarrollada permite un análisis preciso y actualizado del gas de proceso hasta una presión de 7,4 mTorr (10-2 hPa).

Comuníquese con Ideal Vacuum al (505) 872-0037 para recibir una cotización con descuento y hablar con un ingeniero de ventas de análisis de gases de proceso de vacío. Podemos diseñar y configurar un sistema de análisis de gases para satisfacer su presupuesto y necesidades de aplicación.

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