Ideale Sichtfensterplattenbaugruppe für Vakuumwürfel für 6x6 Vakuumkammer 3/8" Quarzglas

Diese Sichtfensterplattenbaugruppe aus Quarzglas der Vakuumkammer Ideal Vacuum Cube (6 x 6 Zoll) ist für unsere modularen Cube-Kammern (6 x 6 x 6 oder 6 x 6 x 12) konzipiert.

Die Sichtplattenanordnung aus geschmolzenem Quarzglas wird häufig für Experimente ausgewählt, bei denen eine verbesserte optische Klarheit und erweiterte Wellenlängendurchlässigkeit über den sichtbaren Bereich hinaus erforderlich ist und bei denen die Kosten eine Rolle spielen.

Unsere Quarzglasfenster werden aus natürlichem Quarz höchster Qualität hergestellt, was zu den höchsten Reinheitsgraden und den geringsten Einschluss- und Blasenwerten führt. Vergleichbar mit Heraeus TSC-3 haben diese Fenster eine verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Eigenschaften gehören geringe Brechungsindexschwankungen und ein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für Halbleiteranwendungen wie Plasmaätz- und Abscheidungssysteme verwendet und empfohlen, wenn ein niedriger Alkali- und Aluminiumgehalt angegeben wird. Es wird häufig für durchlässige Optiken im sichtbaren und nahen bis mittleren Infrarotwellenlängenbereich verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas hat Absorptionsbänder im Bereich von 2600 bis 2900 nm, ähnlich wie Quarzglas, aber nicht so stark. Aufgrund der Absorption im Bereich von 270 nm ist es für UV-Arbeiten ungeeignet.

Beachten Sie, dass der Bestand an Quarzglas begrenzt ist, da Ideal Vacuum auf Quarzglas als Premium-Fensterangebot umstellt. Beachten Sie auch, dass Quarzglasfenster fälschlicherweise mit Quarzglas-Teilenummern gekennzeichnet sein können. Sie können Ihr Fenstermaterial anhand Ihrer Verkaufsrechnung überprüfen.

Wir bieten auch Würfelfensterplattenbaugruppen und Ersatzfensterscheiben mit standardmäßigem gehärtetem Glas mit niedrigem Eisengehalt oder Quarzglas an. Gehärtetes Glas wird häufig zur allgemeinen, direkten Beobachtung von Schrupp- oder Hochvakuumkammerprozessen verwendet und kann zur optischen Ausrichtung von Kammerkomponenten, zur Beobachtung der Entgasung von Flüssigkeiten oder zur Vermittlung von In-Vakuum-Prozessen durch direkte Beobachtung verwendet werden. Das Glasmaterial ist standardmäßiges Floatglas mit niedrigem Eisengehalt. Oberflächenqualität und Ebenheit sind Q4 gemäß ASTM 1036-06 und 1048-04. Der niedrige Eisengehalt des Glases führt zu einem leicht bläulichen Farbton. Dieses kostengünstige Glas ist für Laserexperimente unterhalb sichtbarer oder jenseits von Wellenlängen im Nahinfrarotbereich (NIR) ungeeignet.

Unsere hochreinen Ersatzfenster aus Quarzglas sind beidseitig geschliffen und auf optische Qualität poliert, mit einer Gesamtdickenvariation (TTV) von <10 µm, einer Oberflächengüte von S/D 40/20 und einer Oberflächenrauheit von Ra < 1 nm. Diese Fenster haben eine deutlich verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Eigenschaften gehören außergewöhnlich geringe Brechungsindexvariationen, niedrige Doppelbrechungswerte und ein extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für durchlässige Optiken verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas wird für Optiken verwendet, die im tiefen UV-, sichtbaren und nahen Infrarot-Wellenlängenbereich arbeiten.


Unsere Cube-Sichtfenster verwenden ein innovatives Design ohne Metall-Glas-Kontakt, das die 3/8 Zoll dicke Fensterscheibe an einer Aluminium-Montageplatte hält. Dieses gepolsterte Fenstermontagesystem gewährleistet die Sicherheit des Bedieners und ist selbst bei hohem Vakuumdruck weniger anfällig für Leckagen als andere Sichtfensterkonfigurationen. Ideal Vacuum Cube-Fenster werden komplett montiert geliefert und verwenden Viton-O-Ringe und Teflon-Abstandshalter. Ausheiztemperaturen bis 150 °C sind zulässig.

Die Sichtfensterplattenbaugruppe ist mit anderen Cube-Platten austauschbar und kann jederzeit zu einem Ideal Vacuum Cube-System hinzugefügt werden. Das Sichtfenster kann als feste Seite oder als Tür (mit unserer optionalen Scharnierbaugruppe und dem Hardware-Kit P106868 ) an der Cube-Kammer angebracht werden.

Die Sichtfensterplattenbaugruppe ist wie alle unsere anderen Cube-Platten mit unserer patentierten Taper-Seal-Technologie ausgestattet, die geneigte Dichtungselemente enthält, um Schäden an den Vakuumdichtflächen zu vermeiden. Alle Ideal Vacuum Cube-Platten werden aus einem einzigen Block der leichten 6061-T6-Aluminiumlegierung CNC-gefräst.

Vor dem Versand wird jede Sichtfensterplattenbaugruppe einer Sichtprüfung auf Fenstermedienfehler unterzogen, auf Heliumlecks getestet, gereinigt und versiegelt. Dadurch wird sichergestellt, dass sie ordnungsgemäß und sicher funktioniert und nach der Lieferung sofort einbaubereit ist.

HINWEIS: Alle Sichtfenster oder Sichtfenster sind von Natur aus zerbrechlich, sollten vorsichtig behandelt und vor der Verwendung immer überprüft werden. Sichtfenster von Ideal Vacuum sind NUR für VAKUUM ausgelegt und können bei schnellen Temperaturschwankungen (> 10 °C/min) anfällig für Thermoschocks sein. Wenn Sie einen Laserstrahl durch das Fenster richten, stellen Sie sicher, dass die Wellenlänge des Lasers ausreichend durch das Material des Fensters übertragen werden kann. Bitte laden Sie alle Sicherheitshinweise im Montagehandbuch für das Sichtfenster IVP Cube herunter und lesen Sie sie.