Edwards iXM 200 Trockenvakuumpumpe 200-230 VAC 50/60 Hz 3 Ph. Edwards Teilenummer A56106958 Die Edwards iXM 200 ist eine neue Reihe trockener Pumpen, die für eine umweltfreundliche Fertigung entwickelt wurden. Der effiziente Roots-Mechanismus nutzt sehr wenig Energie und reduziert die Eingangsleistung drastisch auf 1,3 kW, 60 % weniger als bei der vorherigen Generation von Trockenpumpen, wodurch die Umweltbelastung verringert und die Betriebskosten gesenkt werden. Verbesserungen der Gasbarrieretechnologie und des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als Produkte der iH-Serie. Fortschrittliche Pulverhandhabungsfunktionen bedeuten, dass iXM maximale Zuverlässigkeit und längere Pumpenlebensdauer für mehrschichtige Ätzprozesse sowie einen reduzierten Stromverbrauch für CVD-Prozesse bietet. Die Pumpen der Edwards iXM 200-Serie sind kompakt und leichtgewichtig, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, was iXM zur vielseitigsten Trockenpumpe im Edwards-Sortiment macht. iXM wird Ihre Erwartungen an die Trockenvakuumpumpentechnologie verändern und echte Vorteile und längere Betriebszeiten bei minimaler Umweltbelastung bieten. iXM-Pumpen sind für den Einsatz in den meisten Halbleiterprozessen konzipiert und sorgen gleichzeitig für eine deutliche Reduzierung der Eingangsleistung. Eine vollständige Bedienungsanleitung finden Sie unter Downloads auf der Seite. MERKMALE und VORTEILE: Hauptsächlich für saubere bis leicht raue chemische Anwendungen (siehe Anwendungsspektrum unten) Spitzenpumpgeschwindigkeit 200 m3/h-1 (118 CFM) Enddruck 1,5 x 10-2 Torr Enthält nur Primärpumpe Keine vorbeugende Wartung erforderlich 3/8 Zoll-Schnellkupplung, Wasserfüllungen, Wasser- und Stromanschluss, passende Hälften, SS-Wasserkühlsystem, Varimode-Gasmodul, ANWENDUNGEN: Ladungsschleusentransfer, Meteorologie, Lithographie, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Prozess, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Vorreinigung, schnelle thermische Ausheilung, RTA-Streifen/Veraschung, Ätzen, Implantationsquelle mit hoher Dichte Plasma-chemische Gasphasenabscheidung HDP CVD Schnelle thermische Verarbeitung RTP Unteratmosphärische chemische Gasphasenabscheidung SACVD Wolfram-chemische Gasphasenabscheidung WCVD Modifizierte chemische Gasphasenabscheidung MCVD Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung PECVD Niederdruck-chemische Gasphasenabscheidung LPCVD

Edwards iXM 600 Trockenvakuumpumpe 200-230 VAC 50/60 Hz 3 Ph. Edwards Teilenummer A56126958 Die Edwards iXM 600 ist eine neue Reihe trockener Pumpen, die für eine umweltfreundliche Fertigung entwickelt wurden. Der effiziente Roots-Mechanismus nutzt sehr wenig Energie und reduziert die Eingangsleistung drastisch auf 1,3 kW, 60 % weniger als bei der vorherigen Generation von Trockenpumpen, wodurch die Umweltbelastung verringert und die Betriebskosten gesenkt werden. Verbesserungen der Gasbarrieretechnologie und des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als Produkte der iH-Serie. Fortschrittliche Pulverhandhabungsfunktionen bedeuten, dass iXM maximale Zuverlässigkeit und längere Pumpenlebensdauer für mehrschichtige Ätzprozesse sowie einen reduzierten Stromverbrauch für CVD-Prozesse bietet. Die Pumpen der Edwards iXM 600-Serie sind kompakt und leichtgewichtig, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, was iXM zur vielseitigsten Trockenpumpe im Edwards-Sortiment macht. iXM wird Ihre Erwartungen an die Trockenvakuumpumpentechnologie verändern und echte Vorteile und längere Betriebszeiten bei minimaler Umweltbelastung bieten. iXM-Pumpen sind für den Einsatz in den meisten Halbleiterprozessen konzipiert und sorgen gleichzeitig für eine deutliche Reduzierung der Eingangsleistung. Eine vollständige Bedienungsanleitung finden Sie unter Downloads auf der Seite. EIGENSCHAFTEN und VORTEILE: Hauptsächlich für saubere bis leicht raue chemische Anwendungen (siehe Anwendungsspektrum unten). Spitzenpumpgeschwindigkeit 600 m3/h-1 (353 CFM) Enddruck 3,75 x 10-3 Torr. Keine vorbeugende Wartung erforderlich. 3/8 Zoll Schnellanschluss für Wasser Füllungen, Wasser- und Stromanschlüsse, passende Hälften, SS-Wasserkühlsystem, Varimode-Gasmodul, ANWENDUNGEN: Load Lock Transfer, Meteorologie, Lithographie, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Prozess, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Vorreinigung, schnelle thermische Ausheilung, RTA-Streifen/Veraschung, Ätzen, Implantationsquelle, hochdichtes Plasma, chemische Gasphasenabscheidung HDP CVD Schnelle thermische Verarbeitung RTP Unteratmosphärische chemische Gasphasenabscheidung SACVD Chemische Wolframdampfabscheidung WCVD Modifizierte chemische Gasphasenabscheidung MCVD Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung PECVD Chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck LPCVD

Edwards iXM 1200 Trockenvakuumpumpe 200-230 VAC 50/60 Hz 3 Ph. Edwards Teilenummer A56146958 Die Edwards iXM 1200 ist eine neue Reihe trockener Pumpen, die für eine umweltfreundliche Fertigung entwickelt wurden. Der effiziente Roots-Mechanismus nutzt sehr wenig Energie und reduziert die Eingangsleistung drastisch auf 1,3 kW, 60 % weniger als bei der vorherigen Generation von Trockenpumpen, wodurch die Umweltbelastung verringert und die Betriebskosten gesenkt werden. Verbesserungen der Gasbarrieretechnologie und des thermischen Designs ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als Produkte der iH-Serie. Fortschrittliche Pulverhandhabungsfunktionen bedeuten, dass iXM maximale Zuverlässigkeit und längere Pumpenlebensdauer für mehrschichtige Ätzprozesse sowie einen reduzierten Stromverbrauch für CVD-Prozesse bietet. Die Pumpen der Edwards iXM 1200-Serie sind kompakt und leichtgewichtig, kombiniert mit außergewöhnlich geringem Geräusch- und Vibrationspegel, was iXM zur vielseitigsten Trockenpumpe im Edwards-Sortiment macht. iXM wird Ihre Erwartungen an die Trockenvakuumpumpentechnologie verändern und echte Vorteile und längere Betriebszeiten bei minimaler Umweltbelastung bieten. iXM-Pumpen sind für den Einsatz in den meisten Halbleiterprozessen konzipiert und sorgen gleichzeitig für eine deutliche Reduzierung der Eingangsleistung. Eine vollständige Bedienungsanleitung finden Sie unter Downloads auf der Seite. MERKMALE und VORTEILE: Hauptsächlich für saubere bis leicht raue chemische Anwendungen (siehe Anwendungsspektrum unten) Spitzenpumpgeschwindigkeit 1030 m3/h-1 (606 CFM) Enddruck 5,0 x 10-3 Torr Keine vorbeugende Wartung erforderlich 3/8 Zoll Schnellanschluss für Wasser Füllungen, Wasser- und Stromanschlüsse, passende Hälften, SS-Wasserkühlsystem, Varimode-Gasmodul, ANWENDUNGEN: Load Lock Transfer, Meteorologie, Lithographie, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Prozess, physikalische Gasphasenabscheidung, PVD-Vorreinigung, schnelle thermische Ausheilung, RTA-Streifen/Veraschung, Ätzen, Implantationsquelle, hochdichtes Plasma, chemische Gasphasenabscheidung HDP CVD Schnelle thermische Verarbeitung RTP Unteratmosphärische chemische Gasphasenabscheidung SACVD Chemische Wolframdampfabscheidung WCVD Modifizierte chemische Gasphasenabscheidung MCVD Plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung PECVD Chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck LPCVD

Edwards GX-, iGX-, iXH-, iXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-polig, XLR-Stecker, tragbares Tastatur-Anzeigemodul. Edwards-Teilenummer: D37280700 Edwards GX-, iGX-, iXH-, IXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-Wege-XLR-Stecker. Handdisplay für Edwards GX-, iGX- und iXL120-Trockenpumpensysteme mit 5-Wege-XLR-Anschluss. Edwards Vacuum Teilenummer D37280700.

Edwards SPI Micro TIM-ModulD37360310SPI Micro TIM-Modul bietet Edwards SPI-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein SPI Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das SPI Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Edwards MCM Micro TIM-ModulD37360320Das MCM MicroTIM-Modul bietet eine Edwards MCM-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein MCM Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool über eine parallele digitale Schnittstelle verwendet werden. Das MCM Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie GXS-Serie (nur MCM-Version) CXS-Serie (nur MCM-Version) Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesswerkzeug oder andere Steuergeräte verwendet werden. Beispielsweise kann eine Pumpe von einer iH auf eine iHs aufgerüstet werden, ohne dass das Schnittstellenmodul geändert werden muss. Das MCM Micro TIM ist AUC-kompatibel mit Pumpen der Serien GXS und CXS. Entspricht iH iTIM D37422000 - MCM. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards TEL Micro TIM-ModulD37360330Das TEL Micro TIM-Modul bietet eine Edwards TEL-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein TEL Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das TEL Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul von EdwardsD37360340Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul bietet eine Semi-E73-kompatible Werkzeugschnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Semi-E73-Micro-TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Semi E73 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu LAM Alliance-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein LAM Alliance Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das LAM Alliance Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Novellus C3 Micro TIM-ModulD37360360Novellus C3 Micro TIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu Novellus C3-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Novellus C3 Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das Novellus C3 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM bietet eine Hitachi-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Hitachi Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Hitachi Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards EMO-Kabel für die Installation einer Trockenhalbleiterpumpe der iXL- oder iXH-Serie neuer Bauart an einem Werkzeug mit vorhandenen Pumpen der iH-Serie alter Bauart. Ideal Vacuum liefert unser eigenes Schnittstellenkabel, das den Austausch einer älteren Pumpe der iH-Serie durch die Modelle IXL120N, iXH100 oder iXH610 ermöglicht. Diese EMO-Verkabelung ist nützlich für Anwendungen, bei denen an einem Halbleiterwerkzeug mehrere iH-Pumpen alter Bauart in der Unterfertigung angeschlossen sind. Dieses Schnittstellenmodulkabel setzt die EMO-Schaltung über die verbleibenden iH-Pumpen des alten Stils und durch die iXL120N-Ersatzpumpe des neuen Stils fort. Im Folgenden werden die Anschlüsse und die verschiedenen Schnittstellenmodule ausführlich beschrieben. Dieses Kabel wird normalerweise von P2 (Ausgang) des iTIM auf der linken Seite des iH mit dem Notaus-Anschluss (EMS) des iXL120N und J1 (Eingang) des iTIM auf der rechten Seite der iH-Pumpe verbunden (Details finden Sie in unserem Anwendungshinweis im PDF-Format). . Das Problem besteht darin, dass die Pumpen der Edwards iH-Serie inzwischen eingestellt wurden und nicht mehr erhältlich sind. Ideal Vacuum hat die Ersatzpumpen iXL120N für die Ladeschleuse, iXH100 (ersetzt iH80), iXH610 (ersetzt iH600) usw. auf Lager. Die neue iXL120N-Pumpe verfügt nicht über eine EMO-Taste an der Vorderseite wie die alten IH-Pumpen (siehe Details in unserem Anwendungshinweis). Das Edwards iTIM wurde häufig mit trockenen Halbleitervakuumpumpen der Edwards iH-Serie älterer Bauart konfiguriert, bei denen mehrere Pumpen an ein einziges Halbleiterwerkzeug in der Unterfabrik angeschlossen sind. Die EMO-Verkabelung ist so eingerichtet, dass das Werkzeug abgeschaltet wird, wenn eine EMO an einer der Pumpen der iH-Serie gedrückt wird. Sie sind normalerweise in Reihe in einer Daisy-Chain-Konfiguration verkabelt.