Módulo Micro TIM Edwards Novellus C3
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Novellus C3 Micro TIM proporciona una interfaz de herramientas para plataformas Novellus C3 para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Novellus C3 Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. Novellus C3 Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards.
- Serie EPX
- Serie iGX
- Serie GX
- Serie iXH
- Serie iXL
- También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador de sistema.
Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control.
Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.