MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Absoluter Piezo-Wandler KF16 RS232, 10-5 bis 1500 Torr

Die HPS®-Serie 910 ist ein Dual-Sensor-Wandler, der die Druckmesstechnologie von Pirani und Piezo mit einem integrierten elektronischen Steuerkreis kombiniert. Der Messbereich des Wandlers beträgt 10-5 bis 1.500 Torr. Der Piezo ist ein direkt ablesbarer Absolutdrucksensor, der eine gasunabhängige Messung ermöglicht. Der Sensor verfügt über eine einzigartige Temperaturkompensation, die eine hohe Genauigkeit über einen großen Messbereich ermöglicht. Der Piezo misst zwischen 10-1 und 1.500 Torr. Der MicroPirani führt eine Autozero-Funktion für den Piezo durch, wenn der Druck unter 10-2 Torr liegt. Im Gegensatz zu herkömmlichen Pirani-Messgeräten besteht das Element im MicroPirani™ aus einem ein Millimeter großen Siliziumchip, sodass Messungen in einem sehr kleinen Volumen durchgeführt werden können. Ein herkömmlicher Pirani-Sensor hat einen Messbereich von 10-3 bis etwa 100 Torr und verliert oberhalb von 10 Torr schnell an Empfindlichkeit. Da der Sensorteil des MicroPirani™ so klein ist, hat er einen Bereich bis hinunter zu 10-5 Torr. Das Design minimiert die Auswirkungen der Konvektion, sodass der Betrieb in jeder Position möglich ist, ohne dass die Genauigkeit beeinträchtigt wird, was die Installation vereinfacht. Der Wandler verfügt über eine Druckknopf-Nullsteuerung, die verwendet werden kann, wenn der Druck unter 10-5 Torr liegt.

Die digitale Kommunikation der Serie 910 ermöglicht die Bereitstellung aller Einstellungen und Überwachungen in Echtzeit über einen Host-Computer. Der 910 verfügt standardmäßig über RS485- oder RS232-Kommunikation. Die Serie 910 bietet ein analoges Ausgangssignal von 1 bis 9 Volt DC am 15-poligen D-Sub-Stecker mit hoher Dichte. Der Wandlerausgang wird zwischen den beiden Sensoren geglättet und liegt bei beiden Sensoren im Bereich von 5 bis 15 Torr. Zur Prozesssteuerung verfügt der 910 über drei unabhängige Relaissollwerte. Merkmale der Sollwerte können über den digitalen Anschluss eingestellt, angepasst und überwacht werden. Wie alle Wärmeleitfähigkeitssensoren ist der MicroPiraniTM gasempfindlich. Der Piezo misst unabhängig von der Gasart. Der 910 bietet einen digitalen Leckerkennungsausgang, der den Differenzwert zwischen Piezo und MicroPirani™ misst. Dies macht es zu einer einfachen Lösung zur Ortung mittlerer bis feiner Lecks in Vakuumsystemen. Kunden, die sowohl eine Stromversorgung als auch ein Display benötigen, können den 910 DualTrans mit dem auf dieser Website verkauften Controller der PDR900-Serie verwenden. Vollständige Spezifikationen und Betriebsinformationen finden Sie unten in den VERFÜGBAREN DOWNLOADS.