MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 模拟控制,范围为 1 至 50 sccm,15 针连接器,4 VCR 公头。PN:GM50A013501RMM020。
MKS 零件编号:GM50A013501RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出配件为 Swagelok® 4 VCR® 公头。它的满量程流量范围为 50 sccm,控制范围为 1 至 50 sccm,带有接地的 15 针 D 型微型连接器,以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型响应时间约为 500 毫秒。
Swagelok, VCR-TM 世伟洛克公司