El Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA es un espectrómetro de masas compacto que puede ayudar a determinar la identidad y concentración de gases residuales dentro de una cámara de vacío. Se puede utilizar para detección de fugas, análisis de desgasificación, control de calidad del gas de alimentación en aplicaciones de recubrimiento y grabado, resolución de problemas de procesos y más.

El RGA, conectado directamente a una cámara, está diseñado para funcionar de forma continua a presiones totales inferiores a 1× ^10-6 Torr y, de forma óptima, alrededor de 2× ^10-7 Torr. El funcionamiento del RGA a presiones más altas reduce drásticamente la vida útil del ionizador, el filamento y el cuadrupolo. Los manómetros integrados del AnalyzaVAC se utilizan tanto internamente como en el software AutoZ ⁺ incluido para evitar daños fatales al RGA (en la mayoría de los casos).

Para medir gases en una cámara a presión atmosférica o de vacío medio, el RGA debe colocarse en una cámara pequeña separada con su propio sistema de bombeo de alto vacío. El sistema de vacío del RGA se conecta a la cámara a través de una válvula de fuga que permite al RGA tomar muestras de gases en la cámara principal mientras mantiene un alto vacío alrededor de la delicada sonda cuadripolar.

Este kit contiene todo lo que necesita para utilizar un RGA para medir gases a presiones más altas.

Componentes y características:

• Análisis de vacío ideal VAC RGA.
• Rango de escaneo de 1 a 100 AMU.
• Detector de copa Faraday.
• El manómetro Pirani incorporado evita que el RGA se encienda a altas presiones.
• Medidor de iones de cátodo caliente incorporado para una rápida medición de presión de alto vacío.
• Estación de bombeo turbomolecular Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS con operación de alto vacío con un solo interruptor.
• La válvula de fuga variable manual de Agilent permite el muestreo RGA de cámaras desde 1000 Torr hasta alto vacío.
• Colector soldado con sellos totalmente metálicos para una mínima contaminación de la medición proveniente de otras fuentes de gas.
• Versión básica del software Ideal Vacuum AutoZ ⁺ .

La combinación de la estación de bombeo Agilent Varian TPS-mini con la válvula de fuga variable manual de Agilent permite un muestreo preciso de gases de cámaras que abarcan al menos 9 órdenes de magnitud de presión. Sin embargo, un único punto de ruptura de la válvula de aislamiento no es adecuado para todas las presiones dentro del rango. Para obtener mejores resultados, la válvula debe restablecerse manualmente siempre que se cambie la presión de la cámara. Si la presión de la cámara va a aumentar más de 1 orden de magnitud en comparación con la presión de funcionamiento actual (es decir, durante una purga de la cámara), la válvula de fuga debe cerrarse primero para evitar daños al RGA y al sistema de bombeo. Una vez que la cámara alcanza una presión estable, el ionizador RGA debe apagarse y la válvula debe reabrirse hasta que se alcance la presión deseada dentro del subsistema RGA. Luego, el ionizador RGA puede volver a encenderse y reanudar la medición.

Para mantener la válvula de fuga en un determinado punto de grieta a través de ciclos de presión, el RGA se puede aislar de la cámara utilizando una válvula de fuelle manual CF de 1,33 pulg. adicional.

Acerca del analizador de vacío ideal AnalyzaVac RGA:

El AnalyzaVAC funciona ionizando los gases presentes en la punta de la sonda mediante electrones emitidos termoiónicamente por filamentos de iridio toriado reemplazables por campo dual. Los cationes resultantes se separan por la relación masa-carga mediante una combinación de frecuencias de radio variables y voltajes de CC aplicados al filtro cuadrupolo. Los iones con carga positiva viajan por el centro del cuadrupolo y son amplificados por un multiplicador de electrones o detectados directamente por el detector de copa de Faraday en el extremo de la sonda. Cada gas produce una huella espectral única que es una combinación de la abundancia isotópica natural de sus elementos y la fragmentación molecular causada por la ionización electrónica de alta energía del RGA.

Todas las sondas AnalyzaVAC cuentan con un detector de copa Faraday que proporciona una detección cuantitativa, repetible y altamente lineal de hasta 1,5× ^10-12 Torr ^* . El multiplicador de electrones opcional aumenta la sensibilidad a unos asombrosos 6× ^10-15 Torr ^* para mediciones cualitativas. Tanto los detectores estándar como los equipados con multiplicador de electrones tienen una resolución de 0,5 AMU a una altura de pico del 10 % (o mejor) cuando están calibrados correctamente.

El software básico AutoZ ⁺ de Ideal Vacuum, que no caduca, es una aplicación para Windows 10 que puede controlar cualquier sistema RGA de AnalyzaVAC desde una computadora de escritorio o portátil. AutoZ ⁺ le brinda al operador el poder de controlar todos los parámetros de adquisición. AutoZ ⁺ proporciona transmisión de datos en tiempo real y permite a los usuarios ver los datos recopilados como un espectro analógico, un histograma de masas y tendencias a lo largo del tiempo. Para eliminar picos no deseados y contribuciones espectrales, un usuario puede usar espectros recopilados previamente como datos de referencia.

La actualización de software premium opcional AutoZ ⁺ de Ideal Vacuum incluye todas las características del software básico y agrega registro de datos avanzado, promediado, ajuste espectral con acceso a la biblioteca de sustancias de Ideal Vacuum y la capacidad de agregar compuestos adicionales a la biblioteca. Premium AutoZ ⁺ utiliza un poderoso algoritmo de mínimos cuadrados para calcular las presiones parciales de los gases residuales comunes, identifica su contribución al espectro que se muestra actualmente y aísla los picos desconocidos. El software premium debe renovarse anualmente o se vuelve a la versión básica.

Algunas aplicaciones de RGA:

• Prueba de fugas
• Monitoreo de procesos
• Monitoreo de bombeo y horneado
• Diagnóstico de vacío
• Control de calidad del gas de alimentación
• Identificación de gases y contaminantes

* La sonda AnalyzaVAC es un instrumento delicado. El uso inadecuado, la manipulación incorrecta de la sonda o el funcionamiento a presiones elevadas durante períodos prolongados pueden contaminarla y dañarla. Por lo tanto, la sonda no tiene garantía una vez que se saca de su embalaje original.
El Agilent TPS Mini Turbo cuenta con garantía completa del fabricante. La garantía de cualquier otro componente cubre defectos del producto.

La presión operativa total óptima del RGA es de 2× ^10-7 Torr para la mayoría de los gases. La presión externa puede ser mucho más alta siempre que se reduzca dentro del sistema RGA mediante el uso de la válvula de fuga variable y el sistema de bomba turbo. El funcionamiento a presiones más altas del sistema RGA durante períodos prolongados dará como resultado un envejecimiento prematuro de la sonda, pérdida de ganancia, deriva espectral y desgaste del filamento y del ionizador. El RGA se puede utilizar en las siguientes regiones de presión durante los períodos de tiempo correspondientes:
10 ^-4 Torr, varias horas
10 ^-5 Torr, varios días
10 ^-6 Torr, varios meses
10 ^-7 Torr, varios años
10 ^-8 Torr, indefinidamente
Los vapores orgánicos deben mantenerse a una presión dos veces menor que la de los gases atmosféricos para evitar la contaminación por hollín del filamento y el ionizador. Los vapores de silicona deben mantenerse a presiones al menos diez veces menores que las de los gases atmosféricos para evitar la acumulación de vidrio en el filamento y el ionizador. Los vapores corrosivos también son más dañinos para el RGA que los gases normales. Si se controla adecuadamente la presión, el RGA se puede utilizar para medir estos gases sin incurrir en reparaciones costosas.

* Medido con gas nitrógeno, tiempo de permanencia de 5 segundos, ancho de pico completo de 1 amu, altura del 10 %, energía de electrones de 70 eV, energía de iones de 6 eV y emisión de electrones de 2 mA, y cálculo de tres desviaciones estándar a partir del ruido de referencia.