HALO-Sichtfensterbaugruppe, unbeleuchtet, zerlegbar, ISO-80, LF80, 3/8 Zoll Quarzglas

Dieser Ideal Vacuum HALO Viewport mit Quarzglasfenster verfügt über einen ISO-K-Flansch und kann an jeder Vakuumkammer mit einem ISO LF 80-Anschluss verwendet werden.

Unsere Quarzglasfenster werden aus natürlichem Quarz höchster Qualität hergestellt, was zu höchster Reinheit und geringsten Einschlüssen und Blasen führt. Vergleichbar mit Heraeus TSC-3 verfügen diese Fenster über eine verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Merkmalen gehören geringe Schwankungen des Brechungsindex und ein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für Halbleiteranwendungen wie Plasmaätz- und Abscheidungssysteme verwendet und empfohlen, wenn ein niedriger Alkali- und Aluminiumgehalt erforderlich ist. Es wird häufig für transmissive Optiken im sichtbaren und nahen bis mittleren Infrarotbereich verwendet, wo eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas hat Absorptionsbanden im Bereich von 2600 bis 2900 nm, ähnlich wie Quarzglas, aber nicht so stark. Aufgrund der Absorption im 270-nm-Bereich ist es für UV-Arbeiten ungeeignet.

Wir bieten auch HALO-Sichtfensterbaugruppen und Ersatzscheiben aus gehärtetem Standardglas mit niedrigem Eisengehalt oder Quarzglas an. Gehärtetes Glas wird üblicherweise für die allgemeine, direkte Beobachtung von Schrupp- oder Hochvakuumkammerprozessen verwendet und kann verwendet werden, um die optische Ausrichtung von Kammerkomponenten zu erleichtern, die Entgasung von Flüssigkeiten zu beobachten oder um In-Vakuum-Prozesse durch direkte Beobachtung zu lehren. Das Glasmaterial ist eisenarmes Standard-Floatglas. Die Oberflächenqualität und Ebenheit entspricht Q4 gemäß ASTM 1036-06 und 1048-04. Der geringe Eisengehalt des Glases führt zu einer leichten bläulichen Tönung. Dieses kostengünstige Glas ist für Laserexperimente unterhalb des sichtbaren oder nahen Infrarot (NIR)-Wellenlängenbereichs ungeeignet.

Unsere hochreinen Quarzglasfenster werden auf beiden Seiten auf optische Qualität geschliffen und poliert, mit einer Gesamtdickenschwankung (TTV) von <10 µm, einer Oberflächenbeschaffenheit von S/D 40/20 und einer Oberflächenrauheit von Ra < 1 nm (vergleichbar). nach Corning HPFS 7980). Diese Fenster haben eine deutlich verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Merkmalen gehören außergewöhnlich geringe Brechungsindexschwankungen, niedrige Doppelbrechungswerte und ein extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für transmissive Optiken verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas wird für Optiken verwendet, die im tiefen UV-, sichtbaren und nahen Infrarot-Wellenlängenbereich arbeiten.

Beachten Sie, dass der Bestand an Quarzglas begrenzt ist, da Ideal Vacuum sein Premium-Fensterangebot auf Quarzglas umstellt. Beachten Sie auch, dass Quarzglasfenster möglicherweise fälschlicherweise mit Quarzglas-Teilenummern gekennzeichnet sind. Sie können Ihr Fenstermaterial überprüfen, indem Sie Ihre Verkaufsrechnung überprüfen.

Unbeleuchtete HALO-Viewports können vor Ort gewartet werden. Fensterscheiben können ausgetauscht oder durch ein anderes Material ersetzt werden, wenn sich die Versuchsanforderungen ändern. In der folgenden Grafik finden Sie die Transmissionskurven von gehärtetem Glas, Quarzglas und Quarzglas:

Unbeleuchtete HALO-Sichtfenster sind in den Größen ISO 63, 80, 100, 160, 200 und 250 erhältlich und werden anstelle von leeren ISO-Flanschen verwendet. Wie andere ISO-Fittings verwenden diese ISO-Flanschfenster entweder Einzel- oder Doppelklauenklemmen zusammen mit einem Zentrierring, der mit einem O-Ring versehen ist. Bei ISO-K-zu-ISO-K-Verbindungen Doppelkrallenklemmen verwenden. Verwenden Sie Einzelkrallenklemmen für ISO-K- bis ISO-F-Verbindungen (Schraubverbindungen). Die empfohlene Anzahl und Art der Spannpratzen sowie der benötigte Zentrierring finden Sie in der folgenden Tabelle:

Unsere ISO-Sichtfenster verfügen über ein innovatives Design ohne Metall-Glas-Kontakt, das die 3/8 Zoll dicke Fensterscheibe an einem Befestigungsflansch aus Edelstahl hält. Dieses gepolsterte Fenstermontagesystem gewährleistet die Sicherheit des Bedieners und ist selbst bei hohen Vakuumdrücken weniger anfällig für Leckagen als andere Sichtfensterkonfigurationen. Ideal Vacuum ISO HALO-Sichtfenster werden komplett montiert geliefert und verwenden Viton-O-Ringe und Teflon-Abstandshalter. Ausheiztemperaturen bis 150 °C sind zulässig.

HINWEIS: Alle Sichtfenster oder Sichtfenster sind von Natur aus zerbrechlich, sollten vorsichtig gehandhabt und vor der Verwendung stets überprüft werden. Die Sichtfenster von Ideal Vacuum sind NUR für VAKUUM konzipiert und ausgelegt und können anfällig für Thermoschocks sein, wenn sie schnellen Temperaturänderungen (>10 °C/min) ausgesetzt werden. Wenn Sie einen Laserstrahl durch das Fenster richten, stellen Sie sicher, dass die Wellenlänge des Lasers angemessen durch das Material des Fensters übertragen werden kann. Bitte laden Sie alle Sicherheitswarnungen im HALO View Window-Benutzerhandbuch herunter und lesen Sie sie.