BRUKER DektakXT-Advanced Stylus Profilometer, DXT-A Oberflächenprofil-Messsystem, 3D-automatische Oberflächenprofilierung

Bruker DektakXT-A Stylus-Profilometer, DXT-Oberflächenprofil-Messsystem.
Dieses DektakXT-A-System umfasst:

• Dell OptiPlex-PC mit Win10 Pro-Betriebssystem und Bruker Vision64-Software
• Vier luftisolierte Füße
• Motorisierter X/Y-Tisch mit 6 Zoll Verfahrweg, motorisierte 360-Grad-Drehung
• beinhaltet 2-3, 4-6 oder 8" Vakuumspannfutter als Standard im System
• LIS 3, Sensor mit geringer Trägheit und einer Kraft von 1 bis 15 mg
• 3,1 Megapixel Farbkamera mit wählbarer Vergrößerung
• Starterstift (wählen Sie 2 µm oder 12,5 µm)
• Optisch flacher Scanblock mit 55mm Scanlänge
• Wiederholbarkeit der Schritthöhe von 4 Å, 1 Sigma bei 1-µm-Schritten
• Stitching für bis zu 200 mm große Scans
• 3D-Kartensammlung und umfangreiche Datenanalyse
• Automatisierte Erfassungsfunktionen mit einer unbegrenzten Anzahl von Standorten
• 1 Jahr eingeschränkte Herstellergarantie

Dektak XT-Anlagenbedarf, Abmessungen, Gewicht und Wärmebelastung




In Tabelle 1 sind die Anlagenanforderungen des DektakXT-Systems aufgeführt. In Tabelle 2 sind dessen Abmessungen, Gewicht und Wärmebelastung aufgeführt.

LEISTUNG
DXT-110V - 100/115 VAC-BETRIEB
Konfigurieren Sie die Stromversorgung für den 100/115-VAC-Betrieb. Bereit für den Betrieb in den USA und Ländern mit 100/115 Volt und standardmäßigen dreipoligen US-Steckdosen.

UMWELTSCHUTZGEHÄUSE DXT-ENC – DXT-Umweltschutzgehäuse ist im Lieferumfang enthalten.

COMPUTER
Ein 64-Bit-Desktop-Computer von Bruker ist im Lieferumfang enthalten. Dell OptiPlex, Betriebssystem Win10 Pro, 3,2 GHz-Prozessor, Intel Core i5, 4 GB (1 x 4 G) 1600 MHz DDR3L-Speicher, 500 GB Festplatte mit Vision64#-Bedien- und Analysesoftware.

COMPUTERMONITOR Ein VGA-kompatibler Monitor ist erforderlich. Der Monitor MUSS eine Auflösung von 1920 x 1080 bei 60 Hz unterstützen, einen DVI-D-Anschluss haben und DisplayPort-kompatibel sein. Das System wird nicht mit dem Monitor geliefert und ist nicht im Grundpreis enthalten. Auf Anfrage kann jedoch ein brandneuer kompatibler Monitor in Rechnung gestellt und geliefert werden.

XY-TISCH
DXT-AUTO - MOTORISIERTER XY-BÜHNEN 150 X 150 MM, R-BÜHNEN

DXT-R-AUTO – MOTORISIERTE R-THETA DXT-S/A PROBENPLATTENOPTIONEN
DXT-SET-WVC - WAFER VAKUUM CHUCK PAKET 1.620,00 1.620,00
Wafer-Vakuum-Chuck-Paket
Dieses Wafer-Vakuumspannpaket besteht aus: 2-3" (838-203), 4-6" (838-189) und 8" (838-195) Wafer-Vakuumspannen. Der Preis ist zusätzlich zum Grundsystempreis zu verstehen.

STARTER-STYLUS
DXT-STYL-2UM-B - STYLUS, LIS 3, 2UM RAD-TYP B
Dieser Starterstift mit Stiftspitze mit 2-µm-Radius wird kostenlos mit diesem System geliefert und ist nach der Installation sofort einsatzbereit. Ein SEM-Bild der Spitze ist nicht im Lieferumfang enthalten. ANWENDUNGSPAKETE

DXT-STITCH – STITCHING-FÄHIGKEIT Die Stitching-Funktion von Vision64 ermöglicht es DXT-A-Systemen, mehrere Scans zusammenzufügen und so einen nahtlosen Scan zu erzeugen, der 6 Zoll (150 mm) motorisierten Weg abdeckt. Dies ist besonders nützlich bei der 2D-Filmspannungsmessung auf Silizium-Wafer und Proben ähnlicher Ebenheit. Die Stitching-Funktion ist in diesem DektakXT Advanced System (DXT-A) enthalten. DXT-3D MAP – 3D-MAPPING- UND ANALYSE-FÄHIGKEIT Die 3D-Mapping-Funktion von Vision64 umfasst die Live-Visualisierung von 3D-Karten, während diese auf DXT-A Advanced Systems erfasst werden. 3D-Mapping bietet die Möglichkeit, 3D-Datensätze aller Größen zu erzeugen, einschließlich großer Karten durch Stitching. Die vollständige Suite der 3D-Analysen von Vision64 ist mit dieser Funktion für erweitertes Filtern und Bearbeiten der Datensätze verfügbar.

DXT-2D STRESS – 2D-SPANNUNGSMESSFUNKTION Die 2D-Spannungsmessungsfunktion von Vision64 berechnet Zug- und Druckspannung gleichzeitig. Mithilfe einer polynomischen Anpassung 5. Ordnung und einer vom Benutzer wählbaren Elastizitätskonstante erzielt die 2D-Spannungsfunktion genaue Ergebnisse. Sie kann in Kombination mit der Stitching-Funktion verwendet werden, um größere Bereiche auf flachen Wafern auf den DXT-Advanced-Systemen zu messen. Systeme, die mit einem Wafer-Vakuumfutter bestellt werden, umfassen verchromte Kugellager und einen Stiftmagneten.

DXT-AUTOMATION – AUTOMATISIERTE MESSWERTERFASSUNG Die Vision64-Automatisierungsfunktion ermöglicht die automatische Erfassung von Zeilenscans und 3D-Karten an mehreren Standorten. Bediener können mithilfe von Automatisierungsrezepten eine Reihe von Analysen mit einem einfachen Mausklick durchführen. Diese Standardfunktionalität von DXT-A ist in Produktionsumgebungen für Qualitätssicherung und -kontrolle von Vorteil, in denen wiederholte Messungen an mehreren Standorten einer Probe erforderlich sind.

KUNDENINSTALLATIONSKIT Der DektakXT ist mit diesem Kit zur Selbstinstallation konzipiert. Ein Anleitungsvideo führt unsere Kunden durch das Auspacken, Einrichten und die erste Überprüfung der Systemfunktionalität. Ein zusätzlicher Satz Videos führt die Bediener durch die Datenerfassung und -analyse. Dieser umfassende Satz kurzer Videos macht die Bediener schnell mit der Bedienung des DXT vertraut und kann während der gesamten Betriebsdauer des Systems als Referenz verwendet werden.