MKS Instruments MFC, AR, 100 SCCM, 9 PIN ANALOG (GEBUNDENE MASSE), NC VITON, LCEA12CS1LV20, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler,  PN  GE50A004102SLV020

Diese MKS Instruments MFC, AR, 100 SCCM, 9 PIN ANALOG (GEBUNDENE MASSE), NC VITON, LCEA12CS1LV20  Teilenummer haben GE50A004102SLV020, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Der digital gesteuerte Massendurchflussregler GE50A ist entweder mit RS485, Profibus, EtherCAT oder DeviceNet I/O erhältlich. Die digitale Steuerelektronik nutzt die neuesten MKS-Steueralgorithmen für eine schnelle und wiederholbare Reaktion auf den Sollwert im gesamten Gerätesteuerbereich. Typische Reaktionszeiten liegen in der Größenordnung von 500 Millisekunden. Die digitale Kalibrierung ergibt eine Sollwertgenauigkeit von 1 für das Kalibriergas. Die E/A-Protokolle sind so konzipiert, dass der GE50A problemlos die RS485- und DeviceNet-Versionen des 1179A MFC von MKS mit geringfügiger Codierung ersetzen kann. Eine standardmäßige Grundfläche von 3 Zoll ermöglicht den Einsatz ohne Änderung bestehender Gasleitungskonfigurationen. Der GE50A verfügt nur über eine externe Elastomerdichtung und einen Elastomer-Ventilstopfen. Alle benetzten Oberflächen sind aus Metall. Der GE50A wird standardmäßig mit Viton-Dichtungen oder optional mit Buna-, Neopren- oder Kalrez-Dichtungen geliefert, um unterschiedliche Gasanforderungen zu erfüllen.

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