Descripción

Este es nuestro sistema de cámara de prueba de vacío TVAC ExploraVAC Standard de alto vacío, ideal para procesos de alto vacío y optimizado para brindar estabilidad y facilidad de uso. Es un sistema de alto vacío totalmente integrado, llave en mano, que cuenta con una gran cámara de vacío de acero inoxidable soldada de 20 pulgadas cúbicas, una puerta de acero inoxidable con bisagras y ventana de visualización y un volumen de 4,6 pies cúbicos. El sistema incluye una bomba turbomolecular Pfeiffer HiPace 300, una bomba de vacío de espiral seca Edwards nXDS20i y un controlador de calibre de microiones y Convectron integrado que proporciona mediciones de presión de cámara de alto vacío y de desbaste. Este sistema TVAC ExploraVAC de alto vacío puede alcanzar una presión máxima de 1x10 ^-7 Torr, pesa 862 libras y requiere una fuente de alimentación monofásica de 208-240 V CA, 50/60 Hz, a 19 amperios.

Las cámaras de alto vacío se utilizan para muchos procesos científicos e industriales. Gran parte de la instrumentación científica se realiza al vacío, especialmente cuando se utilizan haces de electrones u otras partículas cargadas. Los procesos de recubrimiento al vacío de precisión, como la pulverización catódica al vacío, la deposición física en fase de vapor (PVD) y la deposición química en fase de vapor (CVD), se utilizan para aplicar recubrimientos ópticos o protectores muy finos a semiconductores o sustratos ópticos rectificados con precisión. El alto vacío también es necesario para los procesos de grabado de semiconductores de precisión. El alto vacío se puede utilizar para eliminar el agua u otros vapores residuales de muestras extremadamente frías sin deformarlas, como en el caso de la liofilización de muestras biológicas para fines de obtención de imágenes. El alto vacío es necesario para probar componentes o dispositivos preparados para el espacio a fin de determinar que no se desgasificarán cuando se expongan a las presiones extremadamente bajas que se sienten en el espacio exterior. Consulte la descarga en PDF del gráfico de rendimiento a continuación para ver los datos de rendimiento de todas las opciones.

Configuración del sistema de alto vacío ExploraVAC :

Cámara de acero inoxidable soldada en forma de cubo de 20 pulgadas
Puerta frontal de acero inoxidable con ventana de visualización
Bomba turbomolecular Pfeiffer HiPace 300
Bomba de vacío de espiral seca Edwards nXDS20i
Puertos laterales QTY2 LF-200 (permiten agregar una variedad de pasamuros desde cualquier lado de la cámara)

La serie ExploraVAC de instrumentos de proceso y prueba de cámara de vacío térmico TVAC crea entornos precisos que otorgan al operador un control total sobre la presión y la temperatura internas de la cámara. Están diseñados con la innovación en mente. Permiten la exploración de dispositivos prototipo en vacío durante la fase de investigación y desarrollo del producto y el control preciso del proceso en el procesamiento de lotes pequeños. Estos instrumentos de cámara de prueba de vacío térmico están diseñados para permitir a los usuarios adaptar rápidamente los experimentos para recopilar datos de análisis y diagnóstico del producto a medida que el producto se somete a los factores de estrés extremos del vacío y la temperatura.

Las cámaras de prueba de vacío térmico ExploraVAC TVAC son completamente configurables con muchas opciones de sistema disponibles (consulte el configurador de productos arriba).

Opciones de configuración del sistema ExploraVAC :

Bomba de desbaste (bomba de espiral seca o de raíces multietapa secas, varias velocidades)
Alto vacío (varias velocidades)
Control de presión de vacío total
Platina calentada y enfriada
Calefacción de pared de cámara
Iluminación de cámara integrada
Sistema de enfriamiento criogénico refrigerado de circuito cerrado o _LN2
Control automatizado de software
Operación por control remoto
Puertos de purga, estanterías para cámaras y mucho más

Hay una gran selección de cámaras de vacío disponibles para ExploraVAC , incluidas cámaras de acero inoxidable soldadas con tamaños cúbicos (internos) (12, 16, 20 o 24 pulgadas) o cámaras modulares Ideal Vacuum Cube™ con tamaños cúbicos (internos) (9, 12 o 24 pulgadas). Las cámaras se pueden configurar con puertas de aluminio o acero inoxidable, con o sin ventanas de visualización.

El gabinete del sistema TVAC ExploraVAC Standard tiene una superficie de control del panel frontal convenientemente angulada con una interfaz de botones LED de colores que controla todas las funciones de la cámara. Los controladores PID y los medidores se instalan según sea necesario para las opciones seleccionadas por el usuario. Un PLC administra las funciones del sistema, incluida la secuenciación de bombas y válvulas para ciclos de vaciado eficientes y enclavamientos de seguridad para evitar daños en el equipo. El gabinete estilo NEMA integrado y accesible desde el frente alberga los componentes electrónicos necesarios para el funcionamiento del sistema.

Hay disponible un puerto lateral espacioso para el LF-200 para accesorios seleccionados o diseñados por el usuario, como un paso de cables para monitorización de dispositivos o pruebas de impacto, un conjunto de lámparas infrarrojas para pruebas de calentamiento radiante o diferencial de temperatura, o un conjunto de lámparas ultravioleta para pruebas de radiación ionizante. Este sistema se puede personalizar para obtener cualquier tasa de aumento deseada agregando bombas de vacío adicionales montadas fuera del gabinete.

La parte posterior del gabinete contiene un panel de alimentación de mamparo para la ventilación de la cámara, el escape de la bomba y la opción de gas de purga. Un panel posterior de alimentación digital tiene varios puertos, incluido un conector DB9 para ejecutar el sistema de forma remota desde una estación de trabajo o una computadora portátil que ejecute Microsoft Windows 10 o 11 con nuestro software Auto Explor ™.

La versión básica (sin vencimiento) de AutoExplor (P1012102) permite al usuario controlar manualmente los dispositivos mientras protege el sistema. AutoExplor secuencia las bombas correctamente y opera automáticamente las válvulas correctas para una solicitud determinada. El usuario puede programar puntos de ajuste de presión y temperatura, tasas de rampa, tiempos de remojo y ventilación (si el sistema está equipado con esas opciones de hardware). El software proporciona transmisión de datos gráficos en tiempo real para que el usuario pueda visualizar el comportamiento del sistema. AutoExplor mantiene un programa interno de mantenimiento preventivo y notifica al usuario cuando se debe realizar un servicio al sistema. Por ejemplo, notifica cuándo se necesitan reemplazos de sellos de punta de bomba de espiral y cuándo se debe calibrar el sensor. Esto ayuda a mantener el sistema en un rendimiento operativo máximo. También proporciona mensajes de falla y error junto con información específica para la resolución de problemas en caso de una falla del dispositivo para que el problema se pueda corregir lo antes posible.

La versión premium de AutoExplor (P1012100) incluye todas las características del paquete de software básico (arriba) y agrega control automatizado de recetas, registro de datos y capacidades de exportación de registros. Se pueden crear recetas de prueba complejas como un proceso paso a paso, donde cada paso puede controlar el estado de encendido/apagado, los puntos de ajuste y las tasas de rampa de múltiples dispositivos. Se pueden establecer una o varias condiciones finales para cada paso de la receta utilizando operadores lógicos. La versión premium permite al usuario generar rápidamente informes de pruebas de TVAC ambientales a partir de archivos de registro de datos de recetas. Los registros se pueden revisar para garantizar que se alcancen los parámetros de proceso objetivo. La versión premium también incluye AutoExplor IP Client , que le da al software la capacidad de usarse como un host que puede administrar múltiples clientes de red externos, y AutoExplor API (interfaz de programación de aplicaciones), que permite a un científico o programador integrar un instrumento ExploraVac en su suite de pruebas de software existente sin usar la interfaz de software de AutoExplor . La versión premium debe renovarse anualmente o vuelve a la versión básica.

La serie ExploraVAC de cámaras de prueba TVAC con control de temperatura y presión son una solución perfecta para muchos requisitos de pruebas de productos.

Aplicaciones de muestra