Válvula de compuerta neumática UHV de 3 posiciones Ideal Vacuum, estrangulada en la tercera posición, con sensores de solenoide y de láminas, 24 V CC, brida CF de 10,0 pulgadas (DN CF200), sello estándar con junta tórica de Viton, cuerpo SUS304

Esta válvula de compuerta de tres posiciones con control de vacío ideal se opera neumáticamente con una brida Conflat CF de 10,0 pulgadas (DN CF200). Tiene una tercera posición que se puede configurar para que se abra parcialmente. Está clasificada para vacío ultraalto (UHV) y viene con un sello de junta tórica de Viton estándar para la compuerta y una junta tórica de Viton o una junta de cobre OFHC para la cubierta con una válvula solenoide controlada neumáticamente. Las válvulas tienen una vida útil típica de 50 000 ciclos antes de necesitar servicio. Están hechas con compuertas y cuerpos de válvula de acero inoxidable 304 resistentes a la corrosión. Este control de tres posiciones proporciona flexibilidad y precisión para mantener las condiciones óptimas para varios procesos de deposición al vacío, particularmente en sistemas de cámaras de proceso de deposición de películas delgadas.

Aplicación en cámaras de recubrimiento por deposición física de vapor
Esta válvula de compuerta de 3 posiciones está diseñada para aplicaciones confiables de alto y ultra alto vacío (UHV) y se usa a menudo en combinación con bombas criogénicas, turbo e iónicas de alto vacío. Se ha encontrado un uso creciente en procesos de vacío estrangulado como la deposición por pulverización catódica con magnetrón PVD. En una cámara de recubrimiento PVD, como en los sistemas de pulverización catódica, a menudo se usa una válvula de compuerta de 3 posiciones para controlar la conexión entre la bomba turbomolecular y la cámara de proceso principal. Estas válvulas de compuerta permiten un control preciso del sistema de vacío y pueden aislar la bomba, proteger la cámara y ajustar la velocidad de bombeo. Las tres posiciones de una válvula de compuerta de 3 posiciones típica son:

1. Posición completamente abierta:
Conductancia máxima, velocidad de bombeo turbo completa, utilizada para la evacuación inicial o para mantener un alto vacío durante la deposición.

2. Parcialmente abierto (posición de estrangulamiento):
Propósito: En la posición parcialmente abierta, la válvula de compuerta solo está parcialmente abierta, lo que limita la conductancia entre la cámara y la bomba turbo. La limitación es importante cuando se trabaja con gases reactivos (por ejemplo, oxígeno o nitrógeno en pulverización reactiva) o cuando se necesita ajustar la presión para un crecimiento óptimo de la película.

Esta posición parcialmente abierta se configura y ajusta manualmente una vez durante la instalación y se puede cambiar en cualquier momento para ejecutar una condición de proceso diferente.

3. Posición completamente cerrada:
Propósito: En la posición completamente cerrada, la válvula de compuerta aísla por completo la bomba turbo de la cámara principal. Caso de uso: Esta posición se utiliza para proteger la bomba turbo durante procesos como la ventilación de la cámara, la carga de muestras de la cámara de bloqueo de carga o cuando la cámara está expuesta a la presión atmosférica. Evita que entren contaminantes o aire atmosférico en la bomba turbo, lo que podría dañarla.

Presupuesto:
Especificaciones y características:

• Material
• Cuerpo
• SUS304
• Carro
• Tipo de conexión: SUS304
• Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304
• Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluido) - SUS304, A6061-T6
• Puerta
• Tipo de conexión: SUS304
• Tipo de bola Tamaño inferior a 10” - SUS304
• Tipo de bola Tamaño superior a 10” (incluida) - A6061-T6
• Fuelle
• AM350
• Ciclo vital
• HV :DN200 - 300.000 ciclos
• UHV: DN200 - 50.000 ciclos
• Tasas de fuga de helio con una diferencia de 1 atm
• <2×10 ^-9 mbar·l/seg para junta tórica
• <5×10 ^-10 mbar·l/seg para sellado de junta
• Temperatura de horneado
• Abierto - 200 °C Sello de capó de Viton
• Cerrado - 150 °C Junta de capó de Viton
• Rango de presión (mbar)
• Alto voltaje: ^1x10-8 ~ 1000
• Ultravioleta: ^1x10-10 ~1000
• Delta P máximo (mbar)
• < 30 antes de abrir
• Sello estándar
• Puerta - Junta tórica de Viton
• Capó - Junta tórica de Viton o junta de cobre OFHC
• Actuador - Neumático
• Suministro de aire comprimido
• Conexión de tubo - 6 mm
• Rango de presión - 4-6 Kg/cm2 (sobrepresión)
• Tratamiento de superficie: pulido escocés
• Opciones
• Indicador de posición
• Electroválvula de control neumático
• Puerto de desbaste
• Otro material Junta tórica de compuerta

Consulte las descargas para obtener más información sobre esta válvula de compuerta y otras configuraciones de válvulas relacionadas.