Módulo de interfaz Edwards im reconstruido para bomba de vacío de semiconductores iQDP, iH e iL. Ref.: A528-44-463
El módulo de interfaz le permite utilizar su propio equipo de control para controlar el funcionamiento y monitorear el estado de los sistemas de bombeo en seco iH, iL o iQ.
El módulo de interfaz de Edwards está diseñado para usarse con los sistemas de bombeo en seco iQ, iH e iL de Edwards y le permite conectar el sistema de bombeo a otros equipos. Por ejemplo, su herramienta de proceso u otro equipo de control. Este módulo tiene 2 tarjetas de interfaz, la tarjeta de interfaz de herramienta y la tarjeta de interfaz auxiliar. Este es el modelo A528-44-463R. Para obtener instrucciones de instalación, operación y mantenimiento, consulte el Manual de instrucciones .pdf a continuación en DESCARGAS DISPONIBLES.