Agilent Varian Turbo-Spülventil, 20 SCCM KF-16 x M12, passend für die meisten mittelgroßen Agilent Turbomolekular-Vakuumpumpen, PN 969-9241

Diese Agilent Varian Turbospülventile haben eine feste Durchflussrate von 20 SCCM, einen KF-16-Gasversorgungsanschluss und sind für den Einsatz mit den meisten mittelgroßen Turbomolekular-Vakuumpumpen mit einem M12-Entlüftungsanschlussgewinde ausgelegt. Bitte sehen Sie sich das zweite und dritte Foto des Entlüftungsanschlusses und die Installationszeichnung an. Anweisungen finden Sie auch im TwisTorr 305 FS-Handbuch auf Seite 247. Das Gasspülventil ist eine Schutzvorrichtung zum Schutz der Pumpenlager vor Partikeln und korrosiven Gasen, die entstehen könnten in die Pumpe bewegen. Jedes Ventil ist mit einer dünnen, kalibrierten Saphiröffnung ausgestattet, die in einer Kartusche montiert ist, um eine präzise kleine Leckrate zu gewährleisten, mit zwei speziellen PTFE-Membranen auf jeder Rohrseite. Dadurch soll verhindert werden, dass Partikel, Pulver und Flüssigkeiten in das dünne Loch gelangen und es verstopfen. Jede Version des Ventils ist für eine bestimmte Anwendung geeignet: - das kleine Leck (~ 10 sccm bei 1000 mbar) für leicht korrosiven Betrieb, wenn der Partialdruck des korrosiven Gases maximal 10-5 mbar beträgt (Analyseinstrumente, Ionenimplantierer); - das große Leck (~ 20 sccm bei 1000 mbar) für stark korrosive Vorgänge (Ätzen, CVD), wenn der Partialdruck des korrosiven Gases >10-5 mbar beträgt. Wenn Sie eine andere Durchflussrate verwenden möchten, können Sie den Versorgungsdruck ändern. Für einen gegebenen Versorgungsdruck kann das Gasspülventil einen festen Durchflusswert liefern. Bitte beachten Sie, dass die Durchflussmenge nicht vom vakuumseitigen Druck des Ventils abhängt. Diese Turbospülventile haben die Agilent Varian-Teilenummer PN 969-9241.

Funktioniert mit den folgenden Agilent Varian Turbopumpen:

• Twistorr 74 FS
• TwistTorr 84 FS
• TwistTorr 305 FS
• TwistTorr 305-IC
• Twistorr 404 FS
• Twistorr 704 FS
• Twistorr 804 FS
• Turbo-V 1001