Thermischer MBraun-Verdampfer, MB Evap S/A, Dünnschicht-Co-Depositionssystem, Glockenkammer aus Edelstahl, 13 x 17 Zoll, 4 Wärmequellen und 2 Inficon QCM-Dickenmonitore mit neuer Pfeiffer HiPace 300 Turbopumpe, generalüberholt

Diese überholte Mbraun Evap S/A Vakuumbeschichtungskammer (Baujahr 2012) ist mit einer brandneuen HiPace 300 Turbopumpe und einer brandneuen Edwards 12 Rotations-Vorvakuumpumpe ausgestattet. Das Gerät ist in ausgezeichnetem Betriebszustand. Das Innere der Kammer wurde sandgestrahlt, um alle möglichen Verunreinigungen aus der vorherigen Verwendung zu entfernen. Das Gerät eignet sich für die thermische Verdampfung von Metallen mit hohem Schmelzpunkt und Dielektrika wie Gold, Titan und Oxiden. Es verfügt über eine Edelstahlglocke mit einem Durchmesser von 13 Zoll und einer Höhe von 17 Zoll. Die maximale Verdampfungsentfernung beträgt 10 Zoll bei Rotation des Substrathalters und kann ohne Substratrotationsbaugruppe auf 12 Zoll erhöht werden, was für die Abhebemetallabscheidung geeignet ist. Der Substrathalter kann Probengrößen von maximal 4 x 4 Zoll mit Rotation während der Abscheidung oder Proben von 6 x 6 Zoll ohne Rotation aufnehmen. Die Kammer verfügt über 4 thermische Verdampfungsquellen mit einer Ladekapazität von jeweils etwa 1 cm3.

Dieser thermische Verdampfer von MBraun ist mit vielen Funktionen ausgestattet, darunter einem neuen, maßgeschneiderten rotierenden 4-Zoll-Substrathalter. Er verfügt über zwei Inficon QCM-Sensoren und zwei neue Quarzkristalle sowie einen Inficon SQC-310C Co-Depositionscontroller mit manuellen und automatischen Prozessmodi. Der Abscheidungsprozess kann sequentiell oder als Co-Deposition erfolgen. Zu den weiteren Funktionen gehören ein 6-Zoll-Sichtfenster zur Beobachtung des Beschichtungsfortschritts, pneumatische Quellen- und Substratverschlüsse, ausfallsichere Mechanismen, ein optischer Sicherheitsvorhang sowie visuelle und akustische Statusanzeigen in Form von Alarmen.