MKS Instruments MFC, N2, 2K SCCM, ETHERCAT, NC VITON, LCEA23CE18V20, Régulateurs de débit massique scellés en métal et en élastomère, Régulateurs de débit massique scellés en métal et en élastomère, PN GE50A013203E8V020
Ces MKS Instruments MFC, N2, 2K SCCM, ETHERCAT, NC VITON, LCEA23CE18V20 avoir un numéro de pièce GE50A013203E8V020, sont neufs et livrés avec MKS Instruments garantie. Le contrôleur de débit massique à commande numérique GE50A est disponible avec E/S RS485, Profibus, EtherCAT ou DeviceNet. L'électronique de contrôle numérique a utilisé les derniers algorithmes de contrôle MKS pour une réponse rapide et reproductible au point de consigne sur toute la plage de contrôle de l'appareil. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique donne 1 de précision du point de consigne sur le gaz d'étalonnage. Les protocoles d'E/S sont conçus pour permettre au GE50A de remplacer facilement les versions RS485 et DeviceNet du MFC 1179A de MKS avec un codage mineur. Une empreinte standard de 3 pouces permet son utilisation sans modifier les configurations de conduites de gaz existantes. Le GE50A intègre un seul joint externe en élastomère et un clapet de vanne en élastomère. Toutes les surfaces mouillées sont en métal. Le GE50A est livré en standard avec des joints Viton ou en option Buna, Néoprène ou Kalrez pour répondre à différents besoins en gaz.
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