Wassergekühlter Abgasabscheider Modell 250 von Edwards. Edwards-Teilenummer: A53114000. Die wassergekühlte Abgasfalle Modell 250 von Edwards kühlt die Abgase der Pumpe und sorgt dafür, dass sich Partikel in der Falle ansammeln. Dies verhindert die Ansammlung von Partikeln im Abgassystem. Die Abgasfalle ist für den Anschluss an eine Pumpe konzipiert, die in einem LPCVD-Nitridprozess unter Verwendung von Dichlorsilan oder Hexachlordisilan und Ammoniak verwendet wird. Der Abgasabscheider ist nicht für den Anschluss an eine Pumpe geeignet, die in anderen Prozessen eingesetzt wird. Der Edwards-Abscheider Modell 250 ist für die Trockenpumpen CDP und QDP von BOC Edwards und die Trockenpumpensysteme Drystar MKI, MKII und QMKII konzipiert. Das System muss über einen Druckschalter verfügen, der die Pumpe abschaltet, wenn das Abgassystem verstopft ist. Die Abgasfalle hat einen Hauptaußenkörper, der auf einem Grundrahmen montiert ist. Die Höhe des Fallenkörpers kann im Grundrahmen angepasst werden, um die Falle an verschiedene Pumpen anzupassen. Der Grundrahmen verfügt über Rollen für eine einfache Bewegung und Nivellierfüße, damit er sicher in seiner Betriebsposition positioniert werden kann. Die wassergekühlte Abgasfalle Modell 250 hat die Edwards-Teilenummer A53114000. Technische Daten des wassergekühlten Abluftabscheiders Modell 250 von Edwards: Passend für Trockenpumpen von Edwards: CDP- und QDP-Trockenpumpen und Trockenpumpensysteme Drystar MKI, MKII und QMKII ist A53115020. Für vollständige Spezifikationen laden Sie bitte die Bedienungsanleitung herunter.

NEU Edwards Einwegeinlagen für den wassergekühlten Abgasabscheider Modell 250 (Edwards PN A53115020) Diese Einwegeinlagen sind für den wassergekühlten Abluftabscheider Modell 250 ausgelegt. Die Abgasfalle kühlt die Abgase der Pumpe und sorgt dafür, dass sich Partikel an den Auskleidungen der Falle ansammeln. Dadurch wird die Ansammlung von Partikeln im Abgassystem minimiert, wo diese zu Verstopfungen und damit zu Ausfallzeiten Ihres Pumpsystems führen können. Wenn die Auskleidungen vollständig beschichtet sind, können sie leicht aus der Falle entfernt und durch neue Auskleidungen ersetzt werden. Der wassergekühlte Abluftabscheider und die Einwegauskleidungen eignen sich besonders für die Verwendung mit einer Pumpe, die für einen LPCVD-Nitridprozess verwendet wird, wie z. B. Edwards QDP Dry Pumps. Für vollständige Spezifikationen laden Sie die Bedienungsanleitung herunter (siehe unten VERFÜGBARE DOWNLOADS). Edwards Modell 250 Einweg-Abscheiderauskleidung. Technische Daten: Passend für wassergekühlte Abluftfalle von Edwards, Modell: 250. Material: Verzinkter Baustahl