Ebara ETC76-Controller zur Verwendung mit EBT70-Turbomolekular-Vakuumpumpen mit Keramiklagern. Ebara-Teilenummer: ETC76. Dies ist ein Ebara ETC76-Controller zur Verwendung mit EBT70-Turbomolekular-Vakuumpumpen mit Keramiklagern. Die Ebara EBT70-Turbomolekularpumpen mit mechanischen Keramiklagern sind hocheffiziente, kostengünstige Lösungen, die eine saubere und zuverlässige Vakuumerzeugung für Ihre Hochvakuumanwendungen bieten. Die EBT70-Turbopumpe bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungs-Verhältnis und ist mit Präzisionskeramiklagern für jahrelangen störungsfreien Betrieb ausgestattet (> 30.000 Stunden vor dem Austausch). Die Rotoren mit neuem Verbunddesign halten seltenen Stoßbehandlungen bei hohem Durchfluss oder Entlüftung stand. Verbesserte Effizienz führt zu höheren Pumpgeschwindigkeiten und Gaskompression. Dies ermöglicht höhere Vorvakuumdrücke und macht sie ideal für zahlreiche Anwendungen, darunter UHV, mobile Vakuumwagen und Analysesysteme.
Funktionen und Vorteile der Ebara EBT-Modelle:- Robustes Lagerdesign, ideal für mobile Anwendungen
- Hohe Pumpgeschwindigkeiten
- Hohe Kompressionsverhältnisse für leichte Gase
- Schnelle Starts und Stopps
- Schnelle Entlüftung (kein Entlüftungspulsieren)
- Lüfter oder Wasserkühlung (nicht im Lieferumfang enthalten)
- ISO- oder Conflat (CF)-Flansche
- Integrierter Controller (ausgewählte Modelle)
Zu den typischen Anwendungen für Turbopumpen zählen:- Halbleiter
- Dünner Film
- Photovoltaik
- Massenspektrometer
- Lampen für Analysegeräte
- Oberflächenbehandlung
- Elektronen-/Röntgenröhren
- Ionen-/EB-Quelle
- Waferbonden
- Sputter
- Glas-/Folienbeschichtung
- Auspuffwagen
Die Pumpenbedienungsanleitung und die Produktbroschüren zur Ebara EBT-Turbopumpe stehen in den Downloads zur Verfügung.