Bomba de sublimación de titanio (TSP) Agilent Varian Reemplazo de filamento, gases recuperables, 2,75 (2-3/4) pulg. OD Conflat Flange. Número de pieza Agilent Varian 9160050 El cartucho TSP se proporciona en una brida ConFlat de 2-3/4 in OD y contiene tres filamentos de titanio-molibdeno, cada uno con 1,1 gramos de titanio utilizable. El conjunto del cartucho se puede hornear a 400° C. Máximo. Las bombas de sublimación de titanio (TSP) se utilizan normalmente como una forma eficaz de bombear gases recuperables como el hidrógeno y el nitrógeno en los sistemas UHV. Los TSP a menudo se combinan con el bombeo de iones, ya que la bomba de iones es efectiva con gases UHV no recuperables como el argón y el metano. El TSP se puede agregar al interior de la bomba de iones o como una unidad de bombeo separada. Si el TSP se usa junto con un criopanel enfriado con nitrógeno líquido, se logrará una velocidad de bombeo de agua extra alta.
Varian ofrece dos tipos diferentes de bombas de sublimación de titanio: fuentes de bola de titanio y de filamento. Las fuentes de TSP de tipo filamento son las más populares con los sistemas UHV, ya que se pueden apagar entre sublimaciones y, por lo tanto, no agregan desgasificación inducida térmicamente. Las fuentes tipo bola contienen mayores cantidades de titanio, lo que significa una vida útil más larga cuando se operan en condiciones que usan más titanio, como presiones operativas más altas. Sin embargo, las fuentes de bola requieren energía de reserva entre sublimaciones para evitar que se formen grietas en la bola de titanio. Los factores que afectan la eficiencia del bombeo de sublimación de titanio incluyen la tasa de sublimación, la frecuencia, el área superficial y la temperatura. La velocidad de bombeo de sublimación es generalmente un valor constante por debajo de 10 -7 mbar.