Beschreibung

Dies ist unser Hochvakuum-Vakuumprüfkammersystem ExploraVAC TVAC, ideal für Hochvakuumprozesse und optimiert für Stabilität und Benutzerfreundlichkeit. Es ist ein vollständig integriertes, schlüsselfertiges Hochvakuumsystem mit einer großen, würfelförmigen, geschweißten Vakuumkammer aus Edelstahl in 20-Zoll-Größe, einer aufklappbaren Edelstahltür mit Sichtfenster und einem Volumen von 4,6 Kubikfuß. Das System umfasst eine Pfeiffer HiPace 300 Turbomolekularpumpe, eine Edwards nXDS20i Trocken-Scroll-Vakuumpumpe und einen integrierten Mikroionen- und Convectron-Messgerätregler, der Grob- und Hochvakuumkammerdruckmessungen ermöglicht. Dieses Hochvakuum- ExploraVAC TVAC-System kann einen Enddruck von 1x10 ^-7 Torr erreichen, wiegt 862 lbs. und benötigt einphasigen 208-240 VAC, 50/60 Hz, bei 19 Ampere.

Hochvakuumkammern werden für viele wissenschaftliche und industrielle Prozesse verwendet. Viele wissenschaftliche Instrumente werden unter Vakuum betrieben, insbesondere wenn Elektronen- oder andere geladene Teilchenstrahlen verwendet werden. Präzisionsvakuumbeschichtungsverfahren wie Vakuumsputtern, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) und chemische Gasphasenabscheidung (CVD) werden verwendet, um sehr dünne optische oder Schutzbeschichtungen auf Halbleiter oder präzisionsgeschliffene optische Substrate aufzutragen. Hochvakuum ist auch für Präzisions-Halbleiterätzverfahren erforderlich. Hochvakuum kann verwendet werden, um Wasser oder andere Restdämpfe aus extrem kalten Proben zu entfernen, ohne sie zu verformen, wie beispielsweise beim Gefriertrocknen biologischer Proben für Bildgebungszwecke. Hochvakuum ist erforderlich, um weltraumtaugliche Komponenten oder Geräte zu testen, um sicherzustellen, dass sie nicht ausgasen, wenn sie den extrem niedrigen Drücken im Weltraum ausgesetzt werden. Die Leistungsdaten aller Optionen finden Sie im unten stehenden PDF-Download des Leistungsdiagramms.

ExploraVAC Hochvakuumsystemkonfiguration:

20 Zoll Würfel geschweißte Edelstahlkammer
Vordere Kammertür aus Edelstahl mit Sichtfenster
Pfeiffer HiPace 300 Turbomolekularpumpe
Trockene Scroll-Vakuumpumpe Edwards nXDS20i
QTY2 LF-200-Seitenanschlüsse (ermöglichen das Hinzufügen einer Vielzahl von Durchführungen von beiden Seiten der Kammer)

Die Prozess- und Testinstrumente für thermische Vakuumkammern der ExploraVAC -Serie TVAC schaffen präzise Umgebungen, die dem Bediener die vollständige Kontrolle über Druck und Temperatur im Inneren der Kammer ermöglichen. Sie wurden mit Blick auf Innovation gebaut. Sie ermöglichen die Erforschung von Prototypen im Vakuum während der Produktforschungs- und -entwicklungsphase und eine präzise Prozesskontrolle bei der Verarbeitung kleiner Chargen. Diese Instrumente für thermische Vakuumtestkammern sind so konzipiert, dass Benutzer Experimente schnell anpassen können, um Produktanalyse- und Diagnosedaten zu sammeln, während das Produkt den extremen Belastungsfaktoren Vakuum und Temperatur ausgesetzt ist.

ExploraVAC TVAC-Thermo-Vakuum-Testkammern sind mit vielen verfügbaren Systemoptionen vollständig konfigurierbar (siehe Produktkonfigurator oben).

Konfigurationsoptionen für das ExploraVAC- System:

Vorvakuumpumpe (trockene Scroll- oder trockene mehrstufige Rootspumpe, verschiedene Geschwindigkeiten)
Hochvakuum (verschiedene Geschwindigkeiten)
Vollständige Vakuumdruckkontrolle
Beheizte und gekühlte Platte
Kammerwandheizung
Integrierte Kammerbeleuchtung
Geschlossenes Kühl- oder kryogenes LN ₂ -Kühlsystem
Automatisierte Softwaresteuerung
Fernbedienungsbetrieb
Spülöffnungen, Kammerregale und vieles mehr

Für ExploraVAC ist eine große Auswahl an Vakuumkammern erhältlich, darunter geschweißte Edelstahlkammern mit (internen) kubischen Größen (12, 16, 20 oder 24 Zoll) oder modulare Ideal Vacuum Cube™-Kammern mit (internen) kubischen Größen (9, 12 oder 24 Zoll). Kammern können mit Türen aus Aluminium oder Edelstahl, mit oder ohne Sichtfenster, konfiguriert werden.

Das ExploraVAC TVAC-Systemgehäuse verfügt über eine praktisch abgewinkelte Bedienoberfläche auf der Vorderseite mit einer farbigen LED-Drucktastenschnittstelle, über die alle Kammerfunktionen gesteuert werden. PID-Regler und Messgeräte werden je nach Bedarf für vom Benutzer ausgewählte Optionen installiert. Eine SPS verwaltet Systemfunktionen, einschließlich Pumpen- und Ventilsequenzierung für effiziente Pumpzyklen und Sicherheitsverriegelungen zur Vermeidung von Geräteschäden. Das von vorne zugängliche, eingebaute Gehäuse im NEMA-Stil beherbergt die für den Systembetrieb erforderliche Elektronik.

Ein geräumiger seitlicher LF-200-Anschluss ist für vom Benutzer ausgewähltes oder entworfenes Zubehör verfügbar, wie z. B. eine elektronische Durchführung zur Geräteüberwachung oder Stoßprüfung, eine Infrarotlampenanordnung für Strahlungswärme- oder Temperaturdifferenzprüfungen oder eine Ultraviolettlampenanordnung für ionisierende Strahlungsprüfungen. Dieses System kann durch Hinzufügen zusätzlicher, außerhalb des Gehäuses montierter Vakuumpumpen an jede gewünschte Anstiegsrate angepasst werden.

Auf der Rückseite des Schranks befindet sich eine Schottdurchführung für die Kammerentlüftung, die Pumpenentlüftung und die Spülgasoption. Eine digitale Durchführung auf der Rückseite verfügt über mehrere Anschlüsse, darunter einen DB9-Anschluss für den Fernbetrieb des Systems von einer Workstation oder einem Laptop mit Microsoft Windows 10 oder 11 mit unserer Auto Explor ™-Software.

Die (unbefristete) Basisversion von AutoExplor (P1012102) ermöglicht dem Benutzer die manuelle Steuerung von Geräten bei gleichzeitigem Schutz des Systems. AutoExplor ordnet Pumpen richtig zu und betätigt automatisch die richtigen Ventile für eine bestimmte Anforderung. Der Benutzer kann Druck- und Temperatursollwerte, Rampenraten, Einweichzeiten und Entlüftung programmieren (sofern das System mit diesen Hardwareoptionen ausgestattet ist). Die Software bietet grafisches Datenstreaming in Echtzeit, sodass der Benutzer das Systemverhalten visualisieren kann. AutoExplor verwaltet einen internen vorbeugenden Wartungsplan und benachrichtigt den Benutzer, wenn eine Systemwartung fällig ist. Beispielsweise benachrichtigt es den Benutzer, wenn die Spitzendichtung der Scrollpumpe ausgetauscht werden muss und wann eine Sensorkalibrierung fällig ist. Dies trägt dazu bei, die maximale Betriebsleistung des Systems aufrechtzuerhalten. Außerdem bietet es im Falle eines Geräteausfalls Fehler- und Fehlermeldungen sowie spezifische Informationen zur Fehlerbehebung, sodass das Problem so schnell wie möglich behoben werden kann.

Die Premiumversion von AutoExplor (P1012100) umfasst alle Funktionen des Basissoftwarepakets (siehe oben) und bietet zusätzlich Funktionen für automatische Rezeptsteuerung, Datenprotokollierung und Protokollexport. Komplexe Testrezepte können als schrittweiser Prozess erstellt werden, wobei jeder Schritt den Ein-/Aus-Zustand, die Sollwerte und die Rampenraten mehrerer Geräte steuern kann. Mithilfe logischer Operatoren können eine oder mehrere Endbedingungen für jeden Rezeptschritt festgelegt werden. Mit der Premiumversion kann der Benutzer schnell Umwelt-TVAC-Testberichte aus Rezeptdatenprotokolldateien erstellen. Protokolle können überprüft werden, um sicherzustellen, dass die angestrebten Prozessparameter erreicht werden. Die Premiumversion umfasst außerdem den AutoExplor IP Client , mit dem die Software als Host verwendet werden kann, der mehrere externe Netzwerkclients verwalten kann, und die AutoExplor API (Anwendungsprogrammierschnittstelle), mit der ein Wissenschaftler oder Programmierer ein ExploraVac- Instrument in seine vorhandene Softwaretestsuite integrieren kann, ohne die Softwareschnittstelle von AutoExplor zu verwenden. Die Premiumversion muss jährlich erneuert werden, sonst wird sie auf die Basisversion zurückgesetzt.

Die druck- und temperaturgeregelten Testkammern der TVAC-Serie von ExploraVAC sind die perfekte Lösung für viele Produkttestanforderungen.

Anwendungsbeispiele