MKS Instruments MFM, N2, 10 SCCM, 15 PIN ANALOG, MFM, LCMA11CS3B310, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler, PN GM50A013101SB3010
Diese MKS Instruments MFM, N2, 10 SCCM, 15 PIN ANALOG, MFM, LCMA11CS3B310 Teilenummer haben GM50A013101SB3010, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Die Massendurchflussregler GE250A und GE300A sind Allzweck-MGCs mit Elastomerdichtung, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Beim GE250A kann der Bereich zwischen 100 und 250 slm (N2-Äquivalent) liegen, während beim GE300A der Bereich zwischen 150 und 300 slm (N2-Äquivalent) liegen kann. Beide sind entweder mit analogem E/A oder digitalem E/A erhältlich und nutzen die neuesten Steueralgorithmen für Gas und eine wiederholbare Reaktion auf den Sollwert. Einschwingzeiten von 1 bis 2 Sekunden und Sollwertgenauigkeiten unter 1 % des Sollwerts übertreffen typische Massenregler mit hohem Durchfluss. Die präzise Steuerung bleibt bis zu 2 % des konfigurierten vollen Durchflussbereichs erhalten. Die Multigas-/Mehrbereichsfähigkeit und Leistungsspezifikationen für Genauigkeit, Regelbereich und Einschwingverhalten minimieren den Bestandsbedarf an Durchflussreglern. Der Zugriff auf die Mehrgas-/Mehrbereichsfunktion und andere benutzerdefinierte Steuerungen erfolgt über die integrierte Diagnoseschnittstelle. Ein Standard-Ethernet-Kabel und ein JAVA-fähiger HTML-Browser sind die einzigen benötigten Werkzeuge. Kritische Gasparameter für typische Gase mit hoher Durchflussrate sind bereits auf dem MFC gespeichert. Konfigurieren Sie einen Massendurchflussregler der G-Serie, indem Sie das Gas aus einem Dropdown-Menü auswählen und den gewünschten Full-Scale-Durchflussbereich angeben. Führen Sie mithilfe der MFC-Diagnoseschnittstelle der G-Serie routinemäßige Gerätezustandsprüfungen durch, zeichnen Sie die Durchflussreaktion auf und speichern Sie Betriebsdaten für die Offline-Analyse.
Weitere Informationen dazuMKS Instruments MFM, N2, 10 SCCM, 15 PIN ANALOG, MFM, LCMA11CS3B310 finden Sie, indem Sie den PDF-Katalog und die Dokumente unten herunterladen. Öffnen Sie einfach das PDF Katalog unten, führen Sie die PDF-Suche aus (Strg F) und suchen Sie nach GM50A013101SB3010.
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