Transductor piezoeléctrico absoluto MKS HPS® serie 910 DualTrans™ Micropirani, KF16, RS485, PN 910-12030 El transductor de vacío piezoeléctrico absoluto/MicroPirani™ DualTrans™ 910-12030 está diseñado específicamente para aplicaciones de medición de presión de amplio rango y cuenta con un accesorio de brida ISO-KF de tamaño NW16. La salida combinada proporciona una precisión, estabilidad y repetibilidad significativamente mayores y un tiempo de respuesta más rápido que los medidores de conductividad térmica convencionales. El 910 combina dos tecnologías de medición de presión para proporcionar un rendimiento y una funcionalidad superiores. El 910 proporciona una medición de presión absoluta independiente del gas de 11 a 1500 Torr con mayor precisión que los sensores de conductividad térmica. A diferencia de los medidores Pirani tradicionales, el elemento sensor del MicroPirani está hecho de un chip de silicio de un milímetro cuadrado, lo que permite realizar las mediciones en un volumen muy pequeño. Como resultado de la tecnología MicroPirani, el 910 puede leer presiones de hasta 10-5 Torr, dos décadas por debajo de un sensor Pirani estándar. El diseño del sensor minimiza los efectos de la convección, por lo que el 910 se puede montar en cualquier orientación sin comprometer la precisión.
El piezoeléctrico es un sensor de presión absoluta que proporciona una lectura de presión directa, lo que permite que la medición sea independiente del gas. El sensor piezoeléctrico mide desde menos de 1 Torr hasta 1500 Torr. El 910 tiene una interfaz de comunicación digital RS485 para configurar los parámetros del transductor y proporcionar mediciones de presión en tiempo real. El 910 también tiene una salida de presión analógica de 1 VCC/década que se puede interconectar con equipos analógicos externos para lectura o control de presión. Se pueden seleccionar otras salidas y curvas analógicas a través de la interfaz de usuario digital. El 910 tiene tres relés mecánicos que se pueden usar para el control de procesos, por ejemplo, válvulas de aislamiento de enclavamiento y bombas de vacío. Cada punto de ajuste se puede asignar a la medición piezoeléctrica o a la medición absoluta MicroPirani/Piezo combinada. El diseño compacto del 910 reduce significativamente la cantidad de espacio que ocupa un vacuómetro. Esto es particularmente atractivo para los diseñadores de sistemas y permite un sistema de vacío más compacto.