安捷伦瓦里安钛升华泵 (TSP) 灯丝替换件,可吸气气体,2.75 (2-3⁄4) 英寸外径扁平法兰。安捷伦瓦里安部件号 9160050 TSP 滤筒安装在 2-3⁄4 英寸外径 ConFlat 法兰上,包含三个钛钼丝,每个丝含有 1.1 克可用钛。筒组件可烘烤至最高 400°C。钛升华泵 (TSP) 通常用作在特高压系统中泵送可吸气气体(例如氢气和氮气)的有效方法。 TSP 通常与离子泵结合使用,因为离子泵对于不可吸气的 UHV 气体(如氩气和甲烷)非常有效。 TSP 可以添加到离子泵内部,或作为单独的泵单元。如果TSP与液氮冷却低温板结合使用,将实现超高的抽水速度。
瓦里安提供两种不同类型的钛热升华泵:灯丝源和钛球源。灯丝型 TSP 源最受 UHV 系统欢迎,因为它们可以在升华之间关闭,因此不会增加热致脱气。球型源含有大量钛,这意味着在使用更多钛的条件下(例如更高的工作压力)运行时,使用寿命更长。然而,球源在升华之间需要备用电源,以防止钛球中形成裂纹。影响钛升华泵送效率的因素包括升华速率、频率、表面积和温度。升华抽速通常是低于10 -7 mbar 的恒定值。