MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM Modularer Vakuum-Druckmessumformer, Digitalanzeige, DeviceNet, Yttrium-beschichteter Iridiumfaden, 2,75 CF

Das MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM-Modul kombiniert bewährte Micro-Ion-Ionisationsmesstechnologie mit einem Miniatur-Conductron-Wärmeverlustsensor, um genaue, kontinuierliche Druckmessungen von Hochvakuum bis Atmosphäre zu ermöglichen. Mithilfe seiner Membransensoren ist dieses Produkt in der Lage, einen genauen absoluten Druck bis zur Atmosphäre sowie eine präzise Anzeige des Differenzdrucks der Vakuumkammer gegenüber der Umgebung zu liefern. Das einzigartige Sensordesign eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinträchtigen können. Dieses kleine Modul kombiniert alle vier Sensoren und Steuerelektronik in einem kompakten modularen Design, wodurch die Anzahl der für eine Kammer erforderlichen Messgeräte reduziert und der erforderliche Platz minimiert wird. Die Druckmessung über den gesamten Bereich wird als Ausgangssignal mit digitaler DeviceNet-Schnittstelle ausgegeben. Dies ist eine DeviceNet-Version mit Sollwerten, die für die Prozesssteuerung konfiguriert werden können, mit der Möglichkeit, die Relais jedem Druck über den gesamten Vakuumdruckbereich oder einem bestimmten Differenzdruckwert zuzuordnen.

ZU DEN VORTEILEN GEHÖREN:
•Kontinuierliche Druckmessung von 1 x 10-9 Hochvakuum bis zur Atmosphäre.
• Präzise Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck.
• Macht diskrete Atmosphärenschalter überflüssig.
• Macht drei separate Sensoren überflüssig.
• Ionisationsmessgerät mit Yttrium-Beschichtung und Iridium-Filamenten erhöht die Betriebszeit der Geräte.
• Automatisierung der Aktivierung und Deaktivierung des Ionisationsmessgeräts.
• Sollwertrelais zur Prozesssteuerung.
• Vor Ort austauschbare Messeinheit.
• DeviceNet-Ausgang.


Modulare Vakuummessgeräte sind eine ideale Lösung für Anwendungen, die keine Frontplattenanzeigen und -steuerungen benötigen. Bei diesen kompakten, praktischen, zuverlässigen und kostensparenden Modulen ist die Steuerelektronik direkt auf dem Messgerät montiert. Das Ganzmetallgehäuse bietet ein robustes Gehäuse und ein hohes Maß an Immunität gegen elektrisches Rauschen. Mini-Convectron-Module verwenden die neueste Elektroniktechnologie zum Betrieb des Granville-Phillips®Convectron®Gauge. Das Convectron-Messgerät ist zum Industriestandard geworden. Es handelt sich um eine einzigartige Variante von Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten, bei denen die Druckmessung auf der Wärmeverlustrate eines Sensordrahts basiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Thermoelement- und Pirani-Messgeräten, die nur den Wärmeverlust durch Leitung verwenden, nutzen Convectron-Messgeräte den Wärmeverlust durch Konvektion bei höheren Drücken. Dies erweitert den Bereich genauer, wiederholbarer Messungen auf die Atmosphäre.