MKS Instruments VALVOLA, 200SCCM 4 VCR M, Valvole a monte e controllori di pressione, Valvole a monte e controllori di pressione, PN 148JA22CR1M
Questi MKS Instruments VALVOLA, 200SCCM 4 VCR M avere il numero di parte 148JA22CR1M, sono nuovi e vengono forniti completi MKS Instruments garanzia. Il design avanzato e ultrapulito della valvola di controllo interamente in metallo 148J dello strumento MKS minimizza la generazione di particelle e riduce il degassamento dei contaminanti residui, entrambi i quali possono portare a guasti del dispositivo e scadenti rendimenti. Le guarnizioni metalliche, con un tasso di perdita esterno garantito inferiore a 1 x 10-10 atm cc/sec (He), vengono utilizzate per evitare contaminazione e corrosione. Le 148 valvole per alta temperatura possono funzionare a temperature di processo di 150°C.
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