Das Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA ist ein kompaktes Massenspektrometer, das bei der Bestimmung der Identität und Konzentration von Restgasen in einer Vakuumkammer helfen kann. Es kann zur Lecksuche, Ausgasungsanalyse, Qualitätskontrolle des Speisegases bei Beschichtungs- und Ätzanwendungen, Prozessfehlerbehebung und mehr verwendet werden.

Der direkt an eine Kammer angeschlossene RGA ist für den Dauerbetrieb bei Gesamtdrücken unter 1×10 ^-6 Torr und optimalerweise um 2×10 ^-7 Torr ausgelegt. Der Betrieb des RGA bei höheren Drücken führt zu einer drastisch reduzierten Lebensdauer von Ionisator, Filament und Quadrupol. Die integrierten Druckmesser des AnalyzaVAC werden sowohl intern als auch in der mitgelieferten AutoZ ⁺ -Software verwendet, um (in den meisten Fällen) schwerwiegende Schäden am RGA zu verhindern.

Um Gase in einer Kammer bei mittlerem Vakuum bis Atmosphärendruck zu messen, muss der RGA in einer separaten, kleinen Kammer mit eigenem Hochvakuumpumpsystem platziert werden. Das RGA-Vakuumsystem wird dann über ein Leckventil mit der Kammer verbunden, wodurch der RGA Gasproben in der Hauptkammer entnehmen kann, während das Hochvakuum um die empfindliche Quadrapolsonde herum aufrechterhalten wird.

Dieses Kit enthält alles, was Sie benötigen, um mit einem RGA Gase bei höheren Drücken zu messen.

Komponenten und Funktionen:

• Ideale Vakuumanalyse, VAC RGA.
• 1–200 AMU Scan-Bereich.
• Elektronenvervielfacher-Signalverstärker.
• Faradayscher Becherdetektor.
• Eingebautes Pirani-Messgerät verhindert, dass RGA bei hohem Druck einschaltet.
• Eingebautes Heißkathoden-Ionenmessgerät zur schnellen Hochvakuumdruckmessung.
• Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS Turbomolekularpumpstation mit Hochvakuumbetrieb mit Einschalter.
• Das manuelle Agilent-Ventil mit variablem Leck ermöglicht die RGA-Probenahme von Kammern von 1000 Torr bis Hochvakuum.
• Geschweißter Verteiler mit Vollmetalldichtungen für minimale Messverunreinigungen durch andere Gasquellen.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ Software-Basisversion.

Die Kombination der Agilent Varian TPS-mini-Pumpstation mit dem manuellen Agilent-Ventil mit variablem Leck ermöglicht eine genaue Gasprobenentnahme aus Kammern mit einem Druckbereich von mindestens 9 Größenordnungen. Ein einzelner Risspunkt des Absperrventils ist jedoch nicht für alle Drücke innerhalb des Bereichs geeignet. Für optimale Ergebnisse sollte das Ventil bei jeder Änderung des Kammerdrucks manuell zurückgesetzt werden. Wenn der Kammerdruck im Vergleich zum aktuellen Betriebsdruck um mehr als 1 Größenordnung ansteigt (d. h. während einer Kammerentlüftung), sollte zuerst das Leckventil geschlossen werden, um Schäden am RGA und am Pumpensystem zu vermeiden. Nachdem die Kammer einen stabilen Druck erreicht hat, sollte der RGA-Ionisator ausgeschaltet und das Ventil wieder geöffnet werden, bis der gewünschte Druck im RGA-Subsystem erreicht ist. Der RGA-Ionisator kann dann wieder eingeschaltet und die Messung fortgesetzt werden.

Um das Leckventil über Druckzyklen hinweg an einem bestimmten Öffnungspunkt zu halten, kann die RGA mithilfe eines zusätzlichen manuellen Balgventils von der Kammer isoliert werden.

Über das Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA:

Das AnalyzaVAC funktioniert, indem es die an der Sondenspitze vorhandenen Gase mithilfe von Elektronen ionisiert, die thermoionisch von zwei vor Ort austauschbaren Thorium-Iridium-Filamenten emittiert werden. Die resultierenden Kationen werden nach ihrem Masse-Ladungs-Verhältnis getrennt, indem eine Kombination aus unterschiedlichen Radiofrequenzen und Gleichspannungen an den Quadrupolfilter angelegt wird. Die positiv geladenen Ionen wandern durch die Mitte des Quadrupols und werden entweder durch einen Elektronenvervielfacher verstärkt oder direkt vom Faraday-Cup-Detektor am Ende der Sonde erfasst. Jedes Gas erzeugt einen einzigartigen spektralen Fingerabdruck, der eine Kombination aus der natürlichen Isotopenhäufigkeit seiner Elemente und der Molekülfragmentierung ist, die durch die hochenergetische Elektronenionisierung des RGA verursacht wird.

Alle AnalyzaVAC-Sonden sind mit einem Faraday-Cup-Detektor ausgestattet, der eine wiederholbare, quantitative und hochlineare Detektion bis zu 1,5×10 ^-12 Torr ^* ermöglicht. Der optionale Elektronenvervielfacher erhöht die Empfindlichkeit für qualitative Messungen auf erstaunliche 6×10 ^-15 Torr ^* . Sowohl die Standard- als auch die mit Elektronenvervielfacher ausgestatteten Detektoren haben bei richtiger Kalibrierung eine Auflösung von 0,5 AMU bei 10 % Spitzenhöhe (oder besser).

Die unbegrenzte Basissoftware AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum ist eine Windows 10-Anwendung, mit der jedes AnalyzaVAC RGA-System von einem Desktop- oder Laptop-Computer aus gesteuert werden kann. AutoZ ⁺ gibt dem Bediener die Möglichkeit, alle Erfassungsparameter zu steuern. AutoZ ⁺ bietet Datenstreaming in Echtzeit und ermöglicht Benutzern, erfasste Daten als analoges Spektrum, Massenhistogramm und Trends im Zeitverlauf anzuzeigen. Um unerwünschte Spitzen und Spektralbeiträge zu entfernen, kann ein Benutzer zuvor erfasste Spektren als Basisdaten verwenden.

Das optionale Premium-Software-Upgrade AutoZ ⁺ von Ideal Vacuum umfasst alle Funktionen der Basissoftware und ergänzt diese um erweiterte Datenprotokollierung, Mittelwertbildung, Spektralanpassung mit Zugriff auf die Substanzbibliothek von Ideal Vacuum und die Möglichkeit, der Bibliothek weitere Verbindungen hinzuzufügen. Premium AutoZ ⁺ verwendet einen leistungsstarken Algorithmus der kleinsten Quadrate, um die Partialdrücke gängiger Restgase zu berechnen, ihren Beitrag zum aktuell angezeigten Spektrum zu ermitteln und unbekannte Peaks zu isolieren. Die Premium-Software muss jährlich erneuert werden, andernfalls wird sie auf die Basisversion zurückgesetzt.

Einige RGA-Anwendungen:

• Dichtheitsprüfung
• Prozessüberwachung
• Pump-Down- und Ausheizüberwachung
• Vakuumdiagnose
• Qualitätskontrolle des Speisegases
• Identifizierung von Gasen und Verunreinigungen

* Die AnalyzaVAC-Sonde ist ein empfindliches Instrument. Unsachgemäßer Gebrauch, falsche Handhabung der Sonde oder Betrieb bei erhöhtem Druck über längere Zeiträume können sie verunreinigen und beschädigen. Daher besteht für die Sonde nach dem Entfernen aus der Originalverpackung keine Garantie mehr.
Für Agilent TPS Mini Turbo gilt eine volle Herstellergarantie. Die Garantie für alle anderen Komponenten gilt für Produktmängel.

Der optimale Gesamtbetriebsdruck des RGA beträgt für die meisten Gase 2×10 ^-7 Torr. Der Außendruck kann viel höher sein, solange er im RGA-System mithilfe des variablen Leckventils und des Turbopumpensystems reduziert wird. Ein Betrieb bei höheren RGA-Systemdrücken über längere Zeiträume führt zu vorzeitiger Alterung der Sonde, Verlust der Verstärkung, Spektraldrift und Durchbrennen von Glühfaden und Ionisator. Der RGA kann in den folgenden Druckbereichen für die entsprechenden Zeiträume verwendet werden:
10 ^-4 Torr, mehrere Stunden
10 ^-5 Torr, mehrere Tage
10 ^-6 Torr, mehrere Monate
10 ^-7 Torr, mehrere Jahre
10 ^-8 Torr, unbegrenzt
Organische Dämpfe sollten bei einem 2x niedrigeren Druck als atmosphärische Gase gehalten werden, um eine Rußverunreinigung des Glühfadens und des Ionisators zu verhindern. Silikondämpfe sollten bei einem mindestens 10x niedrigeren Druck als atmosphärische Gase gehalten werden, um eine Glasablagerung am Glühfaden und Ionisator zu verhindern. Korrosive Dämpfe sind für den RGA außerdem schädlicher als normale Gase. Durch eine ordnungsgemäße Druckregelung kann der RGA zur Messung dieser Gase verwendet werden, ohne dass kostspielige Reparaturen erforderlich sind.

* Gemessen mit Stickstoffgas, 5 Sekunden Verweilzeit, 1 amu voller Peakbreite, 10 % Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemission und Berechnung von drei Standardabweichungen vom Basislinienrauschen.