Pompes à sublimation en titane Agilent Varian (TSP) Filament 2.75 in Conflat Bride. RÉF 9160050

La cartouche TSP est fournie sur une bride ConFlat de 2-3/4 pouces de diamètre extérieur et contient trois filaments de titane-molybdène, chacun avec 1,1 gramme de titane utilisable. L'ensemble cartouche est étuvable à 400°C. Maximum. Les pompes à sublimation en titane (TSP) sont généralement utilisées comme moyen efficace de pomper des gaz sorbables tels que l'hydrogène et l'azote dans les systèmes UHV. Les TSP sont souvent associés au pompage ionique, car la pompe ionique est efficace avec des gaz UHV non absorbables tels que l'argon et le méthane. Le TSP peut être ajouté à l'intérieur de la pompe ionique ou en tant qu'unité de pompage séparée. Si le TSP est utilisé en conjonction avec un panneau cryogénique refroidi à l'azote liquide, une vitesse de pompage d'eau très élevée sera atteinte.

Varian propose deux types différents de pompes à sublimation en titane : les sources à filament et à bille en titane. Les sources TSP de type filament sont les plus populaires avec les systèmes UHV car elles peuvent être désactivées entre les sublimations et n'ajoutent donc pas de dégazage induit thermiquement. Les sources de type bille contiennent de plus grandes quantités de titane, ce qui signifie une durée de vie plus longue lorsqu'elles sont utilisées dans des conditions qui utilisent plus de titane, telles que des pressions de fonctionnement plus élevées. Cependant, les sources à billes nécessitent une alimentation de secours entre les sublimations pour empêcher la formation de fissures dans la bille en titane. Les facteurs affectant l'efficacité du pompage par sublimation du titane comprennent le taux de sublimation, la fréquence, la surface et la température. La vitesse de pompage de sublimation est généralement une valeur constante inférieure à 10 ^-7 mbar.