MKS Instruments MFC, N2, 2K SCCM, ETHERCAT, NC VITON, LCEA23CE18V20, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero, Regolatori di flusso di massa sigillati in metallo ed elastomero,  PN  GE50A013203E8V020

Questi MKS Instruments MFC, N2, 2K SCCM, ETHERCAT, NC VITON, LCEA23CE18V20  avere il numero di parte GE50A013203E8V020, sono nuovi e vengono forniti completi MKS Instruments garanzia. Il regolatore di flusso di massa a controllo digitale GE50A è disponibile con I/O RS485, Profibus, EtherCAT o DeviceNet. L'elettronica di controllo digitale utilizza i più recenti algoritmi di controllo MKS per una risposta rapida e ripetibile al valore impostato in tutto l'intervallo di controllo del dispositivo. I tempi di risposta tipici sono dell'ordine di 500 millisecondi. La calibrazione digitale fornisce 1 di precisione del setpoint sul gas di calibrazione. I protocolli I/O sono progettati per consentire al GE50A di sostituire facilmente le versioni RS485 e DeviceNet dell'MFC 1179A di MKS con codifica minore. Un ingombro standard da 3 pollici ne consente l'utilizzo senza modificare le configurazioni esistenti della linea del gas. Il GE50A incorpora solo una guarnizione esterna in elastomero e un solo otturatore della valvola in elastomero. Tutte le superfici bagnate sono metalliche. Il GE50A viene fornito di serie con guarnizioni in Viton o Buna, Neoprene o Kalrez opzionali per supportare diversi requisiti di gas.

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