MKS 946 Half-Rack-Vakuummeter-Controller, Stromversorgung und Anzeige, KEINE Karten, RS232 und RS485, 6 Kanäle. MKS-Teilenummer: 946-US-NANANA-NA. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Dies ist eine Roheinheit ohne Karten. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel und optionale Karten für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.

MKS-Steuerkarten-Massendurchflussregler der Serie 946 und Dual-Massendurchflussregler. MKS-Teilenummer: 20000712. Der MKS-Steuerkarten-Massendurchflussregler ist mit dem 946 und den Dual-Massendurchflussreglern kompatibel. Diese Karten werden auf Controllern verwendet, die für die Steuerung und Anzeige beliebiger Durchflusswandler konzipiert sind. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Die 946 Vakuumsystem-Controller können gleichzeitig bis zu 6 Sensoren und Messgeräte auslesen und steuern.

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC) digital gesteuert, Bereich von 0,4 bis 20 sccm, 15-poliger D-Subminiatur, 4 VCR-Stecker. MKS-Teilenummer: GM50A013201RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann so konfiguriert werden, dass er N2 oder Äquivalente steuert, und hat einen Durchflussbereich von 20 sccm und einen Regelbereich von 0,4 bis 20 sccm. Er hat einen 15-poligen D-Subminiatur-Analogstecker mit verbundener Erdung, ein 0-5 VDC-Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal und Swagelok® 4 VCR®-Stecker-Eingangs- und Ausgangsanschlüsse. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt 1 % der Sollwertgenauigkeit des Kalibriergases. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die zugegriffen werden kann, indem der MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder Computer angeschlossen wird. Mit der E-Diagnose-Anwendung kann der Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen, Daten aufzeichnen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 1 bis 50 sccm, 15-poliger Stecker, 4 VCR-Stecker. Teilenummer: GM50A013501RMM020. MKS-Teilenummer: GM50A013501RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 50 sccm und einen Regelbereich von 1 bis 50 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit verbundener Masse und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 2 bis 100 sccm, 15-poliger D-Subminiatur, 4 VCR-Stecker. Teilenummer: GM50A013102RMM020. MKS-Teilenummer: GM50A013102RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 100 sccm und einen Regelbereich von 2 bis 100 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit verbundener Masse und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 4 bis 200 sccm, 15-poliger D-Subminiatur. MKS-Teilenummer: GM50A013202RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 200 sccm und einen Regelbereich von 4 bis 200 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit gebundener Masse und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 10 bis 500 sccm, 15-poliger D-Subminiatur, 4 VCR-Stecker. MKS-Teilenummer: GM50A013502RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 500 sccm und einen Regelbereich von 10 bis 500 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit gebundener Masse und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS GM50A Massendurchflussregler (MFC), digital gesteuert, Bereich von 20 bis 1000 sccm, 15-poliger D-Subminiatur-Anschluss, 4 VCR-Stecker. MKS-Teilenummer: GM50A013103RMM020. Der MKS GM50A Massendurchflussregler kann für die Steuerung einer breiten Palette von Gasen aus sicheren Lieferquellen (SDS) konfiguriert werden. Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Es verfügt über einen vollen Durchflussbereich von 1000 sccm und einen Regelbereich von 20 bis 1000 sccm, einen 15-poligen D-Subminiatur-Anschluss mit Masseanschluss und ein Durchfluss-Eingangs-/Ausgangssignal von 0–5 VDC. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Genauigkeit von 1 % des Sollwerts für das Kalibriergas. Die Mehrbereichsfunktionen können über eine webbrowserbasierte Anwendung konfiguriert werden, auf die Sie zugreifen können, indem Sie den MFC über ein Ethernet-Kabel an einen Router oder einen Computer anschließen. Mit der E-Diagnostics-Anwendung kann ein Benutzer die Leistung des MFC in Echtzeit überwachen sowie Daten grafisch darstellen und Variablen auswählen. Swagelok, VCR-TM Swagelok Company

MKS-Vakuummeterkabel verbindet 946-Controller mit 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016744. Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet die Massendurchflussregler 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A mit 946-Reglern mit 15-poligem Typ-D-Hochdruckregler. Dichte-Subminiatur-Stecker auf 15-polige Standard-Subminiatur-Stecker. Dies ist NUR das Kabel. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.

MKS-Vakuummeterkabel verbindet 946-Controller mit 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016745. Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet die Massendurchflussregler 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A mit 946-Reglern mit 15-poligem Typ-D-Hochdruckregler. Dichte-Subminiatur-Stecker auf 15-polige Standard-Subminiatur-Stecker. Dies ist NUR das Kabel. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.

MKS Vakuumsensorkarte, Kapazitätsmanometer und Piezo, für Controller der Serien 937B und 946. MKS-Teilenummer: 100015267. Die MKS Vakuumsensorkarte unterstützt Kapazitätsmanometer und Piezosensoren mit den Vakuumsystemcontrollern 937B und 946. Diese Karten werden auf Controllern verwendet, die zur Steuerung und Anzeige von Durchflusswandlern entwickelt wurden. Der Sollwert der Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente auf der Vorderseite oder per Fernzugriff über die analoge Schnittstelle auf der Rückseite eingestellt werden. Die Vakuumsystemcontroller 946 und 937B ermöglichen die gleichzeitige Anzeige und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.

MKS 626D 0,1 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss KF-16, PN 626D.1TDEDie unbeheizten Absolut-Kapazitätsmanometer MKS 626D von Baratron® sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,1 Torr, einem KF-16-Vakuumflanschanschluss und der MKS-Teilenummer 626D.1TDE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 0,1 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, UHV-Vakuumanschluss Conflat CF 1,33-Zoll-Flansch, 626D.1TCEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler . Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,1 Torr, einem Conflat CF 1,33-Zoll-Ultrahochvakuum-UHV-Flanschanschluss und einer MKS-Teilenummer 626D.1TCE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 1 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss KF-16, PN 626D01TDEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1 Torr, einem KF-16-Vakuumflanschanschluss und der MKS-Teilenummer 626D01TDE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 10 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss KF-16, PN 626D11TDEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 10 Torr, einem KF-16-Vakuumflanschanschluss und der MKS-Teilenummer 626D11TDE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 10 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, PN 626D11TBEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 10 Torr, einem VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 626D11TBE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 20 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, PN: 626D21TBEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 20 Torr, einem VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 626D21TBE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 100 Torr Baratron Absolutes Kapazitätsmanometer, Vakuum-Manometersensor, Vakuumanschluss KF-16. MKS-Teilenummer: 626D12TDE. Die unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 100 Torr, einem KF-16-Vakuumflanschanschluss und der MKS-Teilenummer 626D12TDE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 100 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, PN 626D12TBEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 100 Torr, einem VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 626D12TBE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 1000 Torr Baratron Absolutes Kapazitätsmanometer, Vakuum-Manometersensor, Vakuumanschluss KF-16, PN 626D13TDE. Die unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1000 Torr, einem KF-16-Vakuumflanschanschluss und der MKS-Teilenummer 626D13TDE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 1000 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, PN 626D13TBEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1000 Torr, einem VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 626D13TBE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 626D 1000 Torr Baratron Absolut-Kapazitätsmanometer, Vakuum-Druckmesssensor, UHV-Vakuumanschluss Conflat CF 1,33-Zoll-Flansch, PN 626D13TCEDie unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand, sodass er in praktisch jedem Prozesssystem eingesetzt werden kann. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1000 Torr, einem Conflat CF 1,33-Zoll-Ultrahochvakuum-UHV-Flanschanschluss und einer MKS-Teilenummer 626D13TCE. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Stromversorgung und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Anschluss. Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung. Langfristige Ausgangsstabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit. Die Konstruktion des Basissensors aus einer Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierung funktioniert ohne Beschädigung in praktisch jeder chemischen Umgebung. Hohe Überdruckgrenze sorgt für Zuverlässigkeit bei Systemstörungen. Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute

MKS 627H 0,02 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,25 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627HU2TBE1B. Das kapazitive Manometer 627H Baratron® wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,02 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,25 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627HU2TBE1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 0,05 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,15 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627HU5TBD1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,05 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,15 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627HU5TBD1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 0,1 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,15 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: : 627H.1TBD1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,1 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,15 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer: 627H.1TBD1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 1 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,12 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627H01TBC1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 1 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627H01TBC1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 10 Torr beheiztes 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,12 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627H11TBC1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 10 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627H11TBC1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 100 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,12 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627H12TBC1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 100 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627H12TBC1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS 627H 1.000 Torr, beheizt auf 45 °C, absolutes Baratron-Kapazitätsmanometer, Vakuumanschluss VCR 8 weiblich, Genauigkeit 0,12 % des Messwerts, vertikale Kalibrierung. MKS-Teilenummer PN: 627H13TBC1B. Das Baratron®-Kapazitätsmanometer 627H wird auf 45 °C erhitzt, hat eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts und verfügt über eine aktualisierte Temperaturkontrollelektronik, um eine hervorragende Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Dieses Kapazitätsmanometer ist in Vollbereichsbereichen bis hinunter zu 20 mTorr (0,03 mbar) erhältlich, um den heutigen niedrigeren Prozessdrücken gerecht zu werden. Basierend auf der etablierten Baratron-Kapazitätsmanometer-Technologie bestehen die benetzten Oberflächen des Sensors aus Inconel® für eine hervorragende Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen. Das moderne Edelstahlpaket sorgt für ein reinraumtaugliches Produkt. Das Produkt ist mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern 627A, 627B, 627D und 627F austauschbar und kann mit MKS-Netzteilen, Anzeigeeinheiten und Druckreglern oder anderen kompatiblen Stromversorgungs-/Auslesegeräten verwendet werden. Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 627H, das auf 45 °C erhitzt wird, über einen 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss mit Gewindesicherung, einen maximalen Vakuumdruckmesswert von 1.000 Torr und einen VCR 8-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde verfügt , eine Genauigkeit von 0,12 % des Messwerts, mit vertikaler Kalibrierung und haben die MKS-Teilenummer 627H13TBC1B. Kompatible Controller und Kabel: P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel. 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1. P102062 – MKS PDR 2000 digitales Netzteil und digitaler Anzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – ideal Vakuum-Doppelkapazitätsmanometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige. Produktmerkmale: Hervorragende Langzeitstabilität. Prozentuale Ablesegenauigkeit für präziseres Ausgangssignal in niedrigeren Druckbereichen. Vollständige Skalenbereiche ab 20 mTorr (0,03 mbar) für präzise Messungen von Niederdruckprozessen Korrosionsbeständige, benetzte Oberflächen aus reinem Inconel Schnellere Aufwärmzeit Visueller und elektrischer Status des Temperatur- und Heizungssteuerkreises Kompatibel mit früheren Baratron-Kapazitätsmanometern, MKS-Stromversorgungs-/Auslesemodulen und Druckreglern Misst den Gesamtdruck direkt und unabhängig der Gaszusammensetzung. Hoher Überdruck für verbesserte Zuverlässigkeit. Reinraumkompatibles Edelstahlgehäuse

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 626- oder 627-Manometern, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100007555. Das MKS-Vakuummeter-Signalkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 626- oder 627-Manometern. Es verfügt über 9-polige Subminiatur-Anschlüsse vom Typ D und 15-polige Subminiatur-Anschlüsse vom Typ D. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 626- oder 627-Manometern, 25 Fuß (7,5 m). Lang. MKS-Teilenummer: 100007556. Das MKS-Vakuummeter-Signalkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 626- oder 627-Manometern. Es verfügt über 9-polige Subminiatur-Anschlüsse vom Typ D und 15-polige Subminiatur-Anschlüsse vom Typ D. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 1 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C01TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C01TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 10 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C11TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für ein Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 10 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C11TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 100 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C12TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für ein Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 100 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C12TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000 Netzteil und Digitalanzeigekabel 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000 Digitalnetzteil und Digitalanzeige Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitätsmanometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 1.000 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C13TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 1.000 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C13TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 5.000 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C53TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für ein Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 5.000 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C53TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 10.000 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C14TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für ein Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 10.000 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C14TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS 722C Allzweck-Baratron-Absolutkapazitätsmanometer, Druckbereich 20.000 Torr, VCR 4-Vakuumanschluss, 9-poliger Typ-D-Stecker, PN 722C24TCD2FA. Heutige Prozessumgebungen erfordern kleine Druckmessinstrumente, die genaue, wiederholbare und zuverlässige Messungen zu geringeren Kosten liefern. MKS hat sein Fachwissen im Design und in der Fertigungstechnologie von Kapazitätsmanometern in die Entwicklung des kompakten Allzweck-Absolut-Kapazitätsmanometers Baratron® 722C einfließen lassen. Das flexible Design des 722C macht ihn zu einer idealen Lösung für Nachrüstanwendungen sowie neue Gerätedesigns. Die robuste Sensorkonstruktion bietet hohe Überdrucktoleranzen und reduziert Fehler, die durch gelegentliche Leitungsdruckspitzen verursacht werden. Alle sensorberührten Oberflächen bestehen aus Inconel®, um maximale Kompatibilität mit vielen Prozessgasen zu gewährleisten1. Ausgeklügelte Technologie und strenge Prozesskontrollen sorgen für saubere, glatte Oberflächen (=10 Ra) auf allen benetzten Oberflächen. Die Schaltkreise zur Signalaufbereitung werden mit den neuesten Techniken der Oberflächenmontagetechnik zusammengebaut. Für alle Wandler gilt eine volle zweijährige Garantie. Diese Auflistung gilt für Allzweck-Kapazitätsmanometer vom Typ MKS Typ 722C mit einem 9-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 20.000 Torr, einem VCR 4-Vakuumflanschanschluss mit Innengewinde und der MKS-Teilenummer 722C24TCD2FA. Kompatible Controller und Kabel: P102061 – MKS PDR 2000-Netzteil und Digitalanzeigekabel, 9-poliges Kabel CB2000S-2-M1 P102062 – MKS PDR 2000-Digitalnetzteil und Digitalanzeige-Kapazitätsmanometer-Controller P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM) , Stromversorgung und digitale Druckanzeige Produktmerkmale: 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 9-poligem D-Sub-Anschluss Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von Gasart oder -zusammensetzung Hohe Genauigkeit über einen weiten Betriebstemperaturbereich Überdruckgrenze von 45 psia oder 2x Vollausschlag (je nachdem, welcher Wert größer ist) gewährleistet keine Verschlechterung der Nullwiederholbarkeit oder Leistung. Alle benetzten Sensoroberflächen sind auf =10 Ra mikrobearbeitet, wodurch Einschlussstellen für Korrosionswachstum vermieden werden. Kleinere Manometergröße trägt zu einer Reduzierung der Gesamtsystemgröße bei. Korrosionsbeständig – absolut Die vollverschweißte Metallkonstruktion setzt den Medien nur Inconel und Edelstahl aus. Einfacher Ersatz, kompatibel mit früheren 722 Baratron-Kapazitätsmanometern

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 722-Manometern, DB9-Stecker auf DB9-Buchse, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016951. Das MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit Kapazitätsmanometern der Serie 722. Es verfügt über 9-polige Subminiatur-Stecker vom Typ D. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 722-Manometern, DB9-Stecker auf DB9-Buchse, 25 Fuß (7,5 m). Lang. MKS-Teilenummer: 100016952. Das MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit Manometern der Serie 722, DB9-Stecker auf DB9-Buchse. Es verfügt über 9-polige Subminiatur-Stecker vom Typ D. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS Vakuumsensorkarte mit Dual-Konvektions-Pirani, für Controller der Serien 937B und 946. MKS-Teilenummer: 100015132. Die MKS Vakuumsensorkarte unterstützt Dual-Pirani-Konvektionssensoren und wird mit den Vakuumsystemcontrollern 937B und 946 verwendet. Diese Karten werden bei Controllern verwendet, die zur Steuerung und Anzeige von Durchflusswandlern entwickelt wurden. Der Sollwert der Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente auf der Vorderseite oder per Fernzugriff über die analoge Schnittstelle auf der Rückseite eingestellt werden. Die Vakuumsystemcontroller 946 und 937B ermöglichen die gleichzeitige Anzeige und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.

MKS HPS® Serie 317 Konvektionsverstärkter Pirani-Sensor KF16 NW16 (PN 103170010SH) (Kompatibel mit MKS 947 Konvektionsverstärkter Pirani-Messgerät-Controller) Der MKS HPS® 317 Konvektionsverstärkter Pirani-Sensor bietet zuverlässige und stabile Druckmessung zu sehr niedrigen Kosten. Da die einzigen dem Vakuum ausgesetzten Materialien Edelstahl, Nickel, Glas und Platin sind, ist der Sensor mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel und besonders für UHV-Anwendungen geeignet. Der Platinfaden eliminiert effektiv jegliche Messwertabweichung im gesamten höheren Messbereich eines Konvektionssensors. Der 317-Sensor ist genauer als ein Thermoelementsensor, misst über einen größeren Druckbereich und reagiert schneller auf Prozessdruckänderungen. Die obere Messgrenze eines konvektionsverstärkten Pirani-Sensors ist gegenüber einem herkömmlichen Pirani-Sensor von 100 Torr auf 1.000 Torr erhöht. Dieser höhere Grenzwert ist nützlich, wenn das Abpumpen eines Vakuumsystems von der Atmosphäre auf einen Basisdruck überwacht wird. Der Sensor gleicht Schwankungen der Raumtemperatur im Bereich von 10° bis 50°C aus. Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der 317-Sensor von Natur aus gasempfindlich. Diese Funktion macht es zu einer einfachen Lösung zum Auffinden mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Es ergänzt einen Massenspektrometer-Lecksucher, der bei der Suche nach kleineren Lecks effizienter ist. Der gegen HF-Rauschen abgeschirmte Sensor erfüllt die CE-Kennzeichnungsanforderungen und kann auf 100 °C erhitzt werden. Dieser 317-Sensor umfasst Standard-Vakuumanschlüsse wie diesen KF16 NW16-Flansch. Das Kabel für diesen Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten, aber in Standardlängen von 10 Fuß erhältlich. Der Sensor 317 kann mit dem Konvektions-Pirani-Vakuummeter-Controller der Serie 947 verwendet werden, der ebenfalls auf dieser Website erhältlich ist. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch können Sie unten im PDF-Format herunterladen.

MKS HPS® Serie 317 Konvektionsverstärkter Pirani-Sensor KF25 NW25 (PN 103170027SH) (Kompatibel mit MKS 947 Konvektionsverstärkter Pirani-Messgerät-Controller) Der MKS HPS® 317 Konvektionsverstärkter Pirani-Sensor bietet zuverlässige und stabile Druckmessung zu sehr niedrigen Kosten. Da die einzigen dem Vakuum ausgesetzten Materialien Edelstahl, Nickel, Glas und Platin sind, ist der Sensor mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel und besonders für UHV-Anwendungen geeignet. Der Platinfaden eliminiert effektiv jegliche Messwertabweichung im gesamten höheren Messbereich eines Konvektionssensors. Der 317-Sensor ist genauer als ein Thermoelementsensor, misst über einen größeren Druckbereich und reagiert schneller auf Prozessdruckänderungen. Die obere Messgrenze eines konvektionsverstärkten Pirani-Sensors ist gegenüber einem herkömmlichen Pirani-Sensor von 100 Torr auf 1.000 Torr erhöht. Dieser höhere Grenzwert ist nützlich, wenn das Abpumpen eines Vakuumsystems von der Atmosphäre auf einen Basisdruck überwacht wird. Der Sensor gleicht Schwankungen der Raumtemperatur im Bereich von 10° bis 50°C aus. Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der 317-Sensor von Natur aus gasempfindlich. Diese Funktion macht es zu einer einfachen Lösung zum Auffinden mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Es ergänzt einen Massenspektrometer-Lecksucher, der bei der Suche nach kleineren Lecks effizienter ist. Der gegen HF-Rauschen abgeschirmte Sensor erfüllt die CE-Kennzeichnungsanforderungen und kann auf 100 °C erhitzt werden. Dieser 317-Sensor umfasst Standard-Vakuumanschlüsse wie diesen KF25 NW25-Flansch. Das Kabel für diesen Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten, aber in Standardlängen von 10 Fuß erhältlich. Der Sensor 317 kann mit dem Konvektions-Pirani-Vakuummeter-Controller der Serie 947 verwendet werden, der ebenfalls auf dieser Website erhältlich ist. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.

Der konvektionsverstärkte Pirani-Vakuumsensor der Serie 317 von MKS HPS® verfügt über einen Conflat CF 1,33 Zoll für 0,001 bis 1000 Torr. MKS-Teilenummer: 103170013SH. Der konvektionsverstärkte Pirani-Sensor MKS HPS® 317 bietet eine zuverlässige und stabile Druckmessung zu sehr geringen Kosten und ist mit dem konvektionsverstärkten Pirani-Messgerät-Controller MKS 947 kompatibel. Da die einzigen dem Vakuum ausgesetzten Materialien Edelstahl, Nickel, Glas und Platin sind, ist der Sensor mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel und besonders für UHV-Anwendungen geeignet. Der Platinfaden eliminiert effektiv jegliche Messwertabweichung im gesamten höheren Messbereich eines Konvektionssensors. Der 317-Sensor ist genauer als ein Thermoelementsensor, misst über einen größeren Druckbereich und reagiert schneller auf Prozessdruckänderungen. Die obere Messgrenze eines konvektionsverstärkten Pirani-Sensors ist gegenüber einem herkömmlichen Pirani-Sensor von 0,001 auf 1.000 Torr erhöht. Dieser höhere Grenzwert ist nützlich, wenn das Abpumpen eines Vakuumsystems von der Atmosphäre auf einen Basisdruck überwacht wird. Der Sensor gleicht Schwankungen der Raumtemperatur im Bereich von 10° bis 50°C aus. Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der 317-Sensor von Natur aus gasempfindlich. Diese Funktion macht es zu einer einfachen Lösung zum Auffinden mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Es ergänzt einen Massenspektrometer-Lecksucher, der bei der Suche nach kleineren Lecks effizienter ist. Der gegen HF-Rauschen abgeschirmte Sensor erfüllt die CE-Kennzeichnungsanforderungen und kann auf 100 °C erhitzt werden. Dieser 317-Sensor umfasst Standard-Vakuumanschlüsse wie diesen CF 1,33-Zoll-Mini-CF-Flanschanschluss. Das Kabel für diesen Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten, aber in Standardlängen von 10 Fuß erhältlich. Der Sensor 317 kann mit dem Konvektions-Pirani-Vakuummeter-Controller der Serie 947 verwendet werden, der ebenfalls auf dieser Website erhältlich ist. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.

Der konvektionsverstärkte Pirani-Vakuumsensor der Serie 317 von MKS HPS® verfügt über einen Conflat CF 1,33 Zoll für 0,001 bis 1000 Torr. MKS-Teilenummer: 103170013SH. Der konvektionsverstärkte Pirani-Sensor MKS HPS® 317 bietet eine zuverlässige und stabile Druckmessung zu sehr geringen Kosten und ist mit dem konvektionsverstärkten Pirani-Messgerät-Controller MKS 947 kompatibel. Da die einzigen dem Vakuum ausgesetzten Materialien Edelstahl, Nickel, Glas und Platin sind, ist der Sensor mit einer Vielzahl von Prozessgasen kompatibel und besonders für UHV-Anwendungen geeignet. Der Platinfaden eliminiert effektiv jegliche Messwertabweichung im gesamten höheren Messbereich eines Konvektionssensors. Der 317-Sensor ist genauer als ein Thermoelementsensor, misst über einen größeren Druckbereich und reagiert schneller auf Prozessdruckänderungen. Die obere Messgrenze eines konvektionsverstärkten Pirani-Sensors ist gegenüber einem herkömmlichen Pirani-Sensor von 0,001 auf 1.000 Torr erhöht. Dieser höhere Grenzwert ist nützlich, wenn das Abpumpen eines Vakuumsystems von der Atmosphäre auf einen Basisdruck überwacht wird. Der Sensor gleicht Schwankungen der Raumtemperatur im Bereich von 10° bis 50°C aus. Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der 317-Sensor von Natur aus gasempfindlich. Diese Funktion macht es zu einer einfachen Lösung zum Auffinden mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Es ergänzt einen Massenspektrometer-Lecksucher, der bei der Suche nach kleineren Lecks effizienter ist. Der gegen HF-Rauschen abgeschirmte Sensor erfüllt die CE-Kennzeichnungsanforderungen und kann auf 100 °C erhitzt werden. Dieser 317-Sensor umfasst Standard-Vakuumanschlüsse wie diesen CF 1,33-Zoll-Mini-CF-Flanschanschluss. Das Kabel für diesen Sensor ist nicht im Lieferumfang enthalten, aber in Standardlängen von 10 Fuß erhältlich. Der Sensor 317 kann mit dem Konvektions-Pirani-Vakuummeter-Controller der Serie 947 verwendet werden, der ebenfalls auf dieser Website erhältlich ist. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.

MKS-Vakuummeterkabel für 345 oder 317 zum Anschluss an 945-, 947-, 937B- oder 946-Controller, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 103170007SH. Das MKS-Vakuummeter-Signalkabel verbindet 345- oder 317-Vakuummetersensoren mit den Controllern 945, 947, 937B oder 946. Es wird an der Rückseite der MKS-Controller und an der Seite des MKS 345- oder 317-Pirani-Sensors angeschlossen. Dies ist NUR das Kabel. Der konvektionsverstärkte Pirani-Regler der Serie 947 bietet viele Standardfunktionen und ist einfach zu bedienen. Ein druckproportionales analoges Ausgangssignal ist Standard und ist über die Rückseite des Reglers zugänglich, dort wird dieses Kabel angeschlossen. Die Prozesse werden mit zwei unabhängigen Relaissollwerten gesteuert, die bei diesem Einkanalregler Standard sind. Die Relais können so eingestellt werden, dass sie überall innerhalb des Sollwertbereichs des Reglers auslösen. Alle Bedienelemente, einschließlich des Ein-/Ausschalters, sind bequem über die Vorderseite des Controllers zugänglich. Passen Sie die Sollwerte über das Bedienfeld an, während Sie das große, gut lesbare Display betrachten. Die Aktivierung des Sollwerts wird durch rote LED-Anzeigen angezeigt. Die Sollwerte können jederzeit überprüft werden, ohne dass die Prozesssteuerung unterbrochen wird.

MKS-Vakuummeterkabel für 345 oder 317 zum Anschluss an 937B- und 946-Controller, 10 Fuß. (3m) lang. MKS-Teilenummer: 103170006SH. Das MKS-Vakuummeter-Signalkabel verbindet 345- oder 317-Vakuummetersensoren mit den Controllern 945, 947, 937B und 946. Es wird an der Rückseite der MKS-Controller und an der Seite des MKS 345- oder 317-Pirani-Sensors angeschlossen. Dies ist NUR das Kabel. Der konvektionsverstärkte Pirani-Regler der Serie 947 bietet viele Standardfunktionen und ist einfach zu bedienen. Ein druckproportionales analoges Ausgangssignal ist Standard und ist über die Rückseite des Reglers zugänglich, dort wird dieses Kabel angeschlossen. Die Prozesse werden mit zwei unabhängigen Relaissollwerten gesteuert, die bei diesem Einkanalregler Standard sind. Die Relais können so eingestellt werden, dass sie überall innerhalb des Sollwertbereichs des Reglers auslösen. Alle Bedienelemente, einschließlich des Ein-/Ausschalters, sind bequem über die Vorderseite des Controllers zugänglich. Passen Sie die Sollwerte über das Bedienfeld an, während Sie das große, gut lesbare Display betrachten. Die Aktivierung des Sollwerts wird durch rote LED-Anzeigen angezeigt. Die Sollwerte können jederzeit überprüft werden, ohne dass die Prozesssteuerung unterbrochen wird.

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, 1/8 NPT-Außengewinde MKS Granville Phillips Teilenummer 275071 Der Konvektron-Druckmessrohrsensor 275 MKS Granville Phillips ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, 1/4 Zoll Innengewinde, 4 VCR-Anschluss MKS Granville Phillips Teilenummer: 275185 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist nicht verfügbar und wird durch den MKS Granville Phillips 475 ersetzt.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, Conflat 2,75 Zoll MKS Granville Phillips Teilenummer: 275238 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, Conflat 8 VCR 1/2 Zoll Flansch MKS Granville Phillips Teilenummer: 275282 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das branchenübliche konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller wird durch den MKS Granville Phillips 475 ersetzt, nicht im Lieferumfang enthalten).

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, Conflat 1,33 Flansch MKS Granville Phillips Teilenummer: 275256 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, NW KF 16 Flansch MKS Granville Phillips Teilenummer: 275203 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, NW KF 25 Flansch MKS Granville Phillips Teilenummer: 275196 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS Granville Phillips 275 Convectron Gauge Vakuum-Druckmesssensor, NW KF 40 Flansch MKS Granville Phillips Teilenummer: 275316 Der 275 MKS Granville Phillips Konvektron-Druckmessrohrsensor ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nach Industriestandard. Der MKS Granville Phillips 275 misst den Vakuumdruck von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr und ist ideal für die Schrupp- und Vordruckmessung. Es bietet zuverlässige und schnelle Messungen in Millisekunden statt Sekunden wie bei Messgeräten vom Thermoelementtyp. Die hohe Genauigkeit des MKS Granville Phillips 275 Convectron-Vakuummetersensors und die Wiederholbarkeit tragen dazu bei, dass Prozesse immer wieder mit dem gewünschten Druck beginnen. Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums. (Der auf den Fotos gezeigte MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller ist verfügbar, aber nicht im Listenpreis enthalten.)

MKS-Vakuummessgerätkabel verbindet 937B-Controller mit GP275-Vakuummessgeräten, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016980. Das MKS-Vakuummessgerät-Signalkabel verbindet 937B-Controller mit GP275-Vakuummessgeräten. Es wird an der Rückseite der MKS-Controller und an der Seite der GP275-Vakuummeter angeschlossen. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS-Vakuummessgerätkabel verbindet 937B-Controller mit GP275-Vakuummessgeräten, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016981. Das MKS-Vakuummessgerät-Signalkabel verbindet 937B-Controller mit GP275-Vakuummessgeräten. Es wird an der Rückseite der MKS-Controller und an der Seite der GP275-Vakuummeter angeschlossen. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS Vakuumsensorkarte Kaltkathode, für Controller der Serien 937B und 946. MKS-Teilenummer: 100018446. Die MKS Vakuumsensorkarte Kaltkathode wird mit den Vakuumsystemcontrollern 937B und 946 verwendet. Diese Karten werden bei Controllern verwendet, die zur Steuerung und Anzeige von Durchflusswandlern entwickelt wurden. Der Sollwert der Durchflussrate kann entweder über die Bedienelemente auf der Vorderseite oder per Fernzugriff über die analoge Schnittstelle auf der Rückseite eingestellt werden. Die Vakuumsystemcontroller 946 und 937B ermöglichen die gleichzeitige Anzeige und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.

MKS HPS® 423 I-Mag® Sensor Kaltkathoden-Vakuummessgerät KF25, NW25, kompatibel mit MKS 943 Kaltkathoden-Vakuum-Controller. MKS-Teilenummer: 104230004 Mit einem invertierten Magnetron-Design kann der 423 I-Mag®-Sensor bei Drücken betrieben werden, die viel niedriger sind als ein herkömmlicher Penning-Kaltkathodensensor, nämlich nur 10–11 Torr mit der richtigen Steuerung. Dieser erweiterte Druckbereich macht den HPS® Kaltkathodensensor ideal für den UHV-Einsatz. Ein einzigartiges Designmerkmal des HPS® Kaltkathodensensors ist eine zweite Durchführung zur Ionensammlung. Bei einem gewöhnlichen Einzeldurchführungsdesign würde jeder Leckstrom zwischen Anode und Erde zu Fehlern bei der Druckmessung führen. Beim Dual-Durchführungsdesign trägt nur der Ionenstrom von der Kathode zum Messwert bei und eignet sich daher ideal für die Prozessüberwachung. Da es kein durchbrennendes Filament gibt, wird der 423 I-Mag®-Sensor nicht durch plötzliche Lufteinbrüche beschädigt und ist resistent gegen Vibrationsschäden. Darüber hinaus ist es nicht erforderlich, den Emissionsstrom anzupassen oder das Manometer zu entgasen, wodurch die Reaktionszeit auf Druckänderungen verkürzt wird. Wenn ein Ausheizen erforderlich ist, können die Magnete und Sensoranschlüsse entfernt und der Sensor auf 400 °C ausgeheizt werden. Dies ist NUR ein Kaltkathodensensor. Das MKS-Signalkabel und der MKS 943-Controller für dieses Gerät werden separat auf dieser Website verkauft. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.

MKS HPS 423 I-Mag Sensor Kaltkathoden-Vakuummessgerät Conflat 2,75 Einlass. MKS-Teilenummer: 104230002. (Kompatibel mit dem Kaltkathoden-Vakuumcontroller MKS 943) Mit einem invertierten Magnetron-Design kann der 423 I-Mag-Sensor bei Drücken arbeiten, die viel niedriger sind als ein herkömmlicher Penning-Kaltkathodensensor, nämlich nur 10–11 Torr der richtige Controller. Dieser erweiterte Druckbereich macht den HPS-Kaltkathodensensor ideal für den UHV-Einsatz. Ein einzigartiges Designmerkmal des HPS-Kaltkathodensensors ist eine zweite Durchführung zur Ionensammlung. Bei einem gewöhnlichen Einzeldurchführungsdesign würde jeder Leckstrom zwischen Anode und Erde zu Fehlern bei der Druckmessung führen. Beim Dual-Durchführungsdesign trägt nur der Ionenstrom von der Kathode zum Messwert bei und eignet sich daher ideal für die Prozessüberwachung. Da es kein durchbrennendes Filament gibt, wird der 423 I-Mag-Sensor nicht durch plötzliche Lufteinbrüche beschädigt und ist resistent gegen Vibrationsschäden. Darüber hinaus ist es nicht erforderlich, den Emissionsstrom anzupassen oder das Manometer zu entgasen, wodurch die Reaktionszeit auf Druckänderungen verkürzt wird. Wenn ein Ausheizen erforderlich ist, können die Magnete und Sensoranschlüsse entfernt und der Sensor auf 400 °C ausgeheizt werden. Dies ist ein brandneuer Kaltkathodensensor. NUR das MKS-Signalkabel und der MKS 943-Controller für dieses Gerät werden separat auf dieser Website verkauft. Eine vollständige Spezifikationsbroschüre und ein Betriebshandbuch stehen unten im PDF-Format zum Download bereit.

Das MKS-Vakuummeterkabel verbindet den 946-Controller mit dem 423 I-Mag®-Kaltkathodensensor, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016295. Das MKS-Manometerkabel verbindet 946-Controller mit dem 423 I-Mag®-Kaltkathodensensor. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

Das MKS-Vakuummeterkabel verbindet den 946-Controller mit dem 423 I-Mag-Kaltkathodensensor, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016296. Das MKS-Manometerkabel verbindet 946-Controller mit dem 423 I-Mag-Kaltkathodensensor. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS 431 Kaltkathoden-Vakuumsensor, 1x10-11 bis 1x10-2 Torr, CF-2,75 Zoll Flanschanschluss. MKS-Teilenummer: 104310002. Der Kaltkathoden-Vakuumsensor MKS 431 verfügt über einen Vakuummessbereich von 1x10-11 bis 1x10-2 Torr, eine hohe Betriebstemperatur und einen 2,75-Zoll-CF-Flanschanschluss. Sie basiert auf der Ionisierungswahrscheinlichkeit des Gases, wobei die Ionisierung das Ergebnis einer Hochspannungsentladung von Elektronen ist. Diese Kaltkathoden-Druckvakuumsensoren basieren auf einem invertierten Magnetron-Design für einen größeren Messbereich. Die doppelte Durchführung zur Ionensammlung ist ein einzigartiges Merkmal, das die Druckmessung genauer macht als andere Kaltkathoden-Vakuum- und Drucksensoren. Signalkabel für diesen Kaltkathoden-Vakuumsensor sind auf dieser Website verfügbar.

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 431 I-Mag®-Kaltkathodensensor, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016217. Das MKS-Manometerkabel verbindet die Controller 937B oder 946 mit dem Kaltkathodensensor 431 I-Mag®. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS-Manometerkabel verbindet 937B- oder 946-Controller mit 431 I-Mag®-Kaltkathodensensor, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100016218. Das MKS-Manometerkabel verbindet die Controller 937B oder 946 mit dem Kaltkathodensensor 431 I-Mag®. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS Vakuumsensorkarte Heißkathode, für Controller der Serien 937B und 946. MKS-Teilenummer: 100015641. Die MKS-Vakuumsensorkarte mit Kaltkathode wird mit den Vakuumsystemsteuerungen 937B und 946 verwendet. Diese Karten werden auf Controllern verwendet, die für die Steuerung und Anzeige beliebiger Durchflusswandler konzipiert sind. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Die Vakuumsystemcontroller 946 und 937B dienen zur gleichzeitigen Auslesung und Steuerung von bis zu 6 Sensoren und Messgeräten.

Nacktröhre des Heißkathoden-Vakuumsensors MKS, Iridiumfilament für 1x10-2 bis 1x10-11 Torr, CF-2,75-Zoll-Flanschanschluss. MKS-Teilenummer: 100006842. Der Nacktröhren-Vakuumsensor von MKS verfügt über einen Yttriumoxid-beschichteten Iridium-Filament für einen Vakuummessbereich von 1x10-2 bis 1x10-11 Torr und einen 2,75-Zoll-CF-Flanschanschluss. Dieser Ionisationsvakuumsensor im Bayard-Alpert-Stil verwendet einen Feindrahtkollektor in der Mitte eines Gitters. Aufgrund seiner kleinen Fläche treffen nur wenige Röntgenstrahlen auf den Kollektor und ein Vakuummeter kann Drücke bis zu sehr niedrigen Werten messen. Da sich der Sensorteil der Röhre innerhalb des Vakuumsystems befindet und den tatsächlichen Druck des Systems erfährt, liefern Nacktröhren eine repräsentative Druckmessung und reagieren schneller auf Druckänderungen als ein Glaskolbensensor. Signalkabel für diesen Kaltkathoden-Vakuumsensor sind auf dieser Website verfügbar.

Nacktes Rohr des Heißkathoden-Vakuumsensors MKS, Wolframfaden für 1x10-2 bis 1x10-11 Torr, CF-2,75-Zoll-Flanschanschluss. MKS-Teilenummer: 100005980. Der Nacktröhren-Vakuumsensor von MKS verfügt über einen Wolframfaden für einen Vakuummessbereich von 1x10-2 bis 1x10-11 Torr und einen 2,75-Zoll-CF-Flanschanschluss. Dieser Ionisationsvakuumsensor im Bayard-Alpert-Stil verwendet einen Feindrahtkollektor in der Mitte eines Gitters. Aufgrund seiner kleinen Fläche treffen nur wenige Röntgenstrahlen auf den Kollektor und ein Vakuummeter kann Drücke bis zu sehr niedrigen Werten messen. Da sich der Sensorteil der Röhre innerhalb des Vakuumsystems befindet und den tatsächlichen Druck des Systems erfährt, liefern Nacktröhren eine repräsentative Druckmessung und reagieren schneller auf Druckänderungen als ein Glaskolbensensor. Signalkabel für diesen Kaltkathoden-Vakuumsensor sind auf dieser Website verfügbar.

MKS-Vakuummeterkabel verbindet 937B oder 946 mit Hot Cathode Low Power Nude, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100010909. Das MKS-Manometerkabel verbindet 937B oder 946 mit Hot Cathode Low Power Nude. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS-Vakuummeterkabel verbindet 937B oder 946 mit Hot Cathode Low Power Nude, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100010910. Das MKS-Manometerkabel verbindet 937B oder 946 mit Hot Cathode Low Power Nude. Dies ist NUR das Kabel. Der digitale Kombinations-Vakuummeter-Controller der Serie 937B betreibt bis zu sechs Vakuum-Drucksensoren gleichzeitig. Dieser hochflexible Vakuummeter-Controller unterstützt eine breite Palette von Sensortechnologien, darunter Kaltkathode, Heißkathode, Standard-Pirani, Konvektions-Pirani, Baratron®-Kapazitätsmanometer und absolute Piezo-Sensoren für einen Messbereich von Ultrahochvakuum bis über Atmosphärendruck. Das hintergrundbeleuchtete LCD-Display, die intuitiven Menüs und die einfache Drucktasten-Frontplatte ermöglichen eine einfache Einrichtung des 937B. Der 937B ermöglicht die Verwendung einer beliebigen Sensorkarte in jedem der Sensorkartensteckplätze. Der 937B kann mit bis zu drei Heiß- oder Kaltkathodenmessgeräten oder drei Doppelsensorkarten für maximal sechs Messgeräteanschlüsse konfiguriert werden.

MKS T2BA Butterfly-Auslassdrosselklappe, KF40, „F-Seal“ (Viton-O-Ring an der Klappe), Low-Power-Motor (8 in-lbs), 105 °C, RS232, mit +/-15 VDC Sensorstromversorgung (für Baratron). ). MKS-Teilenummer: T2BA01K320003V210025. Das Abgasdrosselventil MKS T2BA wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen ein einfaches, aber fortschrittliches Druckregelsystem gewünscht ist. Der T2BA integriert alle Steuer-, Kommunikations- und Treiberschaltkreise in einer Drosselklappenbaugruppe, wodurch die Montage eines separaten Drucksteuerungselektronikmoduls überflüssig wird. Der einzigartige modellbasierte Steueralgorithmus und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb sorgen dafür, dass das System mit minimalem Überschwingen schnell den Sollpunkt erreicht und wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners gewährleistet. Produktmerkmale:Kompaktes Druckregelsystem – Ventil mit integrierter On-Board-Steuerelektronik – Einfache Integration, keine Notwendigkeit für zusätzliche Kabel oder Rack-Platz. Hochgeschwindigkeitskonfigurationen verfügbar (<250 ms. Öffnen bis Schließen) – Schnellere Sollwert- und Wiederherstellung vom Durchfluss und Druckstörungen – Ermöglicht einen hohen Werkzeugdurchsatz. Wählbare Antriebe mit hohem Drehmoment – Verlängert die Betriebszeit unter rauen Prozessbedingungen. Zweikanaliger Baratron®-Sensoreingang mit automatischer Bereichsumschaltung – Unterstützt einen breiten dynamischen Druckregelbereich – Ermöglicht eine hohe Druckregelgenauigkeit. Fortschrittlicher, modellbasierter Druckregelalgorithmus - Minimiert die Zeit bis zum Erreichen des Einstellpunkts. - Gewährleistet wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners. Erhältlich in weichdichtenden Versionen mit niedrigem Leitwert. - Unterstützt Hochdruckprozesse auch bei geringen Durchflussmengen (Epi, RTP, SACVD und mehr). - Geeignet für „Hausabluft“ oder atmosphärische Abluft Anwendungen Bietet Strom für angeschlossene Baratron-Kapazitätsmanometer (optional, einige Modelle). Das T2BA-Auslassdrosselventil kann in zwei Hauptmodi betrieben werden: Klappenpositionierung oder Drucksteuerung, die beide über die E/A-Schnittstelle vom Benutzer aktiviert werden können. Alle einstellbaren Setup-Parameter, Laufzeitbetrieb und Diagnoseinformationen sind über die Kommunikationsschnittstelle verfügbar. EtherCAT T2BA ist vollständig kompatibel mit EtherCAT-Manometern. Analoge Manometer benötigen ein Gateway. Die nachgeschaltete Druckregelungstechnik bietet einen großen Dynamikbereich, funktioniert mit allen Pumpentypen, sorgt für eine schnelle Reaktion und ist tolerant gegenüber den meisten Abgasen. Das Konzept des „intelligenten Instruments“ führt zu wertvollen Platzeinsparungen im System, einer verbesserten Störfestigkeit und einem einfachen Zugriff auf zeitkritische Prozess- und Kalibrierungsinformationen sowie integrierte Diagnosefunktionen. Der T2BA nutzt einen direkt angetriebenen Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor. Der Ventiltreiber ermöglicht eine hochauflösende Druckregelung. Der optionale Direktantriebsmotor mit hohem Drehmoment sorgt für eine längere Betriebszeit und verlängert die vorbeugenden Wartungszyklen – ein großer Vorteil bei anspruchsvollen Prozessen, bei denen nur eine Stunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann. Das T2BA ist auch in Getriebeversionen erhältlich, die ein maximales Drehmoment bieten und einen Langzeitbetrieb in rauen Umgebungen ermöglichen. Die T2BA-Ventile sind optional mit verfügbaren MKS-Außenheizungen auf bis zu 200 °C beheizbar (die richtige Auswahl der Dichtungsmaterialien ist erforderlich). Der T2BA ist in den einzigartigen MKS-Versionen mit niedrigem Leitwert erhältlich und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Druckregelung in atmosphärischen Anwendungen, einschließlich Abgasdruckregelung, CVD und RTP, ohne dass zur Minimierung des Ventilleitwerts auf O-Ring-basierte Konstruktionen zurückgegriffen werden muss. Zu Diagnosezwecken steht ein geberbasiertes Positionsrückmeldesystem zur Verfügung. Das Ventil besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl 316, der mit den meisten Prozessgasen kompatibel ist, und ist in standardmäßigen ISO-Flanschausführungen mit Bohrungsgrößen von 1 Zoll bis 4 Zoll erhältlich (alternative Größen sind auf kundenspezifischer Basis erhältlich). Die angebotenen Standarddichtungen bestehen aus Viton®, alternative Materialien können für die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemikalien und/oder beheizten Anwendungen spezifiziert werden.

MKS T2BA Abluft-Drosselklappe, ISO100, nicht dichtend (kein O-Ring; 0,003 Zoll Radialspalt), Motor mit geringer Leistung (8 in-lbs), 105 °C, Viton (Gehäusedichtung), RS232, mit +/- 15-V-DC-Sensorstromversorgung (für Baratron). MKS-Teilenummer: T2BA04N220303V210025. Das Abgasdrosselventil MKS T2BA wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen ein einfaches, aber dennoch fortschrittliches Druckregelsystem gewünscht wird. Das T2BA integriert alle Steuer-, Kommunikations- und Treiberschaltkreise B. innerhalb einer Drosselventilbaugruppe, wodurch die Montage eines separaten Druckregelelektronikmoduls entfällt. Der einzigartige modellbasierte Regelalgorithmus und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb bringen das System schnell auf den Sollpunkt mit minimalem Überschwingen und sorgen für wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners . Produktmerkmale:Kompaktes Druckregelsystem – Ventil mit integrierter integrierter Steuerelektronik – Einfache Integration, keine Notwendigkeit für zusätzliche Kabel oder Rack-Platz. Hochgeschwindigkeitskonfigurationen verfügbar (<250 ms. Öffnen bis Schließen) – Schnellere Sollwert- und Wiederherstellungszeit Durchfluss- und Druckstörungen – Ermöglicht einen hohen Werkzeugdurchsatz. Wählbare Antriebe mit hohem Drehmoment – Verlängert die Betriebszeit unter rauen Prozessbedingungen. Zweikanaliger Baratron®-Sensoreingang mit automatischer Bereichsumschaltung – Unterstützt einen breiten dynamischen Druckregelbereich – Ermöglicht eine hohe Druckregelgenauigkeit. Erweiterte modellbasierte Druckregelung Algorithmus – Minimiert die Zeit bis zum Erreichen des Einstellpunkts – Gewährleistet wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners. Erhältlich in weichdichtenden Versionen mit niedriger Leitfähigkeit – Unterstützt Hochdruckprozesse auch bei geringen Durchflussmengen (Epi, RTP, SACVD und mehr) – Geeignet für „Hausabgase“ oder atmosphärische Anwendungen Bietet Strom für angeschlossene Baratron-Kapazitätsmanometer (optional, einige Modelle). Das T2BA-Auslassdrosselventil kann in zwei Hauptmodi betrieben werden: Klappenpositionierung oder Drucksteuerung, die beide über die E/A-Schnittstelle vom Benutzer aktiviert werden können. Alle einstellbaren Setup-Parameter, Laufzeitbetrieb und Diagnoseinformationen sind über die Kommunikationsschnittstelle verfügbar. EtherCAT T2BA ist vollständig kompatibel mit EtherCAT-Manometern. Analoge Manometer benötigen ein Gateway. Die nachgeschaltete Druckregelungstechnik bietet einen großen Dynamikbereich, funktioniert mit allen Pumpentypen, sorgt für eine schnelle Reaktion und ist tolerant gegenüber den meisten Abgasen. Das Konzept des „intelligenten Instruments“ führt zu wertvollen Platzeinsparungen im System, einer verbesserten Störfestigkeit und einem einfachen Zugriff auf zeitkritische Prozess- und Kalibrierungsinformationen sowie integrierte Diagnosefunktionen. Der T2BA nutzt einen direkt angetriebenen Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor. Der Ventiltreiber ermöglicht eine hochauflösende Druckregelung. Der optionale Direktantriebsmotor mit hohem Drehmoment sorgt für eine längere Betriebszeit und verlängert die vorbeugenden Wartungszyklen – ein großer Vorteil bei anspruchsvollen Prozessen, bei denen nur eine Stunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann. Das T2BA ist auch in Getriebeversionen erhältlich, die ein maximales Drehmoment bieten und einen Langzeitbetrieb in rauen Umgebungen ermöglichen. Die T2BA-Ventile sind optional mit verfügbaren MKS-Außenheizungen auf bis zu 200 °C beheizbar (die richtige Auswahl der Dichtungsmaterialien ist erforderlich). Der T2BA ist in den einzigartigen MKS-Versionen mit niedrigem Leitwert erhältlich und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Druckregelung in atmosphärischen Anwendungen, einschließlich Abgasdruckregelung, CVD und RTP, ohne dass zur Minimierung des Ventilleitwerts auf O-Ring-basierte Konstruktionen zurückgegriffen werden muss. Zu Diagnosezwecken steht ein geberbasiertes Positionsrückmeldesystem zur Verfügung. Das Ventil besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl 316, der mit den meisten Prozessgasen kompatibel ist, und ist in standardmäßigen ISO-Flanschausführungen mit Bohrungsgrößen von 1 Zoll bis 4 Zoll erhältlich (alternative Größen sind auf kundenspezifischer Basis erhältlich). Die angebotenen Standarddichtungen bestehen aus Viton®, alternative Materialien können für die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemikalien und/oder beheizten Anwendungen spezifiziert werden.

MKS 248D Allzweck-Durchflussregelventil, 2000 sccm, 1/4 Zoll Swagelok-Rohrverschraubung, Viton-Dichtungen. MKS-Teilenummer: 0248D-02000SV Bei Versorgung mit Steuerstrom moduliert dieses universell einsetzbare, modifizierte Magnetventil den Gasfluss. Bei Verwendung mit einem MKS-Controller und einem entsprechenden Durchflusssensor moduliert das 248D-Ventil den Gasfluss und sorgt gleichzeitig für einen genauen und präzisen Druck oder Durchfluss. Zu den Anwendungen gehören Durchflussregelung, vor- oder nachgeschaltete Druckregelung. Dieses Ventil des Modells 0248D-02000SV verfügt über einen Stickstoff-Vollausschlagsbereich von 2000 Standardkubikzentimetern pro Minute (sccm), Swagelok® 1/4-Zoll-Rohranschlüsse und Viton-Dichtungen. Der Leckleitwert bei geschlossenem Ventil beträgt <1x10-5 scc/s He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D Allzweck-Durchflussregelventil, 5000 sccm, 1/4 Zoll Swagelok-Rohrverschraubung, Viton-Dichtungen. MKS-Teilenummer: 0248D-05000RV. Wenn dieses universell einsetzbare, modifizierte Magnetventil mit einem Steuerstrom versorgt wird, moduliert es den Gasfluss. Bei Verwendung mit einem MKS-Controller und einem entsprechenden Durchflusssensor moduliert das 248D-Ventil den Gasfluss und sorgt gleichzeitig für einen genauen und präzisen Druck oder Durchfluss. Zu den Anwendungen gehören Durchflussregelung, vor- oder nachgeschaltete Druckregelung. Dieses Ventil des Modells 0248D-05000RV verfügt über einen Stickstoff-Vollausschlagsbereich von 5.000 Standardkubikzentimetern pro Minute (sccm), Swagelok® 1/4-Zoll-Rohranschlüsse und Viton-Dichtungen. Der Leckleitwert bei geschlossenem Ventil beträgt <1x10-5 scc/s He.Swagelok-TM Swagelok Company

MKS 248D Allzweck-Durchflussregelventil, 10.000 sccm, 1/4 Zoll Swagelok-Rohrverschraubung, Viton-Dichtungen. MKS-Teilenummer: 0248D-10000SV. Wenn dieses universell einsetzbare, modifizierte Magnetventil mit einem Steuerstrom versorgt wird, moduliert es den Gasfluss. Bei Verwendung mit einem MKS-Controller und einem entsprechenden Durchflusssensor moduliert das 248D-Ventil den Gasfluss und sorgt gleichzeitig für einen genauen und präzisen Druck oder Durchfluss. Zu den Anwendungen gehören Durchflussregelung, vor- oder nachgeschaltete Druckregelung. Dieses Ventil des Modells 0248D-10000SV verfügt über einen Stickstoff-Vollausschlagsbereich von 10.000 Standardkubikzentimetern pro Minute (sccm), Swagelok® 1/4-Zoll-Rohranschlüsse und Viton-Dichtungen. Der Leckleitwert bei geschlossenem Ventil beträgt <1x10-5 scc/s He.Swagelok-TM Swagelok Company

Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet den 946-Regler mit den 248D-Durchflussregelventilen, 10 Fuß (3 m) lang. MKS-Teilenummer: 100018192. Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet den 946-Regler mit den 248D-Durchflussregelventilen. Dies ist NUR das Kabel. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.

Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet den 946-Regler mit den 248D-Durchflussregelventilen, 25 Fuß (7,5 m) lang. MKS-Teilenummer: 100018192-25. Das MKS-Massendurchflussreglerkabel verbindet den 946-Regler mit den 248D-Durchflussregelventilen. Dies ist NUR das Kabel. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.

MKS Half Rack-Montagesatz für Vakuummessgeräte-Controller der Serien 937B und 946. MKS-Teilenummer: RM-13. Das MKS Half Rack-Montageset ist mit den Vakuummeter-Controllern der Serien 937B und 946 kompatibel. Dies ist NUR die Hardware. Das MKS 946 ist ein vielseitiges Halbrack-Vakuummessgerät-Mess- und Steuerungssystem, das Strom und gleichzeitige Anzeige für bis zu sechs verschiedene Vakuummessgeräte und/oder Massendurchflussregler bietet und Optionen zur Drucksteuerung bietet. Netzteile/Anzeigen dienen zur Steuerung und Anzeige aller Durchflusswandler. Der Durchflusssollwert kann entweder über die Bedienelemente an der Vorderseite oder aus der Ferne über die analoge Schnittstelle an der Rückseite angepasst werden. Der Vakuumsystem-Controller 946 ist eine Einzelanzeige mit sechs Kanälen und sequentieller Auswahl. Kompatibel mit Massendurchflussreglern und Massendurchflussanzeigen. Signalkabel für das MKS 946 sind auf dieser Website erhältlich.