Vanne à guillotine pneumatique à 3 positions Ideal Vacuum UHV, 3e position étranglée, avec solénoïde et capteurs Reed, 24 V CC, bride CF 10,0 pouces (DN CF200), joint torique standard en Viton, 1 x 10-10 mbar, corps SUS304, 50 000 cycles Bride boulonnée CF 10,0 pouces avec filetages 5/16-24 UNF Cette vanne à guillotine à 3 positions Ideal Vacuum est à commande pneumatique avec une bride Conflat CF 10,0 pouces (DN CF200). Elle possède une 3e position qui peut être réglée pour s'ouvrir partiellement. Elle est conçue pour le vide ultra-élevé (UHV) et est livrée avec un joint torique Viton standard pour la guillotine et un joint torique Viton ou un joint en cuivre OFHC pour le capot avec une électrovanne à commande pneumatique. Les vannes ont une durée de vie typique de 50 000 cycles avant de nécessiter un entretien. Ils sont fabriqués avec des portes et des corps de vanne en acier inoxydable 304 résistant à la corrosion. Cette commande à 3 positions offre flexibilité et précision dans le maintien de conditions optimales pour divers processus de dépôt sous vide, en particulier dans les systèmes de chambres de traitement de dépôt de couches minces. Application dans les chambres de revêtement par dépôt physique en phase vapeur Cette vanne à guillotine à 3 positions est conçue pour des applications fiables sous vide élevé et ultra-élevé (UHV) et est souvent utilisée en combinaison avec des pompes à vide cryogénique, turbo et ionique à vide élevé. Il a trouvé une utilisation accrue dans les processus sous vide étranglé comme le dépôt par pulvérisation magnétron PVD. Dans une chambre de revêtement PVD, comme dans les systèmes de pulvérisation cathodique, une vanne à guillotine à 3 positions est souvent utilisée pour contrôler la connexion entre la pompe turbomoléculaire et la chambre de traitement principale. Ces vannes à guillotine permettent un contrôle précis du système de vide et peuvent isoler la pompe, protéger la chambre et régler la vitesse de pompage. Les trois positions d'une vanne à guillotine à 3 positions typique sont : 1. Position complètement ouverte : conductance maximale, vitesse de pompage turbo complète, utilisée pour l'évacuation initiale ou pour maintenir un vide élevé pendant le dépôt. 2. Partiellement ouvert (position d'étranglement) : Objectif : En position partiellement ouverte, la vanne à guillotine n'est que partiellement ouverte, étranglant la conductance entre la chambre et la turbopompe. L'étranglement est important lorsque vous travaillez avec des gaz réactifs (par exemple, l'oxygène ou l'azote dans la pulvérisation réactive) ou lorsque vous devez régler avec précision la pression pour une croissance optimale du film. Cette position partiellement ouverte est réglée et ajustée manuellement une fois pendant l'installation et peut être modifiée à tout moment pour exécuter une condition de processus différente. 3. Position entièrement fermée : Objectif : En position entièrement fermée, la vanne à guillotine isole complètement la turbopompe de la chambre principale. Cas d'utilisation : Cette position est utilisée pour protéger la turbopompe pendant des processus tels que la ventilation de la chambre, le chargement d'échantillons de chambre à sas de chargement ou lorsque la chambre est exposée à la pression atmosphérique. Il empêche les contaminants ou l'air atmosphérique de pénétrer dans la turbopompe, ce qui pourrait l'endommager. Spécifications : Spécifications et caractéristiques : Matériau Corps SUS304 Type de liaison du chariot - SUS304 Type de bille Taille inférieure à 10 po - SUS304 Type de bille Taille supérieure à 10 po (incluse) - SUS304, A6061-T6 Type de liaison de la porte - SUS304 Type de bille Taille inférieure à 10 po - SUS304 Type de bille Taille supérieure à 10 po (incluse) - A6061-T6 Soufflet AM350 Cycle de vie HV : DN200 - 300 000 cycles UHV : DN200 - 50 000 cycles Taux de fuite d'hélium à une différence de 1 atm < 2 × 10-9 mbar·l/sec pour le joint torique < 5 × 10-10 mbar·l/sec pour le joint d'étanchéité Température de cuisson Ouvert - 200 °C Joint de chapeau en Viton Fermé - 150 °C Joint de chapeau en Viton Plage de pression (mbar) HV : 1x10-8 ~ 1000 UHV : 1x10-10 ~1000 Delta P maximum (mbar) < 30 avant ouverture Joint standard Guillotine - Joint torique Viton Chapeau - Joint torique Viton ou joint en cuivre OFHC Actionneur - Pneumatique Alimentation en air comprimé Raccord de tube - 6 mm Plage de pression - 4-6 kg/cm2 (surpression) Traitement de surface - Poli Scotch Options Indicateur de position Électrovanne de commande pneumatique Port d'ébauche Autre matériau Joint torique de la guillotine Veuillez consulter les téléchargements pour plus d'informations sur cette vanne à guillotine et d'autres configurations de vannes associées.

Vanne à guillotine pneumatique à 3 positions Ideal Vacuum, étranglée en 3ème position, avec solénoïde et capteurs Reed, 24 V CC, bride ISO-F 200 (DN 200), joint torique standard en Viton, 1 x 10-8 Torr, corps SUS304, 300 000 cycles Cette vanne à guillotine à 3 positions Ideal Vacuum est à commande pneumatique avec une bride ISO-F 200 (DN CF200). Elle possède une 3ème position qui peut être réglée pour une ouverture partielle. Elle est conçue pour le vide poussé (HV) et est livrée avec un joint torique en Viton standard pour la guillotine et un joint torique en Viton ou un joint en cuivre OFHC pour le capot avec une électrovanne à commande pneumatique. Cette vanne à guillotine à bride ISO-F utilise des joints toriques Viton pour les joints du soufflet et de la plaque de chapeau et est donc limitée aux applications à vide élevé (HV) avec des pressions ultimes jusqu'à 1x10-8 Torr. Les vannes ont une durée de vie typique de 300 000 cycles avant de devoir être entretenues. Elles sont fabriquées avec des vannes et des corps de vanne en acier inoxydable 304 résistants à la corrosion. Cette commande à 3 positions offre flexibilité et précision dans le maintien de conditions optimales pour divers processus de dépôt sous vide, en particulier dans les systèmes de chambre de traitement de dépôt de couches minces. Application dans les chambres de revêtement par dépôt physique en phase vapeur Cette vanne à guillotine à 3 positions est conçue pour des applications fiables sous vide élevé et est souvent utilisée en combinaison avec des pompes à vide élevé cryogéniques, turbo et ioniques. Son utilisation est de plus en plus répandue dans les processus sous vide étranglé comme le dépôt par pulvérisation magnétron PVD. Dans une chambre de revêtement PVD, comme dans les systèmes de pulvérisation cathodique, une vanne à guillotine à 3 positions est souvent utilisée pour contrôler la connexion entre la pompe turbomoléculaire et la chambre de traitement principale. Ces vannes à guillotine permettent un contrôle précis du système de vide et peuvent isoler la pompe, protéger la chambre et régler la vitesse de pompage. Les trois positions d'une vanne à guillotine à 3 positions typique sont : 1. Position entièrement ouverte : conductance maximale, vitesse de pompage turbo complète, utilisée pour l'évacuation initiale ou pour maintenir un vide élevé pendant le dépôt. 2. Partiellement ouvert (position d'étranglement) : Objectif : en position partiellement ouverte, la vanne à guillotine n'est que partiellement ouverte, limitant la conductance entre la chambre et la pompe turbo. L'étranglement est important lorsque vous travaillez avec des gaz réactifs (par exemple, l'oxygène ou l'azote dans la pulvérisation réactive) ou lorsque vous devez affiner la pression pour une croissance optimale du film. Cette position partiellement ouverte est réglée et ajustée manuellement une fois pendant l'installation et peut être modifiée à tout moment pour exécuter une condition de processus différente. 3. Position entièrement fermée : Objectif : en position entièrement fermée, la vanne à guillotine isole complètement la pompe turbo de la chambre principale. Cas d'utilisation : cette position est utilisée pour protéger la turbopompe pendant des processus tels que la ventilation de la chambre, le chargement d'échantillons dans la chambre du sas de chargement ou lorsque la chambre est exposée à la pression atmosphérique. Elle empêche les contaminants ou l'air atmosphérique de pénétrer dans la turbopompe, ce qui pourrait l'endommager. Spécifications : Spécifications et caractéristiques : Matériau Corps SUS304 Type de liaison du chariot - SUS304 Type de bille Taille inférieure à 10 po - SUS304 Type de bille Taille supérieure à 10 po (incluse) - SUS304, A6061-T6 Type de liaison de la porte - SUS304 Type de bille Taille inférieure à 10 po - SUS304 Type de bille Taille supérieure à 10 po (incluse) - A6061-T6 Soufflet AM350 Cycle de vie HV : DN200 - 300 000 cycles UHV : DN200 - 50 000 cycles Taux de fuite d'hélium à une différence de 1 atm < 2 × 10-9 mbar·l/sec pour le joint torique < 5 × 10-10 mbar·l/sec pour le joint d'étanchéité Température de cuisson Ouvert - 200 °C Joint de chapeau en Viton Fermé - 150 °C Joint de chapeau en Viton Plage de pression (mbar) HV : 1x10-8 ~ 1000 UHV : 1x10-10 ~1000 Delta P maximum (mbar) < 30 avant ouverture Joint standard Guillotine - Joint torique Viton Chapeau - Joint torique Viton ou joint en cuivre OFHC Actionneur - Pneumatique Alimentation en air comprimé Raccord de tube - 6 mm Plage de pression - 4-6 kg/cm2 (surpression) Traitement de surface - Poli Scotch Options Indicateur de position Électrovanne de commande pneumatique Port d'ébauche Autre matériau Joint torique de la guillotine Veuillez consulter les téléchargements pour plus d'informations sur cette vanne à guillotine et d'autres configurations de vannes associées.