Cibles de pulvérisation magnétron circulaires à vide idéales, cible de pulvérisation CHROME - Cr, diamètre de 3'' x épaisseur de 0,25", pureté de 99,95 pour cent

Ce produit est une cible de pulvérisation CHROME - Cr magnétron circulaire, d'un diamètre de 3'' x 0,25" d'épaisseur. Il est pur à 99,95 %.

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CHROME - Cr

Les cibles de pulvérisation de chrome (Cr) sont largement utilisées dans les revêtements à couches minces en raison des excellentes propriétés mécaniques, chimiques et optiques du chrome. Voici un résumé concis des cibles de pulvérisation de chrome dans les revêtements à couches minces :

1. Propriétés matérielles :
Dureté élevée : le chrome est un matériau très dur, ce qui le rend idéal pour les films minces qui nécessitent résistance à l'usure et durabilité.
Résistance à la corrosion : le chrome présente une excellente résistance à la corrosion, en particulier dans les environnements difficiles, ce qui le rend utile pour les revêtements protecteurs.
Promoteur d'adhérence : Les films minces de chrome sont souvent utilisés pour améliorer l'adhérence entre différentes couches, en particulier dans les revêtements multicouches.

2. Méthodes de dépôt :
Pulvérisation CC : le chrome est un matériau conducteur, c'est pourquoi la pulvérisation magnétron CC est couramment utilisée pour le dépôt, garantissant des taux de dépôt élevés et des films uniformes.
Pulvérisation RF : La pulvérisation RF peut être utilisée dans des applications spécialisées, notamment dans des environnements réactifs pour former des composés de chrome.
Pulvérisation réactive : le chrome est souvent pulvérisé en présence de gaz réactifs (par exemple, l'oxygène ou l'azote) pour former de l'oxyde de chrome (Cr2O3) ou du nitrure de chrome (CrN), qui ont des utilisations spécifiques.

3. Applications :
Revêtements décoratifs : le chrome est utilisé dans les films minces décoratifs pour des articles tels que les montres, les bijoux et les garnitures automobiles en raison de sa finition brillante et réfléchissante et de sa durabilité.
Revêtements protecteurs : les films minces de chrome offrent une résistance à l'usure et une protection contre la corrosion, ce qui les rend idéaux pour les outils, les pièces de machines et les équipements de traitement chimique.
Microélectronique : le chrome est utilisé dans les résistances à couches minces, les contacts électriques et les barrières de diffusion dans les dispositifs semi-conducteurs en raison de sa stabilité et de sa conductivité.
Revêtements optiques : Les films minces de chrome sont utilisés dans les revêtements réfléchissants et les revêtements antireflets pour les dispositifs optiques, les miroirs et les filtres.
Revêtements durs : Les composés de chrome tels que le nitrure de chrome (CrN) sont utilisés dans les revêtements durs pour les outils de coupe, les surfaces résistantes à l'usure et les pièces mécaniques.

4. Propriétés du film :
Résistance mécanique : Les films minces de chrome sont durs et durables, offrant une excellente protection dans les applications exigeantes telles que l'outillage et les équipements industriels.
Résistance à la corrosion : les films de chrome résistent à l’oxydation et à la corrosion, ce qui les rend idéaux pour les revêtements protecteurs dans les environnements chimiques difficiles.
Adhérence : Le chrome est souvent utilisé comme couche d’adhérence dans les revêtements multicouches, aidant à lier les métaux, le verre et d’autres matériaux.
Réflectivité optique : Les films minces de chrome offrent une bonne réflectivité et sont utilisés dans les revêtements optiques et décoratifs pour leur aspect métallique brillant.

5. Dépôt réactif :
Oxyde de chrome (Cr2O3) : Formé par pulvérisation réactive dans un environnement d'oxygène, l'oxyde de chrome est utilisé pour sa dureté, sa résistance à l'usure et sa protection contre la corrosion dans les applications hautes performances.
Nitrure de chrome (CrN) : Formé par pulvérisation de chrome dans une atmosphère d'azote, le CrN est utilisé dans les revêtements durs pour les outils de coupe et d'autres applications résistantes à l'usure.

6. Défis :
Empoisonnement de la cible : dans les processus de pulvérisation réactive (par exemple, formation de Cr2O3 ou de CrN), un empoisonnement de la cible peut se produire, réduisant l'efficacité de la pulvérisation en formant des composés non métalliques sur la surface de la cible.
Contrainte du film : les films de chrome peuvent développer des contraintes internes lors du dépôt, affectant l'adhérence du film et les propriétés mécaniques, en particulier dans les couches épaisses.

Résumé:
Les cibles de pulvérisation de chrome (Cr) sont largement utilisées dans les revêtements à couches minces pour les couches protectrices, les finitions décoratives, les revêtements optiques et la microélectronique en raison de leur dureté élevée, de leur résistance à la corrosion et de leurs excellentes propriétés d'adhérence. La pulvérisation CC est généralement utilisée pour un dépôt efficace de chrome, tandis que la pulvérisation réactive permet la formation de composés comme l'oxyde de chrome (Cr2O3) et le nitrure de chrome (CrN), qui sont utilisés dans les revêtements durs pour les outils de coupe et d'autres applications exigeantes. Les films de chrome offrent une combinaison de durabilité, de protection et de propriétés réfléchissantes, ce qui les rend polyvalents pour un large éventail d'industries.

Remarques :
Il est recommandé d'utiliser des plaques de support métalliques ou élastomères pour tous les matériaux cibles diélectriques, car ces matériaux présentent des caractéristiques qui ne se prêtent pas à la pulvérisation cathodique, telles que la fragilité et une faible conductivité thermique. Ces cibles sont plus sensibles aux chocs thermiques en raison de leur faible conductivité thermique et peuvent donc nécessiter des procédures spécifiques de montée et de descente en puissance lors des étapes de démarrage et d'arrêt.