MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 多传感器热阴极传感器,KF-40,RS232。 MKS 零件号 999-51 MKS HPS® 系列 999 Quattro™ 是终极传感器解决方案,可提供从 10 -10 Torr 到大气的压力测量,并具有大气切换功能。 Quattro 将 HPS 的三项关键技术整合到一个集成仪表解决方案中,并在一个紧凑的封装中具有四个传感器的功能。 Quattro 包括微型热阴极电离传感器、基于 MEMS 的 MicroPirani™ 传感器和独特的压电传感器,提供差分和绝对传感器功能。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 999。有关完整规格和操作信息,请参阅下载部分。