Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Bomba criogénica de semiconductores de vacío ultraalto, no integrada, LF ISO 250, trifásica, reconstruida

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Criobomba de semiconductores de vacío ultraalto, LF ISO 250, trifásica, reconstruida, 6500 l/s de agua, 2200 l/s de aire, 1800 l/s de argón, reconstruida. Número de pieza de Edwards CTI Brooks: 8116086G002. La criobomba de tres (3) fases CTI-Cryogenics (ahora Edwards) Cryo-Torr OB250F de Edwards está especialmente diseñada y construida para un rendimiento mejorado y requisitos de espacio reducido para su uso en la industria de semiconductores. Esta bomba criogénica tiene una brida de entrada ISO 250 y una brida de bomba preliminar KF-25 estándar. Tiene una capacidad de 10-8 Torr de ultra alto vacío (UHV) con velocidades nominales de bombeo de: Agua ………. 6500 l/seg Aire ………..…. 2200 l/s Hidrógeno ..…. 3200 l/seg Argón ………. 1800 l/seg. Esta bomba trifásica Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F funciona SOLAMENTE con alimentación trifásica. La energía eléctrica es suministrada por un controlador de motor trifásico CTI especial. La criobomba trifásica Cryo-Torr 250F de CTI no expone piezas móviles, fluidos operativos ni bombas de respaldo al vacío, lo que elimina la posibilidad de reflujo del sistema o contaminación del proceso desde la propia criobomba.