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Stichwort       Artikelnummer:      

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultrahochvakuum-Halbleiter-Kryopumpe, nicht an Bord, LF ISO 250, drei 3 Phasen, überholt

Zustand:
  Wieder aufgebaut
Artikelnummer:
  P1010243
Garantie:
  90-Days

Jetzt verfügbar   1  

Verkauf: €7,905.00

Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultrahochvakuum-Halbleiter-Kryopumpe, nicht an Bord, LF ISO 250, drei 3 Phasen, überholt 7905
Währung: Euro (Euro)

Beschreibung

Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultrahochvakuum-Halbleiter-Kryopumpe, LF ISO 250, dreiphasig, überholt, 6500 l/s Wasser, 2200 l/s Luft, 1800 l/s Argon, überholt.
Edwards CTI Brooks Teilenummer: 8116086G002.

Die dreiphasige Kryopumpe Cryo-Torr OB250F von Edwards CTI-Cryogenics (jetzt Edwards) wurde speziell für die erhöhte Leistung und die engen Platzanforderungen für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt und konstruiert.

Diese Kryopumpe verfügt über einen ISO 250-Einlassflansch und einen standardmäßigen KF-25-Vorpumpenflansch. Es ist für ein Ultrahochvakuum (UHV) von 10-8 Torr geeignet und verfügt über folgende Nennpumpgeschwindigkeiten:
  • Wasser ………. 6500 l/Sek
  • Luft ………..…. 2200 l/Sek
  • Wasserstoff ....…. 3200 l/Sek
  • Argon ………. 1800 l/Sek

Diese Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F Dreiphasenpumpe läuft NUR mit Dreiphasenstrom. Die Stromversorgung erfolgt über einen speziellen CTI-Drehstrommotorcontroller.

Die dreiphasige Kryopumpe Cryo-Torr 250F von CTI setzt keine beweglichen Teile, Betriebsflüssigkeiten oder Vorpumpen dem Vakuum aus, wodurch die Möglichkeit einer Rückströmung des Systems oder einer Prozessverunreinigung durch die Kryopumpe selbst ausgeschlossen ist.

Broschüre

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