Agilent Varian TriScroll 300 und 600 Vakuumpumpen-Spülgas-Kit.
Agilent-Teilenummer: PTSPURGEKIT. Diese OEM-Triscroll-Spülungskits von Agilent Varian ermöglichen die sichere und ordnungsgemäße Spülung der Hauptlager über den Lagerspülanschluss oder über den Gasballastanschluss bei Pumpen der Serien Triscroll 300 und 600. Dieses Kit enthält einen Durchflussmesser mit manuellem Drosselventil, ein 5-psi-Überdruckventil sowie die erforderlichen Schläuche und Anschlüsse. Die folgenden Anwendungen erfordern die Verwendung dieses Spülkits mit einer Triscroll-Pumpe der Serie 300 oder 600:
- Regeneration der Kryopumpe
- Reinigung der Nasskammer
- Loadlock-Anwendungen mit hoher Taktrate
- Pumpen organischer Lösungsmittel
- Pumpen von Spuren von Brom oder Chlor
- Abpumpen restlicher ätzender Stoffe