Cable EMO de Edwards para instalar una bomba de semiconductores secos de la serie iXL o iXH de estilo nuevo en una herramienta con bombas de la serie iH de estilo antiguo existentes

Ideal Vacuum suministra nuestro propio cable de interfaz, que permite reemplazar una bomba de la serie iH de estilo antiguo con el estilo IXL120N, iXH100 o iXH610. Este cableado EMO es útil para aplicaciones en las que una herramienta de semiconductores tiene varias bombas iH de estilo antiguo conectadas en la subfabricación. Este cable del módulo de interfaz continúa el circuito EMO a través de las bombas iH de estilo antiguo restantes y a través de la bomba de reemplazo iXL120N de estilo nuevo. Las conexiones y los diferentes módulos de interfaz se describen en detalle a continuación. Este cable generalmente se conecta desde P2 (salida) de iTIM en el lado izquierdo de iH, al conector de parada de emergencia (EMS) en iXL120N, a J1 (entrada) de iTIM en el lado derecho de la bomba iH (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación en formato pdf) .

El problema es que las bombas de la serie Edwards iH ahora están descontinuadas y ya no están disponibles. Ideal Vacuum almacena las bombas de repuesto, iXL120N para bloqueo de carga, iXH100 (reemplaza a iH80), iXH610 (reemplaza a iH600), etc. La nueva bomba iXL120N no tiene un botón EMO en la parte delantera como las bombas IH de estilo antiguo (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación). El iTIM de Edwards a menudo se configuraba con bombas de vacío de semiconductores secos de la serie iH de Edwards de estilo más antiguo, en las que se conectaban varias bombas a una sola herramienta de semiconductores en la subfabricación. El cableado EMO está configurado para apagar la herramienta si se presiona un EMO en cualquiera de las bombas de la serie iH; por lo general, están cableados en serie, en una configuración de cadena tipo margarita.