Analizador de gases residuales (RGA) AnalyzaVAC TM de Ideal Vacuum, 1-200 UMA, multiplicador de electrones y detector de copa de Faraday, software básico AutoZ+ incluido.
Este listado es para la venta del analizador de gases residuales Ideal Vacuum AnalyzaVAC con los siguientes componentes:
- Analizador de vacío ideal AnalyzaVAC RGA
- Rango de escaneo de 1-200 AMU.
- Amplificador de señal multiplicador de electrones.
- Detector de copa Faraday.
- Manómetro Pirani incorporado para medición de vacío aproximado.
- Medidor de iones de cátodo caliente incorporado para medición de alto vacío.
- Brida de montaje Conflat (CF) de 2,75”.
También incluye:- Fuente de alimentación universal de 24 VCC (entrada de 120/240 VCA) y cable de 6'.
- Cable de comunicación serial USB a DB-9 macho RS-232, 1' de largo.
- Cable de extensión serial RS-232 macho DB-9 a hembra, 25' de largo.
- Kit de juntas y pernos de cobre CF 2,75”.
- Versión básica del software Ideal Vacuum AutoZ + .
El AnalyzaVAC RGA de Ideal Vacuum es un espectrómetro de masas compacto que puede ayudar a determinar la identidad y concentración de gases residuales dentro de una cámara de vacío. Se puede utilizar para detección de fugas, análisis de desgasificación, control de calidad del gas de alimentación en aplicaciones de recubrimiento y grabado, resolución de problemas de procesos y más. La sonda AnalyzaVAC RGA tiene un manómetro Pirani incorporado y un manómetro de cátodo caliente Bayard Alpert que la protegen de operar a presiones inadecuadamente altas, lo que reduce la complejidad del sistema y evita un mantenimiento costoso. Cada sistema viene completo con una sonda cuadrupolo, unidad de control y comunicaciones (CCU), software AutoZ
+ Basic para Microsoft Windows® 10 y todos los cables necesarios para alimentación y comunicación.
El AnalyzaVAC funciona ionizando los gases presentes en la punta de la sonda mediante electrones emitidos termoiónicamente por filamentos de iridio toriado reemplazables por campo dual. Los cationes resultantes se separan por la relación masa-carga mediante una combinación de frecuencias de radio variables y voltajes de CC aplicados al filtro cuadrupolo. Los iones con carga positiva viajan por el centro del cuadrupolo y son amplificados por un multiplicador de electrones o detectados directamente por el detector de copa de Faraday en el extremo de la sonda. Cada gas produce una huella espectral única que es una combinación de la abundancia isotópica natural de sus elementos y la fragmentación molecular causada por la ionización electrónica de alta energía del RGA.
El RGA está diseñado para funcionar de forma continua a presiones totales inferiores a 1×
10-6 Torr y, de forma óptima, alrededor de 2×
10-7 Torr. El funcionamiento del RGA a presiones más altas reduce drásticamente la vida útil del ionizador, el filamento y el cuadrupolo. Los manómetros integrados se utilizan tanto internamente como en el software AutoZ
+ para evitar daños fatales al RGA (en la mayoría de los casos).
Si bien la sonda RGA se puede montar directamente en una cámara de alto vacío, lo mejor es aislar la RGA de la cámara mediante un tramo de tubo y una válvula de aislamiento. Esto evita la contaminación o daños accidentales cuando se ventila la cámara o cuando se introduce una nueva muestra o equipo. Si la RGA se utiliza para medir gases en una cámara de vacío preliminar, se debe mantener en una pequeña cámara separada con su propio sistema de bombeo de alto vacío conectado a la cámara principal a través de una válvula de fuga. Ideal Vacuum ofrece kits RGA con todo el equipo necesario para medir gases de forma segura a presiones de hasta 1000 torr.
Todas las sondas AnalyzaVAC cuentan con un detector de copa Faraday que proporciona una detección cuantitativa, repetible y altamente lineal de hasta 1,5×
10-12 Torr
* . El multiplicador de electrones opcional aumenta la sensibilidad a unos asombrosos 6×
10-15 Torr
* para mediciones cualitativas. Tanto el detector estándar como el equipado con multiplicador de electrones tienen una resolución de 0,5 AMU a una altura de pico del 10 % (o mejor) cuando están calibrados correctamente.
El software básico AutoZ
+ de Ideal Vacuum, que no caduca, es una aplicación para Windows 10 que puede controlar cualquier sistema RGA de AnalyzaVAC desde una computadora de escritorio o portátil. AutoZ
+ le brinda al operador el poder de controlar todos los parámetros de adquisición. AutoZ
+ proporciona transmisión de datos en tiempo real y permite a los usuarios ver los datos recopilados como un espectro analógico, un histograma de masas y tendencias a lo largo del tiempo. Para eliminar picos no deseados y contribuciones espectrales, un usuario puede usar espectros recopilados previamente como datos de referencia.
La actualización de software premium opcional AutoZ
+ de Ideal Vacuum incluye todas las características del software básico y agrega registro de datos avanzado, promediado, ajuste espectral con acceso a la biblioteca de sustancias de Ideal Vacuum y la capacidad de agregar compuestos adicionales a la biblioteca. Premium AutoZ
+ utiliza un poderoso algoritmo de mínimos cuadrados para calcular las presiones parciales de los gases residuales comunes, identifica su contribución al espectro que se muestra actualmente y aísla los picos desconocidos. El software premium debe renovarse anualmente o se vuelve a la versión básica.
Algunas aplicaciones de RGA:- Prueba de fugas
- Monitoreo de procesos
- Monitoreo de bombeo y horneado
- Diagnóstico de vacío
- Control de calidad del gas de alimentación
- Identificación de gases y contaminantes
Por favor, lea atentamente antes de realizar el pedido:
* La sonda AnalyzaVAC es un instrumento delicado. El uso inadecuado, la manipulación incorrecta de la sonda o el funcionamiento a presiones elevadas durante períodos prolongados pueden contaminarla y dañarla. Por lo tanto, la sonda no tiene garantía una vez que se saca de su embalaje original. Para cualquier otro componente, la garantía cubre defectos del producto.
La presión operativa total óptima del RGA es de 2× 10-7 Torr para la mayoría de los gases. El funcionamiento a presiones más altas durante períodos prolongados provocará un envejecimiento prematuro de la sonda, pérdida de ganancia, deriva espectral y desgaste del filamento y del ionizador. El RGA se puede utilizar en las siguientes regiones de presión durante los períodos de tiempo correspondientes:
10 -4 Torr, varias horas
10 -5 Torr, varios días
10 -6 Torr, varios meses
10 -7 Torr, varios años
10 -8 Torr, indefinidamente
Los vapores orgánicos deben mantenerse a una presión dos veces menor que la de los gases atmosféricos para evitar la contaminación por hollín del filamento y el ionizador. Los vapores de silicona deben mantenerse a presiones al menos diez veces menores que las de los gases atmosféricos para evitar la acumulación de vidrio en el filamento y el ionizador. Los vapores corrosivos también son más dañinos para el RGA que los gases normales. Si se controla adecuadamente la presión, el RGA se puede utilizar para medir estos gases sin incurrir en reparaciones costosas.
** Medido con gas nitrógeno, tiempo de permanencia de 5 segundos, ancho de pico completo de 1 amu, altura del 10 %, energía de electrones de 70 eV, energía de iones de 6 eV y emisión de electrones de 2 mA, y calculando tres desviaciones estándar del ruido de referencia.