Ideale Vakuumdurchführung, luftseitig, mit Gewinde, MS-Rundstecker, 10-poliger Anschluss, 700 V, 10 A pro Stift, 1,3 Zoll Durchmesser. Dieser luftseitig kodierte, aufsteckbare Rundsteckverbinder verfügt über 10 Buchsenempfänger, die 10 Ampere pro Pin aufnehmen und einen Durchmesser von entweder 0,056 Zoll oder 0,062 Zoll haben. Maximal 700 V insgesamt. Der Gesamtdurchmesser beträgt 1,3 Zoll.
Durchführungen (oder Vakuumdurchführungen) gibt es in vielen Formen, um elektrische Ströme, Signale, Flüssigkeiten, Gase oder mechanische Bewegungen von außerhalb des Vakuums (Luftseite) in das Innere (Vakuumseite) einer Vakuumkammer zu Geräten innerhalb der Kammer zu übertragen. Die Eintrittsstelle für die Durchführung muss über eine geeignete Durchgangsbohrung vakuumdicht verschlossen werden. Die Durchführung kann verschweißbar (aufschweißbar) oder mit einem CF-, KF- oder ISO-Vakuumflansch mit der Vakuumkammer verbunden sein.
CF Conflat-Flansche werden normalerweise für Prozesse verwendet, die ultrahohe Vakuumdrücke bis zu 10–12 Torr erfordern, und werden über Schrauben und Muttern mit Kupferdichtungen vakuumabgedichtet. Sie sind in den Größen 1,33 Zoll (Mini-Conflat), 2,75, 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25, 14 und 16,5 erhältlich. Zoll Außendurchmesser.
KF oder Schnellflansch sind für hohe Vakuumdrücke bis zu 10-9 Torr geeignet und werden über Klemmen und Elastomer-O-Ringe vakuumdicht abgedichtet. Sie sind in den Größen KF10, KF16, KF25, KF40 und KF50 erhältlich.
ISO- oder große Flansche sind für hohe Vakuumdrücke bis zu 10-6 Torr geeignet und werden mit Schrauben und Muttern (für Flansche mit Schraubenlöchern) oder mit Klauenklemmen (für Flansche mit glatten Flächen und ohne Schraubenlöcher) vakuumabgedichtet. Sie verwenden Elastomer-O-Ringe für Vakuumdichtungen. Sie sind in den Größen 63 mm, 80, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500 und 630 mm erhältlich. Alle Flansche bestehen aus korrosionsbeständigem Edelstahl.
Es gibt Tausende von Durchführungen und die Auswahl für Ihren speziellen Vakuumprozess kann sehr schwierig sein. Wenn Sie Zweifel an Ihren Anforderungen haben, wenden Sie sich bitte an unsere Techniker, die Ihnen dabei helfen, die richtigen Durchführungen für Ihren Vakuumprozess zu finden. Wir sind auf außergewöhnliche kundenspezifische Durchführungen, Vakuumkammern und Zubehör spezialisiert. Bitte rufen Sie uns unter 505-872-0037 an.
ARTEN VON DURCHFÜHRUNGEN LEISTUNG: Stromdurchführungen sind eine Art elektrische Durchführung, die Elektrizität von der Atmosphäre (außen) ins Vakuum (innen) überträgt. Bei Stromdurchführungen treten ein oder mehrere Leiter in die Kammerwände der Vakuumvorrichtung ein. Die Leiter sind mit einem elektrischen Isolator abgedichtet, der entweder angeschweißt oder über einen Vakuumflansch oder eine Grundplatte verbunden ist. Leitermetall gibt es in Form von Draht, Stab oder Rohr. Das Leitermaterial basiert auf Strom, Korrosionsbeständigkeit und Magnetismus. Bei der Auswahl sind Betriebsspannung, maximaler Strom, Grunddrücke und die Arbeitsumgebung zu berücksichtigen. Unterschreiten Sie niemals die spezifizierte Spannung oder Stromstärke, da dies zu Lichtbögen, Schmelzen oder einem Ausfall des Isolators führen kann. Wenn Sie Zweifel an der Auswahl haben, rufen Sie uns bitte an.
THERMOELEMENT: Eine Thermoelement-Durchführung ist ein robuster und kostengünstiger Temperatursensor, der in einer Vielzahl von Temperaturmessprozessen eingesetzt wird. Wenn zwei Drähte aus unterschiedlichen Metallen an beiden Enden verbunden werden und eines der Enden erhitzt wird, fließt im thermoelektrischen Stromkreis ein kontinuierlicher Strom. Wenn dieser Stromkreis in der Mitte unterbrochen ist, ist die Netto-Leerlaufspannung (die Seebeck-Spannung) eine Funktion der Sperrschichttemperatur und der Zusammensetzung der beiden Metalle. Das heißt, wenn die Verbindung der beiden Metalle erhitzt oder abgekühlt wird, entsteht eine Spannung, die mit der Temperatur in Zusammenhang gebracht werden kann. Bei richtiger Konfiguration können Thermoelemente Messungen über einen weiten Temperaturbereich liefern.
Sie können ein oder mehrere Kabelpaare enthalten und verfügen über geformte Stecker, Steckanschlüsse, geteilte Anschlüsse und können innen (Vakuum) oder außen (Atmosphäre) mit Kabelschuhen oder Schraubanschlüssen versehen sein. Zu berücksichtigen sind der Temperaturbereich, die Anzahl der Temperaturstellen, das Mantelmaterial, der Drahtdurchmesser, der Metalltyp und die Stromleiter innerhalb derselben Durchführung. Es gibt viele Arten von Thermoelementdurchführungen aus vielen verschiedenen Metallen mit unterschiedlichen Temperaturbereichen. Wenn Sie Zweifel an der Auswahl haben, rufen Sie uns bitte an.
INSTRUMENTIERUNG: Instrumentierungsdurchführungen, auch Multipin-Durchführungen genannt, übertragen elektrische Signale und/oder Anwendungen mit geringem Stromverbrauch über die Vakuumwand. Sie werden in Instrumentierungsanwendungen wie der Elektronenmikroskopie, der Oberflächenanalyse und der Steuerung von Halbleiterprozessen eingesetzt. Sie können aus elektrischen Steckverbindern mit Stiften oder koaxialen Anschlüssen auf beiden Seiten der Vakuumwand, innen (Vakuum) oder außen (Atmosphäre), bestehen. Vor der Auswahl sind die maximale Spannung zwischen Kabel und Schirm, die maximale Spannung zwischen Schirm und Erde, die Signalspannung, die Erdung, die Impedanz, der Temperaturbereich, die Anzahl der Anschlüsse, die Art der Anschlüsse usw. zu berücksichtigen. Bei der Bestellung ist es sehr wichtig, sicherzustellen, dass Sie die richtigen Anschlüsse haben ob bei der Bestellung mitgeliefert wurde oder nicht. Viele Arten von Instrumentenverbindungsdurchführungen. Im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
FLÜSSIGKEIT oder GAS: Flüssigkeits- oder Gasdurchführungen transportieren ein Gas oder eine Flüssigkeit zu einem im Vakuum montierten Gerät oder einer Kammer. Dieses Gas oder diese Flüssigkeit könnte eine bestimmte Temperatur in der evakuierten Kammer aufrechterhalten. Sie können mit CF- oder KF-Flanschen oder Grundplattenanschlüssen bestellt werden, die über ein oder mehrere Rohre verfügen, die an Durchgangslöcher geschweißt sind, wobei die Rohre auf beiden Seiten des Flansches/Basisanschlusses herausragen. Die Rohre haben unterschiedliche Durchmesser und werden häufig mit einem kleinen Flansch oder einer Gasarmatur abgeschlossen. Zu berücksichtigen sind Flansche, die zu ungenutzten Flanschen an den Wänden des Geräts passen, die Anzahl der Durchführungen, der Rohrdurchmesser, die Größen der Durchführungseingangsöffnungen und Anschlüsse, die zu beiden Seitenkomponenten passen. Im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
DREHBEWEGUNG: Drehbewegungsdurchführungen sind luftseitige Wellen, die eine vakuumseitige Welle drehen. Es gibt verschiedene Arten von Drehantrieben, die sich durch Antriebsmechanismus, Vakuumdichtung, kompatiblen Druckbereich und Anwendung unterscheiden. Bei zwei Typen handelt es sich um Elastomer-Dichtungen mit doppelten O-Ringen hintereinander zur Abdichtung und Ferro-Abdichtungen mit Ferrofluid-O-Ring-Technologie für höhere Drehzahlen und eine hohe Drehmomentkapazität. Durchführungen können eine wiederholbare Bewegung oder eine grobe Positionierung ermöglichen und können eine Drehbewegung, eine lineare Bewegung oder eine Kombination aus beidem ermöglichen. Es stehen zahlreiche Betätigungsausführungen zur Verfügung, von manueller Betätigung über pneumatische bis hin zu elektrisch motorisierter Betätigung. Im Zweifelsfall rufen Sie uns bitte an.
ZUBEHÖR: Durchführungen erfordern möglicherweise zusätzliche Hardware, um die erforderlichen Verbindungen herzustellen. Wir führen Kabel, elektrische/Koax-Anschlüsse und Stifte für den Innen- und Außenbereich Ihrer Vakuumkammer. Sie sind sich nicht sicher, welches Zubehör Sie kaufen sollen, rufen Sie uns bitte an.
BENUTZERDEFINIERTE DURCHFÜHRUNGEN: Die Auswahl der richtigen Durchführung für Ihren Vakuumprozess kann eine sehr schwierige Aufgabe sein. Wir können Ihnen bei dieser Wahl helfen. Wir sind auch auf die Entwicklung und Herstellung dieser einzigartigen Durchführung für Ihren speziellen Vakuumprozess spezialisiert. Ob Auswahlhilfe oder Herstellung einer neuen Durchführung, lassen Sie unsere Techniker/Ingenieure ihr Know-how nutzen, um Ihre Ziele im Vakuumprozess voranzutreiben. Rufen Sie uns noch heute unter 505-872-0037 an.
